يشير Epitaxy إلى تقنية نمو البلورات أو ترسيب المواد التي تحتل مكانة مهمة للغاية في عمليات تصنيع الإلكترونيات الدقيقة والإلكترونيات الضوئية
في مجال تكنولوجيا أشباه الموصلات سريع التطور، يعد الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) أداة رئيسية لتحقيق الدقة والكفاءة في عمليات ترسيب الأغشية الرقيقة. هذه الورقة مشتركة...