سيراميك الزركونيا (ZrO2)، ذو نقطة انصهار عالية، وصلابة عالية، ومقاومة تآكل ممتازة، كمادة عازلة في درجة الحرارة العادية، وفي درجة حرارة عالية...
تتمثل إحدى مزايا EUV في تقليل خطوات معالجة الرقاقة، كما أن استخدام EUV بدلاً من تقنية التعريض الضوئي المتعددة التقليدية سوف يقلل بشكل كبير من خطوات الترسيب والحفر ...
