Wie werden Wafer gelagert und versendet?

Welche besonderen Anforderungen gelten für die Lagerung und den Transport von Wafern, nachdem diese alle Prozesse in der Fabrik durchlaufen haben? Sind spezielle Umweltverpackungen erforderlich?

Die Lagerung erfolgt im Allgemeinen im Stickstoffgasschrank, der Stickstoffgasschrank enthält hochreinen Stickstoff und der Stickstoffgasschrank kann die Luftfeuchtigkeit und Temperatur steuern, die Luftfeuchtigkeit beträgt 20–24 ° C, die Luftfeuchtigkeit beträgt je nach Bedarf 30–50 % zur Standortsituation. Der Transport erfordert im Allgemeinen das Einlegen der Waffel in die Waffelbox. Die Waffelbox wird in einen antistatischen Beutel gelegt, der Beutel wird abgesaugt und dann wird der Beutel mit der Waffelbox in die Box gelegt, wodurch die Box geschützt wird durch Polstermaterialien wie Kissen, diese werden selbstverständlich in der staubfreien Werkstatt fertiggestellt. Unter bestimmten Bedingungen kann im Transportfahrzeug auch Stickstoff erzeugt werden, um die Temperatur und Luftfeuchtigkeit der Umgebung zu kontrollieren. Andere Dinge, wie z. B. Etiketten, müssen zur einfachen Nachverfolgung angebracht werden. Auf welche Faktoren ist bei der Lagerung und dem Transport von Wafern zu achten?

Sauberkeit: Alle Gase oder Partikel, die den Wafer verunreinigen könnten, sollten vermieden werden, daher sollte er abgesaugt oder in hochreinem Stickstoff aufbewahrt werden.

Temperatur und Luftfeuchtigkeit: Extreme Temperaturschwankungen können zu Veränderungen im Wafermaterial führen, während eine zu hohe Luftfeuchtigkeit dazu führt, dass die Waferoberfläche Wasser aufnimmt, während eine zu niedrige Luftfeuchtigkeit die Ansammlung elektrostatischer Aufladung erhöht.

Physischer Schutz: Der Wafer muss Stößen und Druck während des Transports vorbeugen und kann leicht durch äußere Krafteinwirkung zerbrochen werden. Daher muss er mit Puffermaterialien verpackt werden.

Statische Elektrizität: Durch elektrostatische Entladung werden Späne verbrannt. Verwenden Sie daher antistatische Verpackungsmaterialien und führen Sie beim Verpacken eine antistatische Behandlung der Wafer durch.

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