تحتاج عملية أشباه الموصلات بأكملها إلى التنظيف بشكل متكرر، وتتم عملية التنظيف من خلال صناعة أشباه الموصلات، وهو ما يمثل أكثر من 30% من إجمالي عملية الإنتاج.
تتمثل إحدى مزايا EUV في تقليل خطوات معالجة الرقاقة، كما أن استخدام EUV بدلاً من تقنية التعريض الضوئي المتعددة التقليدية سوف يقلل بشكل كبير من خطوات الترسيب والحفر ...
