ترسيب الأغشية الرقيقة هو ترسيب طبقة من الفيلم النانوي على الركيزة، ثم عمليات متكررة مثل الحفر والتلميع، لصنع الكثير من الأغشية الموصلة أو العازلة المكدسة.
بعد سنوات عديدة من تطبيق السوق، أصبحت معدات الكشف SPI هذه ناضجة وفعالة للغاية