Der gesamte Halbleiterherstellungsprozess ist sehr verbreitet und unverzichtbar. Wozu dient er?
SiC-Boot ist ein Siliziumkarbid-Boot. Im Ofenrohr wird ein Siliziumkarbidschiffchen verwendet, das mit Wafern für die Hochtemperaturbehandlung von Hochtemperaturzubehör beladen ist. Weil Siliziumkarbid...