Ev
Materiallar
0102030405
Korroziyaya davamlı hissələr, sızdırmazlıq hissələri, yüksək temperatura davamlı hissələr, bələdçi relslər və kvadrat şüalar üçün istifadə olunan silisium karbid
Silikon karbid keramika normal temperaturda yüksək möhkəmlik, yüksək sərtlik, yüksək elastik modul, yüksək istilik keçiriciliyi, aşağı istilik genişlənmə əmsalı və yaxşı xüsusi sərtlik və optik emal xassələri kimi əla yüksək temperatur sabitliyi kimi əla mexaniki xüsusiyyətlərə malikdir. dəqiq keramika konstruksiya hissələri üçün fotolitoqrafiya maşınının və digər inteqral sxem avadanlığının hazırlanması üçün. Fotolitoqrafiya maşınında dəqiq hərəkət edən iş parçası masası, skelet, vantuz, su ilə soyudulmuş boşqab və dəqiq ölçmə güzgüsü, ızgara və digər keramika struktur hissələri, illərlə texniki araşdırmalardan sonra Fountyl yeni material, böyük ölçülü, nazik divarı həll edir, silisium karbid struktur hissələrinin boş və digər mürəkkəb quruluşu, dəqiq emalı və hazırlanması problemləri, bu cür dəqiq silisium karbid struktur hissələrinin hazırlanması texnologiyasının texniki darboğazını sındırmaq. Bu, inteqral sxem istehsal avadanlıqlarında istifadə olunan əsas struktur hissələrinin lokallaşdırılmasına böyük kömək etmişdir.
● Silisium karbid keramikasına əsasən təzyiqsiz sinterlənən silisium karbid (SSiC), reaksiya ilə sinterlənmiş silisium karbid (RBSC), kimyəvi buxar çökdürmə silisium karbid (CVD-SiC) daxildir.
● Silikon karbid müxtəlif əla xüsusiyyətlərə malikdir: super sərt, aşınma müqaviməti, yüksək istilik keçiriciliyi və mexaniki möhkəmlik, aşağı istilik genişlənmə əmsalı, əla istilik sabitliyi, aşağı sıxlıq, yüksək xüsusi sərtlik, qeyri-maqnit.
● Hazırda silisium karbid keramika, ekstremal şəraitdə silisium karbid keramika reflektoru və IC inteqral sxem istehsalı üçün yüksək səviyyəli avadanlıqların keramika hissələri, istilik dəyişdiriciləri və güllə keçirməyən materiallar kimi aviasiya, aerokosmik və nüvə sənayesi kimi müxtəlif sənaye sahələrində tətbiq olunur.
İnteqral sxem istehsalı avadanlığı üçün dəqiq keramika struktur hissələrinin xüsusiyyətləri:
① Yüksək yüngüllük: Hərəkət ətalətini azaltmaq, motor yükünü azaltmaq, hərəkət səmərəliliyini, yerləşdirmə dəqiqliyini və sabitliyini yaxşılaşdırmaq üçün struktur hissələr ümumiyyətlə yüngül struktur dizaynından istifadə edir, yüngüllük dərəcəsi 60-80%, 90% -ə qədər;
② Yüksək forma-mövqe dəqiqliyi: Yüksək dəqiqlikli hərəkət və yerləşdirməyə nail olmaq üçün struktur hissələrinin son dərəcə yüksək forma və mövqe dəqiqliyinə malik olması, düzlük, paralellik və perpendikulyarlığın 1μm-dən az olması tələb olunur, forma və mövqe dəqiqliyinin 5μm-dən az olması tələb olunur.
③ Yüksək ölçülü sabitlik: Yüksək dəqiqlikli hərəkət və yerləşdirməyə nail olmaq üçün struktur hissələrin həddindən artıq yüksək ölçülü sabitliyə malik olması, gərginlik yaratmaması və yüksək istilik keçiriciliyi, aşağı istilik genişlənmə əmsalı, böyük ölçülü deformasiya yaratmaq asan deyildir. ;
④ Təmiz və çirklənmədən. Struktur hissələrin son dərəcə aşağı sürtünmə əmsalı, hərəkət zamanı kiçik kinetik enerji itkisi və daşlama hissəciklərinin çirklənməsi tələb olunur. Silikon karbid materialı çox yüksək elastik modula, istilik keçiriciliyinə və aşağı istilik genişlənmə əmsalı var, əyilmə gərginliyi deformasiyasını və istilik gərginliyini istehsal etmək asan deyil və əla cilalanma qabiliyyətinə malikdir, əla güzgü üçün emal edilə bilər; Buna görə də, silikon karbiddən fotolitoqrafiya maşını kimi inteqral sxemlərin əsas avadanlığı üçün dəqiq struktur materialı kimi istifadə etmək böyük üstünlüklərə malikdir, Silikon karbid yaxşı kimyəvi sabitlik, yüksək mexaniki güc, yüksək istilik keçiriciliyi və aşağı istilik genişlənmə əmsalı üstünlüklərinə malikdir, və yüksək temperaturda, yüksək təzyiqdə, korroziyada və ekstremal mühitlərdə radiasiyada tətbiq oluna bilər.
Silikon karbid yaxşı kimyəvi sabitlik, yüksək mexaniki güc, yüksək istilik keçiriciliyi və aşağı istilik genişlənmə əmsalı üstünlüklərinə malikdir və yüksək temperaturda, yüksək təzyiqdə, korroziyada və ekstremal mühitlərdə radiasiyada tətbiq oluna bilər.
İnteqral sxemin əsas avadanlığı komponent materiallarının yüngül çəki, yüksək möhkəmlik, yüksək istilik keçiriciliyi və aşağı istilik genişlənmə əmsalı xüsusiyyətlərinə malik olmasını və qüsursuz sıx və vahid olmasını tələb edir. Avadanlığın ultra dəqiq hərəkətini və nəzarətini təmin etmək üçün komponentlərdən son dərəcə yüksək ölçülü dəqiqlik və ölçü sabitliyi tələb olunur. Silikon karbid keramika yüksək elastik modula və xüsusi sərtliyə malikdir, deformasiya etmək asan deyil və yüksək istilik keçiriciliyinə və aşağı istilik genişlənmə əmsalı, yüksək istilik sabitliyinə malikdir, buna görə də silisium karbid keramika hazırda inteqral sxem istehsalında əla struktur materialdır. silisium karbid iş masası ilə litoqrafiya maşını, bələdçi rels, reflektor, keramika çubuq və keramika son effektoru kimi geniş tətbiq sahələri əldə etmək üçün əsas avadanlıq.
Fountyl fotolitoqrafiya maşını ilə böyük ölçülü, içi boş nazik divar, mürəkkəb quruluş, dəqiq silisium karbid konstruksiya hissələrinin hazırlanması texnologiyası, məsələn: silisium karbid vakuum çubuq, bələdçi rels, reflektor, iş masası ilə inteqral sxem istehsal edən əsas avadanlıqların nümayəndəsi kimi cavab verə bilər. və fotolitoqrafiya maşını üçün bir sıra dəqiq silisium karbid struktur hissələri.
| Xüsusiyyətlər | Fontil | ||
| Sıxlıq (g/sm3) | 2.98-3.02 | ||
| Gəncin Modulu (GPa) | 368 | ||
| Bükülmə gücü (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE （×10-6/℃） | 100℃ | 2,8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4,6×10-6 | ||
| İstilik keçiriciliyi (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Poisson nisbəti | 0.187 | ||
| Kəsmə modulu (GPa) | 155 | ||