a casa
Materials
Carbur de silici utilitzat per a peces resistents a la corrosió, peces de segells, peces resistents a altes temperatures, guies i bigues quadrades
Les ceràmiques de carbur de silici tenen excel·lents propietats mecàniques a temperatura normal, com ara alta resistència, alta duresa, alt mòdul elàstic, excel·lent estabilitat a alta temperatura, com alta conductivitat tèrmica, baix coeficient d'expansió tèrmica i bona rigidesa específica i propietats de processament òptica, especialment adequades. per a la preparació de màquines de fotolitografia i altres equips de circuit integrat per a peces estructurals ceràmiques de precisió. Com el que s'utilitza a la taula de peces de treball en moviment de precisió de la màquina fotolitografia, l'esquelet, la ventosa, la placa refrigerada per aigua i el mirall de mesura de precisió, la reixeta i altres peces estructurals de ceràmica, el nou material Fountyl després d'anys d'investigació tècnica, resol la gran mida, paret prima, Estructura buida i altra complexa de peces estructurals de carbur de silici, problemes de processament i preparació de precisió, trencant amb el coll d'ampolla tècnic d'aquest tipus de tecnologia de preparació de peces estructurals de carbur de silici de precisió. Ha promogut molt la localització de peces estructurals clau utilitzades en equips de fabricació de circuits integrats.
● Les ceràmiques de carbur de silici inclouen principalment carbur de silici sinteritzat sense pressió (SSiC), carbur de silici sinteritzat per reacció (RBSC), carbur de silici per deposició química de vapor (CVD-SiC).
● El carbur de silici té una varietat de propietats excel·lents: súper dur, resistència al desgast, alta conductivitat tèrmica i resistència mecànica, baix coeficient d'expansió tèrmica, excel·lent estabilitat tèrmica, baixa densitat, alta rigidesa específica, no magnètic.
● Actualment, les ceràmiques de carbur de silici s'apliquen en diverses indústries com ara l'aviació, l'aeroespacial i la indústria nuclear, com ara peces ceràmiques d'equips de gamma alta per a reflectors ceràmics de carbur de silici i fabricació de circuits integrats IC, intercanviadors de calor i materials antibales en condicions extremes.
Característiques de les peces estructurals de ceràmica de precisió per a equips de fabricació de circuits integrats:
① Molt lleuger: per reduir la inèrcia del moviment, reduir la càrrega del motor, millorar l'eficiència del moviment, la precisió de posicionament i l'estabilitat, les peces estructurals generalment utilitzen un disseny d'estructura lleugera, la taxa de lleugeresa és del 60-80%, fins al 90%;
② Alta precisió de la posició de la forma: per aconseguir un moviment i un posicionament d'alta precisió, les peces estructurals han de tenir una precisió de forma i posició extremadament alta, la planitud, el paral·lelisme i la perpendicularitat han de ser inferiors a 1 μm i la forma i La precisió de la posició ha de ser inferior a 5 μm.
③ Alta estabilitat dimensional: per aconseguir un moviment i un posicionament d'alta precisió, les peces estructurals han de tenir una estabilitat dimensional extremadament alta, per no produir tensió, i alta conductivitat tèrmica, baix coeficient d'expansió tèrmica, no és fàcil produir una gran deformació dimensional. ;
④ Net i lliure de contaminació. Les peces estructurals han de tenir un coeficient de fricció extremadament baix, una petita pèrdua d'energia cinètica durant el moviment i no contaminació per partícules de mòlta. El material de carbur de silici té un mòdul elàstic molt alt, conductivitat tèrmica i baix coeficient d'expansió tèrmica, no és fàcil de produir deformacions de tensió de flexió i tensió tèrmica, i té una excel·lent politabilitat, es pot mecanitzar a un mirall excel·lent; Per tant, té grans avantatges utilitzar el carbur de silici com a material estructural de precisió per a l'equip clau dels circuits integrats, com ara la màquina fotolitografia, el carbur de silici té els avantatges d'una bona estabilitat química, alta resistència mecànica, alta conductivitat tèrmica i baix coeficient d'expansió tèrmica, i es pot aplicar a alta temperatura, alta pressió, corrosió i radiació d'ambients extrems.
El carbur de silici té els avantatges d'una bona estabilitat química, alta resistència mecànica, alta conductivitat tèrmica i baix coeficient d'expansió tèrmica, i es pot aplicar a alta temperatura, alta pressió, corrosió i radiació d'ambients extrems.
L'equip clau del circuit integrat requereix que els materials components tinguin les característiques de pes lleuger, alta resistència, alta conductivitat tèrmica i baix coeficient d'expansió tèrmica, i siguin densos i uniformes sense defectes. Es requereix que els components tinguin una precisió dimensional i una estabilitat dimensional extremadament altes per garantir un moviment i un control d'ultra precisió de l'equip. Les ceràmiques de carbur de silici tenen un mòdul elàstic elevat i una rigidesa específica, no fàcil de deformar, i té una alta conductivitat tèrmica i un baix coeficient d'expansió tèrmica, una alta estabilitat tèrmica, de manera que la ceràmica de carbur de silici és un excel·lent material estructural, actualment en la fabricació de circuits integrats de equips clau per obtenir una àmplia gamma d'aplicacions, com ara màquina de litografia amb taula de treball de carbur de silici, guia guia, reflector, mandril de ceràmica i efector final de ceràmica.
Fountyl pot reunir-se amb la màquina de fotolitografia com a representant de l'equip clau de fabricació de circuits integrats amb gran mida, paret fina buida, estructura complexa, tecnologia de preparació de peces estructurals de carbur de silici de precisió, com ara: mandril de buit de carbur de silici, guia guia, reflector, taula de treball i una sèrie de peces estructurals de carbur de silici de precisió per a màquina de fotolitografia.
| Propietats | Fountyl | ||
| Densitat (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Mòdul de Young (GPa) | 368 | ||
| Resistència a la flexió (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100℃ | 2,8×10-6 | |
| 400℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4,6×10-6 | ||
| Conductivitat tèrmica (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Ratio de Poisson | 0,187 | ||
| Mòdul de cisalla (GPa) | 155 | ||