বাড়ি
উপকরণ
সিলিকন কার্বাইড জারা প্রতিরোধী অংশ, সীল অংশ, উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধী অংশ, গাইড রেল এবং বর্গাকার বীমের জন্য ব্যবহৃত হয়
সিলিকন কার্বাইড সিরামিকের স্বাভাবিক তাপমাত্রায় চমৎকার যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য রয়েছে, যেমন উচ্চ শক্তি, উচ্চ কঠোরতা, উচ্চ ইলাস্টিক মডুলাস, চমৎকার উচ্চ তাপমাত্রার স্থিতিশীলতা, যেমন উচ্চ তাপ পরিবাহিতা, নিম্ন তাপ সম্প্রসারণ সহগ, এবং ভাল নির্দিষ্ট কঠোরতা এবং অপটিক্যাল প্রসেসিং বৈশিষ্ট্য, বিশেষত উপযুক্ত নির্ভুল সিরামিক কাঠামোগত অংশগুলির জন্য ফটোলিথোগ্রাফি মেশিন এবং অন্যান্য সমন্বিত সার্কিট সরঞ্জাম প্রস্তুত করার জন্য। যেমন ফোটোলিথোগ্রাফি মেশিনে ব্যবহৃত যথার্থ চলন্ত ওয়ার্কপিস টেবিল, কঙ্কাল, সাকশন কাপ, ওয়াটার-কুলড প্লেট এবং নির্ভুল পরিমাপ আয়না, ঝাঁঝরি এবং অন্যান্য সিরামিক কাঠামোগত অংশ, বছরের পর বছর প্রযুক্তিগত গবেষণার পর ফাউন্টাইল নতুন উপাদান, বড় আকারের সমাধান, পাতলা প্রাচীর, ফাঁপা এবং সিলিকন কার্বাইড স্ট্রাকচারাল অংশগুলির অন্যান্য জটিল কাঠামো নির্ভুলতা প্রক্রিয়াকরণ এবং প্রস্তুতির সমস্যা, এই ধরনের নির্ভুল সিলিকন কার্বাইড স্ট্রাকচারাল পার্টস প্রস্তুতির প্রযুক্তির প্রযুক্তিগত বাধা ভেদ করে। এটি ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উত্পাদন সরঞ্জামে ব্যবহৃত মূল কাঠামোগত অংশগুলির স্থানীয়করণকে ব্যাপকভাবে প্রচার করেছে।
● সিলিকন কার্বাইড সিরামিকের মধ্যে প্রধানত চাপহীন সিন্টারিং সিলিকন কার্বাইড (SSiC), প্রতিক্রিয়া-sintered সিলিকন কার্বাইড (RBSC), রাসায়নিক বাষ্প জমা সিলিকন কার্বাইড (CVD-SiC) অন্তর্ভুক্ত।
● সিলিকন কার্বাইডের বিভিন্ন ধরণের চমৎকার বৈশিষ্ট্য রয়েছে: সুপার হার্ড, পরিধান প্রতিরোধের, উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং যান্ত্রিক শক্তি, নিম্ন তাপ সম্প্রসারণ সহগ, চমৎকার তাপীয় স্থিতিশীলতা, কম ঘনত্ব, উচ্চ নির্দিষ্ট কঠোরতা, অ-চৌম্বকীয়।
● বর্তমানে, সিলিকন কার্বাইড সিরামিকগুলি বিভিন্ন শিল্পে যেমন বিমান, মহাকাশ এবং পারমাণবিক শিল্পে প্রয়োগ করা হয়, যেমন সিলিকন কার্বাইড সিরামিক প্রতিফলক এবং IC ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উত্পাদন, হিট এক্সচেঞ্জার এবং বুলেটপ্রুফ উপকরণগুলির জন্য উচ্চ-শেষের সরঞ্জামগুলির সিরামিক অংশগুলি চরম পরিস্থিতিতে।
ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উত্পাদন সরঞ্জামের জন্য নির্ভুল সিরামিক কাঠামোগত অংশগুলির বৈশিষ্ট্য:
① অত্যন্ত লাইটওয়েট: গতির জড়তা কমাতে, মোটর লোড কমাতে, গতির দক্ষতা, অবস্থান নির্ভুলতা এবং স্থায়িত্ব উন্নত করতে, কাঠামোগত অংশগুলি সাধারণত লাইটওয়েট স্ট্রাকচার ডিজাইন ব্যবহার করে, লাইটওয়েট হার 60-80%, 90% পর্যন্ত;
② উচ্চ ফর্ম-অবস্থান নির্ভুলতা: উচ্চ-নির্ভুলতা আন্দোলন এবং অবস্থান অর্জনের জন্য, কাঠামোগত অংশগুলির অত্যন্ত উচ্চ ফর্ম এবং অবস্থানের নির্ভুলতা থাকা প্রয়োজন, সমতলতা, সমান্তরালতা এবং লম্বতা 1μm এর কম হওয়া প্রয়োজন, এবং ফর্ম এবং অবস্থান নির্ভুলতা 5μm কম হতে হবে।
③ উচ্চ মাত্রিক স্থিতিশীলতা: উচ্চ-নির্ভুলতা আন্দোলন এবং অবস্থান অর্জনের জন্য, কাঠামোগত অংশগুলির অত্যন্ত উচ্চ মাত্রিক স্থিতিশীলতা থাকা প্রয়োজন, স্ট্রেন তৈরি না করা এবং উচ্চ তাপ পরিবাহিতা, নিম্ন তাপীয় প্রসারণ সহগ, বড় মাত্রিক বিকৃতি তৈরি করা সহজ নয় ;
④ পরিষ্কার এবং দূষণ মুক্ত। কাঠামোগত অংশগুলির জন্য অত্যন্ত কম ঘর্ষণ সহগ, চলাচলের সময় ছোট গতিশক্তি ক্ষয় এবং কোন নাকাল কণা দূষণ থাকা প্রয়োজন। সিলিকন কার্বাইড উপাদানের একটি খুব উচ্চ স্থিতিস্থাপক মডুলাস, তাপ পরিবাহিতা এবং নিম্ন তাপ সম্প্রসারণ সহগ আছে, নমন স্ট্রেস বিকৃতি এবং তাপীয় স্ট্রেন তৈরি করা সহজ নয় এবং চমৎকার পলিশযোগ্যতা রয়েছে, চমৎকার আয়নাতে মেশিন করা যেতে পারে; সুতরাং, ফটোলিথোগ্রাফি মেশিনের মতো ইন্টিগ্রেটেড সার্কিটের মূল সরঞ্জামগুলির জন্য সিলিকন কার্বাইডকে নির্ভুল কাঠামোগত উপাদান হিসাবে ব্যবহার করার জন্য এটির দুর্দান্ত সুবিধা রয়েছে, সিলিকন কার্বাইডের ভাল রাসায়নিক স্থিতিশীলতা, উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি, উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং নিম্ন তাপীয় প্রসারণ গুণাঙ্কের সুবিধা রয়েছে, এবং উচ্চ তাপমাত্রা, উচ্চ চাপ, জারা এবং চরম পরিবেশের বিকিরণ প্রয়োগ করা যেতে পারে।
সিলিকন কার্বাইডের ভাল রাসায়নিক স্থিতিশীলতা, উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি, উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং নিম্ন তাপ সম্প্রসারণ সহগ সুবিধা রয়েছে এবং এটি উচ্চ তাপমাত্রা, উচ্চ চাপ, ক্ষয় এবং চরম পরিবেশের বিকিরণে প্রয়োগ করা যেতে পারে।
ইন্টিগ্রেটেড সার্কিটের মূল সরঞ্জামগুলির জন্য প্রয়োজন যে উপাদানগুলির উপাদানগুলির হালকা ওজন, উচ্চ শক্তি, উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং নিম্ন তাপ সম্প্রসারণ সহগ বৈশিষ্ট্যগুলি রয়েছে এবং ত্রুটি ছাড়াই ঘন এবং অভিন্ন। অতি-নির্ভুলতা চলাচল এবং সরঞ্জামের নিয়ন্ত্রণ নিশ্চিত করতে উপাদানগুলির অত্যন্ত উচ্চ মাত্রিক নির্ভুলতা এবং মাত্রিক স্থিতিশীলতা থাকা প্রয়োজন। সিলিকন কার্বাইড সিরামিকের উচ্চ স্থিতিস্থাপক মডুলাস এবং নির্দিষ্ট দৃঢ়তা রয়েছে, বিকৃত করা সহজ নয়, এবং উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং নিম্ন তাপ সম্প্রসারণ সহগ, উচ্চ তাপীয় স্থিতিশীলতা রয়েছে, তাই সিলিকন কার্বাইড সিরামিক একটি চমৎকার কাঠামোগত উপাদান, বর্তমানে ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উত্পাদনে সিলিকন কার্বাইড ওয়ার্কিং টেবিল সহ লিথোগ্রাফি মেশিন, গাইড রেল, প্রতিফলক, সিরামিক চক, এবং সিরামিক এন্ড ইফেক্টর সহ বিস্তৃত অ্যাপ্লিকেশন পাওয়ার জন্য মূল সরঞ্জাম।
ফাউন্টাইল বড় আকার, ফাঁপা পাতলা প্রাচীর, জটিল কাঠামো, নির্ভুল সিলিকন কার্বাইড স্ট্রাকচারাল পার্টস প্রস্তুতি প্রযুক্তি, যেমন: সিলিকন কার্বাইড ভ্যাকুয়াম চক, গাইড রেল, প্রতিফলক, ওয়ার্কিং টেবিল সহ ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উত্পাদন কী সরঞ্জামের প্রতিনিধি হিসাবে ফটোলিথোগ্রাফি মেশিনের সাথে দেখা করতে পারে। এবং ফটোলিথোগ্রাফি মেশিনের জন্য নির্ভুল সিলিকন কার্বাইড কাঠামোগত অংশগুলির একটি সিরিজ।
| বৈশিষ্ট্য | ফাউন্টাইল | ||
| ঘনত্ব (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| ইয়াং'স মডুলাস (GPa) | 368 | ||
| নমনীয় শক্তি (MPa) | ৩৩৪ | ||
| ওয়েইবুল | ৮.৩৫ | ||
| CTE (×10-6/℃) | 100℃ | 2.8×10-6 | |
| 400℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800℃ | 4.2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4.6×10-6 | ||
| তাপ পরিবাহিতা (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| পয়সন এর অনুপাত | 0.187 | ||
| শিয়ার মডুলাস (GPa) | 155 | ||