تحليل سوق المعدات النظيفة / الرطبة لتنظيف الرقاقات

تحتاج عملية أشباه الموصلات بأكملها إلى التنظيف بشكل متكرر، وتتم عملية التنظيف من خلال صناعة أشباه الموصلات، وهو ما يمثل أكثر من 30% من إجمالي عملية الإنتاج. من تحليل قيمة الإنتاج لسوق معدات صناعة أشباه الموصلات بالكامل، تمثل معدات معالجة الرقائق 80%، وتمثل قيمة الإنتاج الإجمالية لخطوة التنظيف حوالي 33% من معدات معالجة الرقائق، وتلعب معدات التنظيف دورًا تأثير حاسم على معدل النجاح والفوائد الاقتصادية لخط الإنتاج.

وفقًا لبيانات SEMI، تبلغ مساحة السوق العالمية لمعدات تنظيف الرقائق 3.7 مليار دولار في عام 2020، وهو ما يمثل 5٪ من جميع المعدات. ومن بينها شركة Screen Electronics Co.، وهي الشركات الثلاثة الأولى في سوق معدات تنظيف الرقائق. ، المحدودة. تمثل شركة Screen وTokyo Electron Limited (TEL) وLam Research Corporation (Lam) معًا 87.7 بالمائة من سوق معدات تنظيف الرقاقات. يُظهر تقرير بحثي متعمق لصناعة معدات تنظيف أشباه الموصلات من Guangfa Securities أنه في عام 2019، بلغ الطلب العالمي على آلات التنظيف الضخمة 221 وحدة، ولا يمكن أن يصل سوى سوق آلات التنظيف الضخمة إلى 663 مليون دولار. Naura Chuang، للتكنولوجيا النقية تمثل أقل من 1٪. مع نقل صناعة أشباه الموصلات إلى الصين، تتزايد مساحة السوق المحلية، وتتوافر موارد العملاء المحتملين، وتحتاج آلة التنظيف إلى تغطية أحدث العمليات المحلية. وفقًا لتقديرات شركة Guangfa Securities، في السنوات الخمس من 2019 إلى 2023، ستصل مساحة سوق معدات التنظيف لشركات البر الرئيسي إلى أكثر من 40 مليار يوان. الجدول يمثل الحصة السوقية لآلات التنظيف الرطب وحصة السوق المحلية المقاسة بواسطة GF Securities.

تعد الشركة الشركة الرائدة عالميًا في مجال معدات التنظيف، حيث تمتلك 45.1 بالمائة من حصة السوق العالمية لمعدات تنظيف أشباه الموصلات، وفقًا لـ SEMI، ويأتي 60 بالمائة من إيراداتها من منظفات SU3200 التي يمكن استخدامها في عمليات 7 نانومتر. تأسست الشركة في عام 1868، وطورت الجيل الأول من معدات تنظيف الرقائق في عام 1975. وفي الأربعين عامًا التالية، ركزت الشركة على البحث والتطوير والترويج لمعدات تنظيف الرقائق، وتوفير معدات تنظيف أشباه الموصلات مقرها في اليابان والعالم. تحتل الحصة السوقية لأهم ثلاثة مجالات لمعدات التنظيف، وهي معدات تنظيف الرقائق الفردية وطاولة التنظيف الأوتوماتيكية والغسالة، المركز الأول في العالم، وهي الشركة الرائدة في تكنولوجيا معدات التنظيف. في الوقت الحاضر، يقع المقر الرئيسي للشركة في اليابان، ولها فروع في الولايات المتحدة وأوروبا وكوريا الجنوبية وبكين وتيانجين ووشى ووهان وداليان وشنتشن وتايوان في الصين. تغطي شبكة مبيعات معدات التنظيف Intel وTSMC وSamsung وSK Hynix وSMIC وHuahong وغيرها من الشركات العالمية العملاقة المعروفة.

أحدث جيل من معدات التنظيف هو SU-3300، وهو مشتق من سلسلة SU المهيمنة منذ فترة طويلة، بدءًا من SU-2000، وSU-3100، وSU-3200، وكانت سلسلة SU في طليعة عملية الرقائق المستخدمة في آلة التنظيف الراقية. كما هو موضح في الصورة:

تعد شركة طوكيو للإلكترونيات ثاني أكبر شركة لمعدات تنظيف الرقائق بعد دين، اعتبارًا من يونيو 2020، باعت أكثر من 62000 مجموعة من معدات التنظيف في جميع أنحاء العالم، وهي أول شركة تصنع بشكل مطرد 11 رقاقة فائقة النقاء. تأسست شركة طوكيو للإلكترونيات في عام 1963، واندمجت مع شركة Thermco Products Corp في عام 1968 لتصبح أول شركة مصنعة لمعدات تصنيع أشباه الموصلات في اليابان، وبدأت في تصميم وتصنيع معدات تنظيف الرقائق في نفس العام، وأصبحت أكبر مورد لمعدات التنظيف في عام 1981. وفي عام 1989- في عام 1991، تفوقت على شركة Dean لثلاث مرات متتالية كبطل لمعدات التنظيف، وفي العقدين التاليين، احتلت شركة Tokyo Electronics أيضًا المرتبة الثانية بقوة في عرش معدات تنظيف الرقاقات العالمية.

أحدث جيل من منتجات معدات التنظيف لشركة Tokyo Electron هو CELLESTA SCD، وتُستخدم منتجات سلسلة CELLESTA على نطاق واسع لتنظيف رقائق السيليكون في عمليات أشباه الموصلات، بما في ذلك الرقائق صغيرة الحجم والرقائق المنطقية المعقدة وذاكرة DRAM المستخدمة في أجهزة الكمبيوتر الشخصية أو NB. كما هو موضح في الصورة:

Pangilin Semiconductor هي من بنات أفكار شركة David K. Lam لتكنولوجيا أشباه الموصلات، التي تأسست في عام 1980 ويقع مقرها الرئيسي في وادي السيليكون، كاليفورنيا، وهي واحدة من الشركات الرائدة في العالم في مجال تصنيع وخدمات الرقاقات، مع حصة إجمالية في المرتبة الثانية بعد ASML وAMAT، الثالثة في العالم. وفي مجال معدات تنظيف الرقائق، تحتل شركة Panglin Semiconductor أيضًا المرتبة الثالثة عالميًا بعد شركة Dean وشركة Tokyo Electronics، حيث استحوذتا على حوالي 12.5% ​​من السوق العالمية في عام 2019.

أحدث جيل من معدات التنظيف Pan Forest هو Coronus HP

كما هو موضح في الشكل، فإن نظام تنظيف الرقاقة هذا يستخدم تكنولوجيا حجز البلازما لحماية منطقة الرقاقة بشكل فعال؛ يمكن أن تؤدي إزالة طبقات الأغشية الرقيقة وبقايا المواد المختلفة في الموقع والإزالة الانتقائية للمواد غير المرغوب فيها من حواف الرقاقة إلى تحسين كفاءة الإنتاج وتحسين إنتاجية المنتج؛ يمكن إزالة الغشاء المعدني، مما يمكن أن يمنع تكوين القوس في خطوات البلازما اللاحقة.

تحتوي أشباه الموصلات على تقنيتين أساسيتين تم تطويرهما ذاتيًا - SAPS (المساحة المتناوبة تحول الطور) وتقنية التنظيف TEBO (تذبذب الفقاعات النشطة في الوقت المناسب). لقد قام الاثنان بحل مشاكل انتظام توزيع الطاقة الضخمة والطاقة المدمرة، ولديهما عدد من براءات الاختراع والتقنيات الأساسية في مجال التنظيف ميجاساوند. استجابة للكمية الكبيرة من مياه الصرف الصحي عالية التركيز والتي يصعب معالجتها والتي يتم تصريفها من حمض الكبريتيك أثناء عملية إنتاج الرقائق، قامت Sheng Mei حصريًا باختراع أول معدات تنظيف حمض الكبريتيك ذات درجة الحرارة العالية -UltracTahoe، ومن مميزات هذه المعدات تقليل كمية حمض الكبريتيك المستخدمة بنسبة 90%، مما يقلل من تأثير صناعة أشباه الموصلات على البيئة.

كما هو موضح في الشكل، نظراً للمشكلة التي تعاني منها تقنية تنظيف الفتحة التقليديةليست نظيفة بما فيه الكفاية في العملية التي تقل عن 28 نانومتر، فقد طورت UltracTahoe جيلًا جديدًا من معدات التنظيف المدمجة عن طريق تنظيف الشريحة في الفتحة أولاً، ثم مبدأ تنظيف القطعة الواحدة، والذي يمكنه إعادة استخدام حمض الكبريتيك وتحقيق تأثير تنظيف عالي الوضوح، والتي يمكن أن تقلل من التلوث البيئي وتوفر تكاليف ضخمة.

فونتيل تكنولوجيز بي تي إي المحدودة,يكونالتركيز على صناعة تصنيع أشباه الموصلات، الرئيسية تشمل المنتجات: ظرف الدبوس، ظرف سيراميك مسامي، نهاية سيراميكالمستجيب، سيراميكشعاع مربع، المغزل السيراميك، مرحبا بكم فيالاتصال والتفاوض!