Domov
Materiály
Karbid křemíku používaný pro díly odolné proti korozi, díly těsnění, díly odolné vysokým teplotám, vodicí kolejnice a čtvercové nosníky
Keramika z karbidu křemíku má vynikající mechanické vlastnosti při normální teplotě, jako je vysoká pevnost, vysoká tvrdost, vysoký modul pružnosti, vynikající stabilita při vysokých teplotách, jako je vysoká tepelná vodivost, nízký koeficient tepelné roztažnosti, a dobrá specifická tuhost a vlastnosti optického zpracování, zvláště vhodné pro přípravu fotolitografických strojů a dalších zařízení integrovaných obvodů pro přesné keramické konstrukční díly. Jak se používá ve fotolitografickém stroji přesný pohyblivý stůl obrobku, kostra, přísavka, vodou chlazená deska a přesné měřící zrcadlo, mřížka a další keramické konstrukční díly, nový materiál Fountyl po letech technického výzkumu, řeší velkou velikost, tenkou stěnu, dutá a jiná složitá struktura konstrukčních dílů z karbidu křemíku problémy s precizním zpracováním a přípravou, prolomení technických překážek tohoto druhu technologie přesné přípravy konstrukčních dílů z karbidu křemíku. Výrazně podpořila lokalizaci klíčových konstrukčních dílů používaných ve výrobních zařízeních integrovaných obvodů.
● Keramika z karbidu křemíku zahrnuje hlavně beztlakově slinovaný karbid křemíku (SSiC), reakční slinutý karbid křemíku (RBSC), karbid křemíku chemickou depozicí z plynné fáze (CVD-SiC).
● Karbid křemíku má řadu vynikajících vlastností: super tvrdý, odolnost proti opotřebení, vysoká tepelná vodivost a mechanická pevnost, nízký koeficient tepelné roztažnosti, vynikající tepelná stabilita, nízká hustota, vysoká měrná tuhost, nemagnetický.
● V současnosti se keramika z karbidu křemíku používá v různých průmyslových odvětvích, jako je letectví, letecký a kosmický průmysl a jaderný průmysl, jako jsou keramické součásti špičkových zařízení pro výrobu keramických reflektorů z karbidu křemíku a integrovaných obvodů IC, výměníků tepla a neprůstřelných materiálů v extrémních podmínkách.
Vlastnosti přesných keramických konstrukčních dílů pro zařízení na výrobu integrovaných obvodů:
① Vysoce lehká: Aby se snížila setrvačnost pohybu, snížilo se zatížení motoru, zlepšila se účinnost pohybu, přesnost polohování a stabilita, konstrukční části obecně používají lehkou konstrukci, míra nízké hmotnosti je 60-80%, až 90%;
② Vysoká přesnost polohy tvaru: Aby bylo dosaženo vysoce přesného pohybu a polohování, je vyžadováno, aby konstrukční části měly extrémně vysokou přesnost tvaru a polohy, rovinnost, rovnoběžnost a kolmost musí být menší než 1μm a tvar a přesnost polohy je požadována menší než 5μm.
③ Vysoká rozměrová stabilita: Aby bylo dosaženo vysoce přesného pohybu a polohování, je nutné, aby konstrukční části měly extrémně vysokou rozměrovou stabilitu, nevytvářely pnutí a vysokou tepelnou vodivost, nízký koeficient tepelné roztažnosti, nebylo snadné vytvářet velké rozměrové deformace ;
④ Čisté a bez znečištění. Od konstrukčních dílů se vyžaduje extrémně nízký koeficient tření, malé ztráty kinetické energie během pohybu a žádné znečištění brusnými částicemi. Materiál z karbidu křemíku má velmi vysoký modul pružnosti, tepelnou vodivost a nízký koeficient tepelné roztažnosti, není snadné vytvořit deformaci ohybovým napětím a tepelné namáhání a má vynikající leštitelnost, lze jej opracovat na vynikající zrcadlo; Proto má velké výhody používat karbid křemíku jako přesný konstrukční materiál pro klíčová zařízení integrovaných obvodů, jako je fotolitografický stroj, karbid křemíku má výhody dobré chemické stability, vysoké mechanické pevnosti, vysoké tepelné vodivosti a nízkého koeficientu tepelné roztažnosti, a může být aplikován při vysokých teplotách, vysokém tlaku, korozi a záření v extrémních prostředích.
Karbid křemíku má výhody dobré chemické stability, vysoké mechanické pevnosti, vysoké tepelné vodivosti a nízkého koeficientu tepelné roztažnosti a lze jej použít při vysokých teplotách, vysokém tlaku, korozi a záření v extrémních prostředích.
Klíčové vybavení integrovaného obvodu vyžaduje, aby materiály součástek měly charakteristiky nízké hmotnosti, vysoké pevnosti, vysoké tepelné vodivosti a nízkého koeficientu tepelné roztažnosti a byly husté a jednotné bez defektů. Komponenty musí mít extrémně vysokou rozměrovou přesnost a rozměrovou stabilitu, aby byl zajištěn mimořádně přesný pohyb a ovládání zařízení. Keramika z karbidu křemíku má vysoký modul pružnosti a specifickou tuhost, nelze ji snadno deformovat a má vysokou tepelnou vodivost a nízký koeficient tepelné roztažnosti, vysokou tepelnou stabilitu, takže keramika z karbidu křemíku je vynikajícím konstrukčním materiálem, který se v současné době používá ve výrobě integrovaných obvodů. klíčové vybavení pro širokou škálu aplikací, jako je litografický stroj s pracovním stolem z karbidu křemíku, vodicí lištou, reflektorem, keramickým sklíčidlem a keramickým koncovým efektorem.
Fountyl se může setkat s fotolitografickým strojem jako zástupcem klíčového zařízení na výrobu integrovaného obvodu s velkou velikostí, dutou tenkou stěnou, složitou strukturou, přesnou technologií přípravy konstrukčních dílů z karbidu křemíku, jako je: vakuové sklíčidlo z karbidu křemíku, vodicí lišta, reflektor, pracovní stůl a řadu přesných konstrukčních dílů z karbidu křemíku pro fotolitografický stroj.
| Vlastnosti | Fountyl | ||
| Hustota (g/cm3) | 2,98-3,02 | ||
| Youngův modul (GPa) | 368 | ||
| Pevnost v ohybu (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100 ℃ | 2,8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4,6×10-6 | ||
| Tepelná vodivost (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Poissonův poměr | 0,187 | ||
| Modul ve smyku (GPa) | 155 | ||