المكون الرئيسي لأشباه الموصلات - مقدمة لظرف السيراميك والسوق العالمية.

المصاص الكهروستاتيكي، المعروف أيضًا باسم ظرف إلكتروستاتيكي (ESC، e-Chuck)، عبارة عن أداة تستخدم مبدأ الامتزاز الكهروستاتيكي لتثبيت وإصلاح الجسم الممتز، وهو مناسب لبيئة الفراغ والبلازما، ويتم استخدام الوظيفة الرئيسية للامتصاص الفائق ورقة نظيفة (مثل السيليكون)، وجعل الكائن الممتز يحافظ على تسطيح جيد، يمكن أن يمنع تشوه الكائن الممتز في هذه العملية. ويمكن ضبط درجة حرارة الجسم الممتز.

التثبيت الميكانيكي: في معالجة رقائق السيليكون المبكرة، يتم استخدامه لطريقة التثبيت الميكانيكية في الصناعة الميكانيكية التقليدية، أي أن مشبك النشاط الميكانيكي يستخدم لتثبيت رقاقة السيليكون، ولكن المشبك سوف يسبب ضررًا لحافة رقاقة السيليكون، ومن السهل تشويه رقاقة السيليكون، مما له تأثير كبير على دقة معالجتها، لذلك نادراً ما يتم استخدام طريقة التثبيت الميكانيكية الآن.

طريقة ربط شمع البارافين: عادةً ما يتم تثبيت رقاقة السيليكون على الموضع المميز للتركيب أولاً، ثم يتم اختراق المادة اللاصقة بين رقاقة السيليكون والتركيب عن طريق التسخين والذوبان، ثم التثبيت، من أجل ضمان موثوقية الرابط والدقة الثابتة لرقاقة السيليكون، فمن الضروري إذابة وتصفية الرابط قبل إزالة الشوائب. في عملية التثبيت بأكملها، يحتاج شمع البارافين إلى التسخين والربط والتجريد والتنظيف، وتكون الكفاءة منخفضة جدًا. في الوقت نفسه، سيكون للموثق تأثير أكبر على نظافة رقاقة السيليكون، ومن الصعب ضمان توحيد طبقة رابطة البارافين وضمان عدم وجود فقاعات.

ظرف الفراغ: ينقسم هيكل عمل ظرف الفراغ بشكل أساسي إلى جزأين، الجزء الأوسط عبارة عن سيراميك مسامي، والجزء الحافة عبارة عن حلقة مانعة للتسرب. عند العمل، يتم استخراج الهواء بين رقاقة السيليكون وسطح السيراميك من خلال الفتحة الصغيرة الموجودة على السيراميك المسامي، بحيث تحقق رقاقة السيليكون وسطح السيراميك ضغطًا منخفضًا، ويتم امتصاص رقاقة السيليكون على سطح ظرف الظرف بسبب لضغط الهواء، وبالتالي تثبيت رقاقة السيليكون. انتظر حتى نهاية المعالجة، سوف يتدفق الماء المتأين الداخلي من سطح السيراميك، ويمكن أن يمنع الماء المتأين رقاقة السيليكون من الالتصاق بسطح السيراميك، وفي الوقت نفسه، يمكن أن تمنع رقاقة السيليكون وسطح السيراميك سيتم تنظيفها، وسيستمر ظرف الظرف في تثبيت قطعة السيليكون التالية بعد اكتمال التنظيف. تشاك الفراغ له عيبان رئيسيان:

1، عندما يتم امتصاص رقاقة السيليكون على سطح ظرف الفراغ، فإن رقاقة السيليكون سوف تسبب تشوهًا محليًا بسبب ضغط الهواء، وسوف تنتعش رقاقة السيليكون بعد المعالجة، مما يؤدي إلى ظهور سطح القطع بشكل مموج، والسطح تنخفض النعومة. بالإضافة إلى ذلك، قد يكون هناك جزيئات صغيرة ممتصة بين رقاقة السيليكون والظرف أثناء المعالجة، بحيث يؤثر التشوه المحلي لرقاقة السيليكون على دقة المعالجة.

2، إذا كانت هناك حاجة إلى معالجة رقاقة السيليكون في بيئة مفرغة، فإن ظرف الفراغ لا يمكن أن يعمل على الإطلاق في بيئة مفرغة. Fountyl Technologies PTE Ltd هي شركة مصنعة لظرف السيراميك الصغير المسامي، وظرف السيراميك من نوع PIN والمؤثرات النهائية الخزفية بأحجام مختلفة.

ظرف إلكتروستاتيكي: تم تثبيت الرقاقة من خلال الامتزاز الكهروستاتيكي، وتتمثل ميزتها في أن الامتزاز موزع بالتساوي على سطح الرقاقة، ولن تشوه الرقاقة، وقوة الامتزاز مستقرة، ودرجة حرارة يمكن التحكم فيها، ويمكن أن تضمن دقة معالجة الرقاقة؛ إن الظرف الكهروستاتيكي لديه القليل من التلوث للرقاقة، ولا يسبب أي ضرر للرقاقة، ويمكن استخدامه في بيئة ذات فراغ عالي. هناك العديد من العمليات في معالجة الرقاقات في عملية تصنيع أشباه الموصلات، وكل عملية تحتاج إلى ضمان التثبيت السلس للرقاقة. لقد أصبح ظرف الكهرباء الساكنة أداة التثبيتللرقاقة الأكثر استخدامًا على نطاق واسع ، وهي المكونات الأساسية للمعدات مثل النقش وترسيب الأفلام وزرع الأيونات. يمكن لشركة Fountyl Technologes PTE Ltd أن توفر أداءً فائقًا للظرف الكهروستاتيكي والسخانات الخزفية.

نظام الامتزاز النموذجي للظرف الكهروستاتيكي هو عمومًا هيكل يشبه الساندويتش، حيث تكون الطبقتان العلوية والسفلية كأقطاب كهربائية، والطبقة الوسطى عبارة عن طبقة عازلة. من الناحية العملية، في التطبيقات البسيطة، ستعمل رقاقة السيليكون كقطب كهربائي علوي، ويتم تصنيع القطب السفلي والطبقة العازلة ككل في جهاز، يسمى ظرف الكهرباء الساكنة. في عملية تثبيت رقاقة السيليكون، يتم تطبيق جهد التيار المستمر على القطب لتشكيل فرق القطب بين القطب ورقاقة السيليكون، ويتم تثبيت رقاقة السيليكون على ظرف الكهرباء الساكنة من خلال قوة الامتزاز الكهروستاتيكية. بالإضافة إلى ذلك، يمكن فقدان الحرارة المتولدة أثناء معالجة رقائق السيليكون بطريقتين:

1، تبديد الحرارة من خلال نظام التوصيل الحراري على الظهر؛

2، المستمدة من خلال غاز نقل الحرارة (عادة الهيليوم) على سطح رقاقة السيليكون.

من وجهة نظر المواد، يعتمد الظرف الكهروستاتيكي بشكل أساسي على سيراميك الألومينا أو سيراميك نيتريد الألومنيوم كمادة رئيسية، والمواد الخزفية لديها موصلية حرارية جيدة، ومقاومة التآكل وصلابة عالية، ومقارنة بالمواد المعدنية في العزل الكهربائي لها مزايا متأصلة. نظرًا لخصوصية وظيفته، يتطلب ظرف الظرف الكهروستاتيكي أن تكون مادة تصنيعه مختلفة عن المواد الموصلة والمواد العازلة، ولكنها تنتمي إلى مواد شبه موصلة (مقاومة الجسم 10^-3 ~10^10 Ω·cm)، لذا فإن الظرف الكهروستاتيكي تشاك ليس الألومينا النقية أو تصنيع مواد نيتريد الألومنيوم النقي. بدلاً من ذلك، يتم إضافة مواد موصلة أخرى لجعل المقاومة الشاملة تلبي المتطلبات الوظيفية.

وفقًا لبيانات QYResearch، بلغ حجم مبيعات السوق من الظرف الكهروستاتيكي العالمي في عام 2021 1.714 مليار دولار أمريكي، ومن المتوقع أن يصل إلى 2.412 مليار دولار أمريكي في عام 2028، بمعدل نمو مركب قدره 5.06% من عام 2022 إلى عام 2028. من نقطة حجم المبيعات من المنظر، يبلغ حجم المبيعات العالمية للظرف الكهروستاتيكي في عام 2021 55400 قطعة، ومن المتوقع أن يصل إلى 79900 قطعة في عام 2028. وفي عام 2021، وصل حجم سوق ظرف الظرف الكهروستاتيكي في الصين إلى 2.112 مليار يوان، ومن المتوقع أن يصل Global InfoResearch إلى 3.481 مليار يوان. في عام 2028 بمعدل نمو مركب 7.29% من عام 2022 إلى عام 2028.

يتم احتكار سوق ظرف الظرف الكهروستاتيكي العالمي بشكل رئيسي من قبل الشركات المصنعة الأمريكية واليابانية، وتشمل الشركات المصنعة الرئيسية الولايات المتحدة الأمريكية للمواد التطبيقية، وأبحاث لام الأمريكية، واليابان شينكو، واليابان توتو، واليابان NTK. من بينها، تنتج شركة Applied Materials and Lam للأبحاث ظرفًا إلكتروستاتيًا لمعدات أشباه الموصلات الخاصة بها، وتبيع معدات النقش وPVD وCVD وظرف الظرف الكهروستاتيكي المطابق إلى المصانع المصنعة. نظرًا لأن ظرف الظرف الكهروستاتيكي من المواد الاستهلاكية، فإن عمر الخدمة الخاص به لا يزيد بشكل عام عن عامين، لذا فإن ظرف الظرف الكهروستاتيكي لديه سوق بديل كبير. في عام 2021، أكبر ثلاث شركات مصنعة للمظاريف الكهروستاتيكية في العالم هي Applied Materials وLam Research وSHINKO، والتي تحتل Applied Materials المرتبة الأولى في العالم بحصة سوقية تبلغ 43.86%. بلغت الحصة السوقية لشركة Lam Research وSHINKO 31.42% و10.20% على التوالي.

تركز Fountyl Technologies PTE Ltd، على صناعة تصنيع أشباه الموصلات، وتشمل المنتجات الرئيسية: ظرف الدبوس، ظرف السيراميك المسامي، المستجيب النهائي الخزفي، العارضة المربعة الخزفية، المغزل الخزفي، مرحبًا بكم في الاتصال والتفاوض!