Dom
Materijali
0102030405
Silicijum karbid koji se koristi za delove otporne na koroziju, delove zaptivki, delove otporne na visoke temperature, vodilice i četvrtaste grede
Keramika od silicijum karbida ima odlične mehaničke osobine pri normalnoj temperaturi, kao što su visoka čvrstoća, visoka tvrdoća, visoki modul elastičnosti, odlična stabilnost na visokim temperaturama, kao što je visoka toplotna provodljivost, nizak koeficijent toplotnog širenja i dobra specifična krutost i svojstva optičke obrade, posebno pogodna za pripremu fotolitografskih mašina i druge opreme integrisanih kola za precizne keramičke strukturne delove. Kao što se koristi u fotolitografskoj mašini za precizne pokretne radne komade, sto, kostur, usisna čaša, vodeno hlađena ploča i ogledalo za precizno merenje, rešetke i drugi keramički strukturni delovi, Fountyl novi materijal nakon godina tehničkog istraživanja, rešava velike veličine, tanki zid, šuplje i druge složene strukture strukturnih dijelova od silicijum karbida, precizna obrada i problemi pripreme, probijajući tehničko usko grlo ove vrste tehnologije pripreme preciznih strukturnih dijelova od silicijum karbida. Uvelike je promovirao lokalizaciju ključnih strukturnih dijelova koji se koriste u opremi za proizvodnju integriranih kola.
● Keramika od silicijum karbida uglavnom uključuje silicijum karbid za sinterovanje bez pritiska (SSiC), reakcijski sinterovani silicijum karbid (RBSC), silicijum karbid za hemijsko taloženje parom (CVD-SiC).
● Silicijum karbid ima niz odličnih svojstava: super tvrd, otpornost na habanje, visoku toplotnu provodljivost i mehaničku čvrstoću, nizak koeficijent toplotnog širenja, odličnu termičku stabilnost, nisku gustinu, visoku specifičnu krutost, nemagnetnost.
● Trenutno se keramika od silicijum karbida primenjuje u različitim industrijama kao što su vazduhoplovstvo, vazduhoplovstvo i nuklearna industrija, kao što su keramički delovi vrhunske opreme za proizvodnju keramičkih reflektora od silicijum karbida i IC integrisanih kola, izmenjivači toplote i neprobojni materijali u ekstremnim uslovima.
Karakteristike preciznih keramičkih strukturnih dijelova za opremu za proizvodnju integriranih kola:
① Veoma lagan: Da bi se smanjila inercija kretanja, smanjilo opterećenje motora, poboljšala efikasnost kretanja, tačnost pozicioniranja i stabilnost, strukturni dijelovi općenito koriste dizajn lagane strukture, stopa lagane težine je 60-80%, do 90%;
② Visoka tačnost položaja forme: Da bi se postiglo pomicanje i pozicioniranje visoke preciznosti, od strukturnih dijelova se traži da imaju izuzetno visoku formu i preciznost položaja, ravnost, paralelizam i okomitost moraju biti manji od 1 μm, a oblik i potrebno je da tačnost položaja bude manja od 5 μm.
③ Visoka dimenzionalna stabilnost: Da bi se postiglo visoko precizno kretanje i pozicioniranje, strukturni dijelovi moraju imati izuzetno visoku dimenzijsku stabilnost, da ne stvaraju naprezanje i visoku toplotnu provodljivost, nizak koeficijent toplinske ekspanzije, da nije lako proizvesti velike dimenzionalne deformacije ;
④ Čisto i bez zagađenja. Od strukturnih dijelova se zahtijeva izuzetno nizak koeficijent trenja, mali gubitak kinetičke energije tokom kretanja i bez zagađenja česticama mljevenja. Materijal silicijum karbida ima veoma visok modul elastičnosti, toplotnu provodljivost i nizak koeficijent toplotnog širenja, nije lako proizvesti deformaciju naprezanja savijanja i termičku deformaciju i ima odličnu mogućnost poliranja, može se mašinski obrađivati u odlično ogledalo; Stoga, ima velike prednosti koristiti silicijum karbid kao precizan strukturni materijal za ključnu opremu integrisanih kola kao što je fotolitografska mašina, silicijum karbid ima prednosti dobre hemijske stabilnosti, visoke mehaničke čvrstoće, visoke toplotne provodljivosti i niskog koeficijenta toplotnog širenja, i može se primijeniti na visokim temperaturama, visokom pritisku, koroziji i zračenju ekstremnih okruženja.
Silicijum karbid ima prednosti dobre hemijske stabilnosti, visoke mehaničke čvrstoće, visoke toplotne provodljivosti i niskog koeficijenta toplotnog širenja, a može se primeniti na visokim temperaturama, visokom pritisku, koroziji i zračenju u ekstremnim okruženjima.
Ključna oprema integrisanog kola zahteva da materijali komponenti imaju karakteristike male težine, velike čvrstoće, visoke toplotne provodljivosti i niskog koeficijenta toplotnog širenja, te da su gusti i jednolični bez nedostataka. Komponente moraju imati izuzetno visoku dimenzijsku tačnost i stabilnost dimenzija kako bi se osiguralo ultra-precizno kretanje i kontrolu opreme. Keramika od silicijum karbida ima visok modul elastičnosti i specifičnu krutost, nije se lako deformisati, ima visoku toplotnu provodljivost i nizak koeficijent toplotnog širenja, visoku termičku stabilnost, tako da je keramika od silicijum karbida odličan strukturni materijal, trenutno u proizvodnji integrisanih kola. ključna oprema za postizanje širokog spektra primjena, kao što je litografska mašina sa radnim stolom od silicijum karbida, vodilica, reflektor, keramička stezna glava i keramički završni efektor.
Fountyl može zadovoljiti fotolitografsku mašinu kao predstavnik ključne opreme za proizvodnju integrisanog kola sa velikom veličinom, šupljim tankim zidom, složenom strukturom, preciznom tehnologijom pripreme strukturnih delova od silicijum karbida, kao što su: vakuumska stezna glava od silicijum karbida, vodilica, reflektor, radni sto i niz preciznih strukturnih dijelova od silicijum karbida za fotolitografske mašine.
| Svojstva | Fountyl | ||
| Gustina (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Youngov modul (GPa) | 368 | ||
| Čvrstoća na savijanje (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE (×10-6/℃) | 100℃ | 2,8×10-6 | |
| 400℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4,6×10-6 | ||
| Toplotna provodljivost (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Poissonov omjer | 0,187 | ||
| Modul smicanja (GPa) | 155 | ||