У дома
Материали
Силициев карбид, използван за устойчиви на корозия части, части за уплътнения, части, устойчиви на висока температура, водещи релси и квадратни греди
Керамиката от силициев карбид има отлични механични свойства при нормална температура, като висока якост, висока твърдост, висок модул на еластичност, отлична стабилност при висока температура, като висока топлопроводимост, нисък коефициент на топлинно разширение и добра специфична твърдост и свойства за оптична обработка, особено подходящи за подготовка на фотолитографска машина и друго оборудване с интегрални схеми за прецизни керамични структурни части. Като използван във фотолитографската машина за прецизна движеща се маса за детайли, скелет, вендуза, плоча с водно охлаждане и огледало за прецизно измерване, решетка и други керамични структурни части, нов материал Fountyl след години на технически изследвания, решаване на големия размер, тънка стена, куха и друга сложна структура на прецизната обработка и подготовка на структурни части от силициев карбид, проблеми с прецизната подготовка, преодоляване на техническото затруднение на този вид прецизна технология за подготовка на структурни части от силициев карбид. Той значително насърчи локализирането на ключови структурни части, използвани в оборудването за производство на интегрални схеми.
● Керамиката от силициев карбид включва главно силициев карбид за синтероване без налягане (SSiC), реакционно синтерован силициев карбид (RBSC), силициев карбид с химическо отлагане на пари (CVD-SiC).
● Силициевият карбид има разнообразие от отлични свойства: супер твърд, устойчивост на износване, висока топлопроводимост и механична якост, нисък коефициент на термично разширение, отлична термична стабилност, ниска плътност, висока специфична твърдост, немагнитен.
● Понастоящем керамиката от силициев карбид се прилага в различни индустрии като авиацията, космическата и ядрената промишленост, като керамични части на оборудване от висок клас за производство на керамични рефлектори от силициев карбид и IC интегрални схеми, топлообменници и бронирани материали при екстремни условия.
Характеристики на прецизни керамични структурни части за оборудване за производство на интегрални схеми:
① Изключително леки: За да се намали инерцията на движение, да се намали натоварването на двигателя, да се подобри ефективността на движение, точността на позициониране и стабилността, структурните части обикновено използват олекотен дизайн на конструкцията, степента на леко тегло е 60-80%, до 90%;
② Висока точност на формата и позицията: За да се постигне високо прецизно движение и позициониране, се изисква структурните части да имат изключително висока точност на формата и позицията, плоскостта, успоредността и перпендикулярността трябва да бъдат по-малко от 1 μm, а формата и изисква се точността на позицията да бъде по-малка от 5 μm.
③ Висока стабилност на размерите: За да се постигне високо прецизно движение и позициониране, се изисква структурните части да имат изключително висока стабилност на размерите, да не създават напрежение и висока топлопроводимост, нисък коефициент на топлинно разширение, не е лесно да се произведе голяма деформация на размерите ;
④ Чисто и без замърсяване. Изисква се структурните части да имат изключително нисък коефициент на триене, малка загуба на кинетична енергия по време на движение и да няма замърсяване от смилащи частици. Материалът от силициев карбид има много висок модул на еластичност, топлопроводимост и нисък коефициент на топлинно разширение, не е лесно да се произведе деформация на напрежението на огъване и термично напрежение и има отлична полируемост, може да бъде машинно обработен до отлично огледало; Следователно, има големи предимства да се използва силициев карбид като прецизен структурен материал за ключовото оборудване на интегрални схеми като фотолитографска машина, силициевият карбид има предимствата на добра химическа стабилност, висока механична якост, висока топлопроводимост и нисък коефициент на топлинно разширение, и може да се прилага при висока температура, високо налягане, корозия и радиация на екстремни среди.
Силициевият карбид има предимствата на добра химическа стабилност, висока механична якост, висока топлопроводимост и нисък коефициент на термично разширение и може да се прилага при висока температура, високо налягане, корозия и радиация на екстремни среди.
Основното оборудване на интегралната схема изисква компонентните материали да имат характеристиките на леко тегло, висока якост, висока топлопроводимост и нисък коефициент на топлинно разширение и да са плътни и еднородни без дефекти. Изисква се компонентите да имат изключително висока точност на размерите и стабилност на размерите, за да осигурят свръхпрецизно движение и контрол на оборудването. Керамиката от силициев карбид има висок модул на еластичност и специфична твърдост, не се деформира лесно и има висока топлопроводимост и нисък коефициент на топлинно разширение, висока термична стабилност, така че керамиката от силициев карбид е отличен структурен материал, който понастоящем е в производството на интегрални схеми ключово оборудване за получаване на широк спектър от приложения, като литографска машина с работна маса от силициев карбид, водеща релса, рефлектор, керамичен патронник и керамичен краен ефектор.
Fountyl може да посрещне фотолитографската машина като представител на ключово оборудване за производство на интегрални схеми с голям размер, куха тънка стена, сложна структура, прецизна технология за подготовка на структурни части от силициев карбид, като: вакуумен патронник от силициев карбид, направляваща релса, рефлектор, работна маса и серия от прецизни структурни части от силициев карбид за фотолитографска машина.
| Имоти | Fountyl | ||
| Плътност (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Модул на Йънг（GPa） | 368 | ||
| Якост на огъване（MPa） | 334 | ||
| Уейбул | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100 ℃ | 2,8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4,6×10-6 | ||
| Топлопроводимост (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Коефициент на Поасон | 0,187 | ||
| Модул на срязване (GPa) | 155 | ||