Cartref
Defnyddiau
0102030405
Silicon carbid a ddefnyddir ar gyfer rhannau gwrthsefyll cyrydiad, rhannau morloi, rhannau gwrthsefyll tymheredd uchel, rheiliau canllaw a thrawstiau sgwâr
Mae gan serameg carbid silicon briodweddau mecanyddol ardderchog ar dymheredd arferol, megis cryfder uchel, caledwch uchel, modwlws elastig uchel, sefydlogrwydd tymheredd uchel rhagorol, megis dargludedd thermol uchel, cyfernod ehangu thermol isel, ac anystwythder penodol da ac eiddo prosesu optegol, yn arbennig o addas ar gyfer paratoi peiriant ffotolithograffeg ac offer cylched integredig arall ar gyfer rhannau strwythurol ceramig manwl gywir. O'r fath fel a ddefnyddir yn y peiriant ffotolithograffeg trachywiredd symud workpiece tabl, sgerbwd, cwpan sugno, plât water-cooled a drych mesur trachywiredd, gratio a rhannau strwythurol seramig eraill, deunydd newydd Fountyl ar ôl blynyddoedd o ymchwil technegol, datrys y maint mawr, wal tenau, strwythur gwag a chymhleth arall o rannau strwythurol carbid silicon trachywiredd prosesu a pharatoi problemau, gan dorri trwy'r dagfa dechnegol o'r math hwn o dechnoleg paratoi rhannau strwythurol silicon carbid manwl. Mae wedi hyrwyddo lleoleiddio rhannau strwythurol allweddol a ddefnyddir mewn offer gweithgynhyrchu cylched integredig yn fawr.
● Mae cerameg carbid silicon yn bennaf yn cynnwys carbid silicon sintering di-bwysedd (SSiC), carbid silicon wedi'i sintro gan adwaith (RBSC), carbid silicon dyddodiad anwedd cemegol (CVD-SiC).
● Mae gan silicon carbid amrywiaeth o briodweddau rhagorol: caled iawn, ymwrthedd gwisgo, dargludedd thermol uchel a chryfder mecanyddol, cyfernod ehangu thermol isel, sefydlogrwydd thermol ardderchog, dwysedd isel, anystwythder penodol uchel, anfagnetig.
● Ar hyn o bryd, cymhwysir cerameg carbid silicon mewn amrywiol ddiwydiannau megis hedfan, awyrofod a diwydiant niwclear, megis rhannau ceramig o offer pen uchel ar gyfer adlewyrchydd ceramig carbid silicon a gweithgynhyrchu cylched integredig IC, cyfnewidwyr gwres a deunyddiau gwrth-bwledi o dan amodau eithafol.
Nodweddion rhannau strwythurol ceramig manwl gywir ar gyfer offer gweithgynhyrchu cylched integredig:
① Ysgafn iawn: Er mwyn lleihau syrthni'r cynnig, lleihau'r llwyth modur, gwella effeithlonrwydd symud, cywirdeb lleoli a sefydlogrwydd, mae'r rhannau strwythurol yn gyffredinol yn defnyddio dyluniad strwythur ysgafn, y gyfradd ysgafn yw 60-80%, hyd at 90%;
② Cywirdeb lleoliad ffurf uchel: Er mwyn cyflawni symudiad a lleoliad manwl uchel, mae'n ofynnol i'r rhannau strwythurol fod â ffurf a chywirdeb lleoliad hynod o uchel, mae'n ofynnol i'r gwastadrwydd, y cyfochrog a'r perpendicularity fod yn llai na 1μm, a'r ffurf a mae'n ofynnol i gywirdeb safle fod yn llai na 5μm.
③ Sefydlogrwydd dimensiwn uchel: Er mwyn cyflawni symudiad a lleoliad manwl uchel, mae'n ofynnol i'r rhannau strwythurol gael sefydlogrwydd dimensiwn hynod o uchel, i beidio â chynhyrchu straen, a dargludedd thermol uchel, cyfernod ehangu thermol isel, nid yw'n hawdd cynhyrchu anffurfiad dimensiwn mawr ;
④ Yn lân ac yn rhydd o lygredd. Mae'n ofynnol i'r rhannau strwythurol gael cyfernod ffrithiant hynod o isel, colled egni cinetig bach yn ystod symudiad, a dim llygredd gronynnau malu. Mae gan ddeunydd silicon carbid fodwlws elastig uchel iawn, dargludedd thermol a cyfernod ehangu thermol isel, nid yw'n hawdd cynhyrchu anffurfiad straen plygu a straen thermol, ac mae ganddo polishability rhagorol, gellir ei beiriannu i ddrych rhagorol; Felly, mae ganddo fanteision mawr i ddefnyddio carbid silicon fel y deunydd strwythurol manwl gywir ar gyfer offer allweddol cylchedau integredig fel peiriant ffotolithograffeg, mae gan silicon carbid fanteision sefydlogrwydd cemegol da, cryfder mecanyddol uchel, dargludedd thermol uchel a chyfernod ehangu thermol isel, a gellir ei gymhwyso mewn tymheredd uchel, pwysedd uchel, cyrydiad ac ymbelydredd amgylcheddau eithafol.
Mae gan silicon carbid fanteision sefydlogrwydd cemegol da, cryfder mecanyddol uchel, dargludedd thermol uchel a chyfernod ehangu thermol isel, a gellir ei gymhwyso mewn tymheredd uchel, pwysedd uchel, cyrydiad ac ymbelydredd amgylcheddau eithafol.
Mae offer allweddol cylched integredig yn mynnu bod gan y deunyddiau cydran nodweddion pwysau ysgafn, cryfder uchel, dargludedd thermol uchel a chyfernod ehangu thermol isel, ac maent yn drwchus ac yn unffurf heb ddiffygion. Mae'n ofynnol i gydrannau fod â chywirdeb dimensiwn hynod o uchel a sefydlogrwydd dimensiwn i sicrhau symudiad a rheolaeth hynod fanwl ar yr offer. Mae gan serameg carbid silicon fodwlws elastig uchel ac anystwythder penodol, nid yw'n hawdd ei ddadffurfio, ac mae ganddi ddargludedd thermol uchel a chyfernod ehangu thermol isel, sefydlogrwydd thermol uchel, felly mae cerameg carbid silicon yn ddeunydd strwythurol rhagorol, ar hyn o bryd yn y gweithgynhyrchu cylched integredig o offer allweddol i gael ystod eang o gymwysiadau, megis peiriant lithograffeg gyda bwrdd gweithio carbid silicon, rheilen dywys, adlewyrchydd, chuck ceramig, ac effeithydd diwedd ceramig.
Gall Fountyl gwrdd â'r peiriant ffotolithograffeg fel cynrychiolydd y cylched integredig gweithgynhyrchu offer allweddol gyda maint mawr, wal tenau gwag, strwythur cymhleth, trachywiredd silicon carbide rhannau strwythurol technoleg paratoi, megis: silicon carbide gwactod chuck, canllaw rheilffyrdd, adlewyrchydd, tabl gweithio a chyfres o rannau strwythurol carbid silicon manwl gywir ar gyfer peiriant ffotolithograffeg.
| Priodweddau | Ffountyl | ||
| Dwysedd (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Modwlws Young (GPa) | 368 | ||
| Cryfder hyblyg （MPa） | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE （ × 10-6 / ℃ ） | 100 ℃ | 2.8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4.2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4.6×10-6 | ||
| Dargludedd Thermol(W/m·k) (20ºC) | 160-180 | ||
| Cymhareb Poisson | 0. 187 | ||
| Modwlws cneifio （GPa） | 155 | ||