سيراميك كربيد السيليكون المستخدم في معدات تصنيع أشباه الموصلات/الدوائر المتكاملة

يلعب سيراميك كربيد السيليكون دورًا مهمًا في معدات تصنيع أشباه الموصلات/الدوائر المتكاملة نظرًا لخصائصه الفيزيائية والكيميائية الفريدة. ومع ذلك، تجدر الإشارة إلى أنه في الوقت الحاضر، يتركز البحث والتطوير وتطبيق الأجزاء الهيكلية الخزفية الدقيقة للمعدات الأساسية للدوائر المتكاملة بشكل أساسي في الولايات المتحدة واليابان وأوروبا وأماكن أخرى، ولا يزالون في وضع احتكاري مطلق. . ولذلك، لا تزال الصين بحاجة إلى مزيد من البحث والاختراق في المواد الخزفية من كربيد السيليكون وتكنولوجيا التحضير ذات الصلة.

1، زطحن وتلميع تشاك

في عملية إنتاج ظرف تلميع كربيد السيليكون، تتم معالجة مادة سيراميك كربيد السيليكون على شكل ظرف، ومن خلال معالجة عملية خاصة، بحيث يتمتع سطحه بخصائص طحن وتلميع ممتازة. عند الاستخدام، يقوم ظرف الظرف بطحن وتلميع سطح قطعة العمل عن طريق امتصاص سطح قطعة العمل، وذلك باستخدام صلابة وحدة سيراميك كربيد السيليكون لإزالة الشوائب مثل النتوءات والأكاسيد الموجودة على السطح، وتحسين اللمسة النهائية ودقة سطح الشغل.

تشمل الميزات الرئيسية لظرف طحن وتلميع كربيد السيليكون ما يلي:

o صلابة عالية: يتمتع سيراميك كربيد السيليكون بصلابة عالية للغاية، في المرتبة الثانية بعد الماس، لذلك يمكنه إجراء عمليات الطحن والتلميع بشكل فعال لإزالة العيوب والمخالفات على سطح المادة.

o مقاومة التآكل العالية: توفر الصلابة العالية لسيراميك كربيد السيليكون أيضًا مقاومة جيدة للتآكل، والتي يمكنها الحفاظ على التآكل البسيط أثناء عملية الطحن والتلميع الطويلة وتحسين عمر خدمة الأداة.

o ثبات حراري عالي: يتمتع سيراميك كربيد السيليكون بثبات حراري عالي ومعامل تمدد حراري منخفض، ويمكنه الحفاظ على أداء مستقر في بيئة درجة الحرارة المرتفعة، ومناسب لعمليات الطحن والتلميع ذات درجات الحرارة العالية.

o استقرار كيميائي جيد: يتمتع سيراميك كربيد السيليكون بثبات جيد لمعظم المواد الكيميائية، وليس من السهل أن يتآكل ويتآكل، ويمكن أن يحافظ على أداء مستقر في مجموعة متنوعة من البيئات.

2، تشاك الطباعة الحجرية

يلعب ظرف الطباعة الحجرية من كربيد السيليكون دورًا مهمًا في عملية تصنيع الدوائر المتكاملة. يمكنها توفير تثبيت ودعم مستقر وعالي الدقة لرقاقة السيليكون لضمان التقدم السلس لعملية الطباعة الحجرية، وبالتالي تحسين كفاءة التصنيع وجودة الدوائر المتكاملة.

تجدر الإشارة إلى أن ظرف الطباعة الحجرية من كربيد السيليكون هو مكون رئيسي في تصنيع الدوائر المتكاملة، وتكنولوجيا التصنيع ومتطلبات الدقة عالية جدًا. في الوقت الحاضر، يمكن لعدد قليل فقط من الشركات الأجنبية تصنيع ظرف الطباعة الحجرية لتلبية متطلبات تصنيع الدوائر المتكاملة، وتحتاج التكنولوجيا والمنتجات الصينية في هذا المجال إلى مزيد من التطوير والتحسين.

تشمل السمات الرئيسية لظرف الطباعة الحجرية من كربيد السيليكون ما يلي:

o دقة عالية: يتمتع سيراميك كربيد السيليكون بصلابة ودقة عالية للغاية، مما يمكنه تلبية متطلبات التثبيت والدعم عالية الدقة لرقائق السيليكون في عملية تصنيع الدوائر المتكاملة.

o ثبات عالي: يتمتع سيراميك كربيد السيليكون بثبات حراري عالي ومعامل تمدد حراري منخفض، مما يمكنه الحفاظ على حجم وشكل ثابتين أثناء عملية الطباعة الحجرية لتجنب التأثير على دقة الطباعة الحجرية.

o ثبات كيميائي جيد: يتمتع سيراميك كربيد السيليكون بثبات جيد لمعظم المواد الكيميائية، وليس من السهل أن يتآكل ويتآكل، ويمكن أن يحافظ على أداء مستقر أثناء عملية الطباعة الحجرية.

o قوة امتصاص عالية: يستخدم ماص الطباعة الحجرية من كربيد السيليكون تقنية امتصاص خاصة، والتي يمكنها امتصاص رقائق السيليكون بقوة لضمان عدم تحولها أو اهتزازها أثناء عملية الطباعة الحجرية، مما يضمن دقة واستقرار الطباعة الحجرية.

3، تشاك الكشف

يمكن لظرف الكشف عن كربيد السيليكون ضمان التقدم السلس لعملية الكشف، وبالتالي تحسين جودة تصنيع الدوائر المتكاملة. وفي الوقت نفسه، فإن عمر خدمة ظرف الكشف عن كربيد السيليكون طويل، مما يمكن أن يقلل من تكاليف التصنيع وتكاليف الصيانة، ويحسن الفوائد الاقتصادية الشاملة.

4، منصة الحركة الدقيقة

تلعب منصة الحركة الدقيقة من كربيد السيليكون دورًا مهمًا في مختلف مجالات التصنيع والمعالجة عالية الدقة. يمكنها توفير حلول التحكم في الحركة عالية الدقة وعالية الثبات لمعالجة أشباه الموصلات والتصنيع البصري وتكنولوجيا النانو وغيرها من المجالات لتحسين جودة المنتج وكفاءة الإنتاج.

تشمل الميزات الرئيسية لمنصة الحركة الدقيقة من كربيد السيليكون ما يلي:

o دقة عالية: يتمتع سيراميك كربيد السيليكون بصلابة ودقة عالية للغاية، مما يمكنه تلبية متطلبات الدقة العالية لمنصة الحركة وضمان استقرار ودقة المنصة أثناء الحركة.

o ثبات عالي: يتمتع سيراميك كربيد السيليكون بثبات حراري عالي ومعامل تمدد حراري منخفض، مما يمكنه الحفاظ على أداء مستقر في درجات الحرارة المرتفعة والبيئة القاسية، وتقليل تشوه الأبعاد والخطأ الحراري، وضمان استقرار المنصة على المدى الطويل.

o خفيف الوزن: يتميز سيراميك كربيد السيليكون بكثافة منخفضة وقوة عالية، مما يمكنه تحقيق التصميم خفيف الوزن للمنصة، وتقليل الجمود في الحركة، وتقليل حمل المحرك، وتحسين الاستجابة الديناميكية وتسريع المنصة.

o مقاومة عالية للتآكل: يتمتع سيراميك كربيد السيليكون بمقاومة تآكل ممتازة، ويمكنه مقاومة الحركة عالية السرعة وتآكل الأحمال الثقيلة، مما يزيد من عمر خدمة المنصة.

5،أجزاء كربيد السيليكون عالية النقاء لوصلات النقش 

في عملية الحفر، تلعب مكونات كربيد السيليكون عالية النقاء دورًا رئيسيًا. يتمتع كربيد السيليكون عالي النقاء بخصائص فيزيائية وكيميائية ممتازة، مثل الصلابة العالية، والاستقرار الحراري العالي، والاستقرار الكيميائي الجيد، والتفاعل المنخفض، مما يجعله مادة مثالية لمعدات الحفر.

تلعب أجزاء كربيد السيليكون عالية النقاء دورًا رئيسيًا. يتمتع كربيد السيليكون عالي النقاء بخصائص فيزيائية وكيميائية ممتازة، مثل الصلابة العالية، والاستقرار الحراري العالي، والاستقرار الكيميائي الجيد، والتفاعل المنخفض، مما يجعله مادة مثالية لمعدات الحفر.

في معدات النقش بالبلازما، غالبًا ما يتم استخدام كربيد السيليكون عالي النقاء لتصنيع المكونات الرئيسية مثل حلقات التركيز، ورؤوس رش الغاز، والمنصات، وحلقات الحواف، والتجاويف المحفورة، وفوهات الغاز المحفورة، وما إلى ذلك. وتلعب هذه المكونات دورًا حيويًا في عملية النقش ، مثل حلقة التركيز لضمان التوزيع الموحد للبلازما، ورأس رش الغاز للتحكم بدقة في حقن الغاز، والصينية وحلقة الحافة لدعم وتثبيت الرقاقة المراد حفرها.

تُظهر أجزاء كربيد السيليكون عالية النقاء ثباتًا جيدًا في البيئة التي تحتوي على غاز الكلور والفلور للحفر، كما أن تفاعلها المنخفض يمكن أن يقلل بشكل فعال من التآكل والأضرار التي تلحق بالمعدات أثناء عملية النقش. بالإضافة إلى ذلك، يتمتع كربيد السيليكون عالي النقاء أيضًا بموصلية كهربائية مماثلة للسيليكون، مما يمكنه من توصيل التيار بشكل فعال أثناء عملية النقش، مما يضمن توحيد واتساق النقش.

مع التقدم المستمر في تصنيع الدوائر المتكاملة، أصبحت متطلبات تكنولوجيا الحفر أعلى وأعلى. تعد مكونات كربيد السيليكون عالية النقاء، بأدائها الممتاز واستقرارها، أحد المفاتيح لتلبية هذه المتطلبات. مع التطور المستمر للتكنولوجيا، فإن تطبيق كربيد السيليكون عالي النقاء في عملية النقش سيكون أكثر شمولاً.

6، نظام الحركة الدقيقة في فحص الحزمة

في التحكم في الحركة عالي السرعة والدقة، يمكن للصلابة العالية والاحتكاك المنخفض لسيراميك كربيد السيليكون تقليل التآكل والاحتكاك، وتحسين استقرار النظام وعمره. في الوقت نفسه، في عملية فحص العبوة، قد يكون لتغير درجة الحرارة تأثير على نظام الحركة الدقيق، ويمكن أن يؤدي تطبيق سيراميك كربيد السيليكون إلى تقليل هذا التأثير بشكل فعال وتحسين موثوقية النظام واستقراره.

يشتمل نظام الحركة الدقيق لسيراميك كربيد السيليكون الموجود في رابط التغليف والاختبار على المكونات الرئيسية مثل حاجز التوجيه والمحمل وكتلة الانزلاق. تؤثر دقة التصنيع وأداء هذه المكونات بشكل مباشر على استقرار ودقة نظام الحركة بأكمله. ولذلك، فإن تكنولوجيا المعالجة عالية الدقة وتكنولوجيا المعالجة السطحية لسيراميك كربيد السيليكون تعتبر أيضًا أمرًا بالغ الأهمية.

يتم استخدام سيراميك كربيد السيليكون أيضًا في أنظمة الحركة الدقيقة في عملية فحص عبوات التصنيع، مثل المحاذاة والتركيب أثناء تعبئة الرقائق.

يلعب سيراميك كربيد السيليكون دورًا مهمًا في نظام الحركة الدقيق لفحص العبوة. مع التقدم المستمر للتكنولوجيا وتوسيع مجالات التطبيق، سيكون تطبيق سيراميك كربيد السيليكون في أنظمة الحركة الدقيقة أكثر شمولاً.

فونتيل تكنولوجيز بي تي إي. المحدودة. هي مؤسسة حديثة في مجال البحث والتطوير لمجموعة السيراميك المتقدمة والتصنيع والمبيعات كواحدة، وتنتج بشكل رئيسي السيراميك المسامي والألومينا والزركونيا ونيتريد السيليكون وكربيد السيليكون ونيتريد الألومنيوم والسيراميك العازل للميكروويف وغيرها من المواد الخزفية المتقدمة. يتمتع خبير التكنولوجيا الياباني المدعو خصيصًا لدينا بأكثر من 30 عامًا من الخبرة الصناعية في مجال أشباه الموصلات، ويقدم بكفاءة حلول تطبيقات السيراميك الخاصة مع مقاومة التآكل، ومقاومة التآكل، ومقاومة درجات الحرارة العالية، والتوصيل الحراري العالي، والعزل للعملاء المحليين والأجانب.