Siliziumkarbidkeramik, die in Anlagen zur Herstellung von Halbleitern/integrierten Schaltkreisen verwendet wird

Siliziumkarbidkeramik spielt aufgrund ihrer einzigartigen physikalischen und chemischen Eigenschaften eine wichtige Rolle in Anlagen zur Herstellung von Halbleitern/integrierten Schaltkreisen. Es ist jedoch zu beachten, dass sich die Forschung, Entwicklung und Anwendung von Präzisionskeramikbauteilen für Kerngeräte für integrierte Schaltkreise derzeit hauptsächlich auf die Vereinigten Staaten, Japan, Europa und andere Orte konzentrieren und sich dort immer noch in einer absoluten Monopolstellung befinden . Daher bedarf China noch weiterer Forschung und Durchbrüche bei Siliziumkarbid-Keramikmaterialien und der damit verbundenen Herstellungstechnologie.

1, GSchleif- und Polierfutter

Im Produktionsprozess von Siliziumkarbid-Polierfuttern wird Siliziumkarbid-Keramikmaterial in die Form des Futters und durch eine spezielle Prozessbehandlung verarbeitet, sodass seine Oberfläche hervorragende Schleif- und Poliereigenschaften aufweist. Bei Verwendung schleift und poliert das Spannfutter die Oberfläche des Werkstücks, indem es die Oberfläche des Werkstücks absorbiert und dabei die Härte und Schärfe von Siliziumkarbidkeramik nutzt, um Verunreinigungen wie Grate und Oxide auf der Oberfläche zu entfernen und die Oberfläche und Genauigkeit des Werkstücks zu verbessern Oberfläche des Werkstücks.

Zu den Hauptmerkmalen des Siliziumkarbid-Schleif- und Polierfutters gehören:

o Hohe Härte: Siliziumkarbidkeramik weist eine extrem hohe Härte auf, die nur von Diamant übertroffen wird, sodass sie effektiv Schleif- und Poliervorgänge durchführen kann, um Defekte und Unregelmäßigkeiten auf der Oberfläche des Materials zu beseitigen.

o Hohe Verschleißfestigkeit: Die hohe Härte der Siliziumkarbidkeramik sorgt auch für eine gute Verschleißfestigkeit, wodurch der Verschleiß während des langen Schleif- und Poliervorgangs gering gehalten und die Lebensdauer des Werkzeugs verbessert werden kann.

o Hohe thermische Stabilität: Siliziumkarbidkeramik weist eine hohe thermische Stabilität und einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten auf, kann eine stabile Leistung in Umgebungen mit hohen Temperaturen aufrechterhalten und eignet sich für Schleif- und Poliervorgänge bei hohen Temperaturen.

o Gute chemische Stabilität: Siliziumkarbidkeramik weist eine gute Stabilität gegenüber den meisten chemischen Substanzen auf, korrodiert und erodiert nicht leicht und kann in einer Vielzahl von Umgebungen eine stabile Leistung aufrechterhalten.

2, Lithografie-Spannfutter

Siliziumkarbid-Lithografiefutter spielen eine wichtige Rolle im Herstellungsprozess integrierter Schaltkreise. Es kann eine stabile und hochpräzise Fixierung und Unterstützung von Siliziumwafern bieten, um den reibungslosen Ablauf des Lithographieprozesses zu gewährleisten und dadurch die Fertigungseffizienz und Qualität integrierter Schaltkreise zu verbessern.

Es ist zu beachten, dass Siliziumkarbid-Lithografiefutter eine Schlüsselkomponente bei der Herstellung integrierter Schaltkreise ist und die Anforderungen an Fertigungstechnologie und Präzision sehr hoch sind. Derzeit können nur wenige ausländische Unternehmen lithografische Spannfutter herstellen, die den Anforderungen der Herstellung integrierter Schaltkreise gerecht werden, und Chinas Technologie und Produkte in diesem Bereich müssen weiterentwickelt und verbessert werden.

Zu den Hauptmerkmalen des Siliziumkarbid-Lithografiefutters gehören:

o Hohe Präzision: Siliziumkarbidkeramik weist eine extrem hohe Härte und Genauigkeit auf, wodurch die hochpräzisen Fixierungs- und Stützanforderungen von Siliziumwafern im Herstellungsprozess integrierter Schaltkreise erfüllt werden können.

o Hohe Stabilität: Siliziumkarbidkeramik weist eine hohe thermische Stabilität und einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten auf, wodurch Größe und Form während des Lithographieprozesses stabil bleiben können, um eine Beeinträchtigung der Lithographiegenauigkeit zu vermeiden.

o Gute chemische Stabilität: Siliziumkarbidkeramik weist eine gute Stabilität gegenüber den meisten chemischen Substanzen auf, korrodiert und erodiert nicht leicht und kann während des Lithographieprozesses eine stabile Leistung aufrechterhalten.

o Hohe Adsorptionskraft: Der Lithographiesauger aus Siliziumkarbid verwendet eine spezielle Adsorptionstechnologie, die Siliziumwafer fest adsorbieren kann, um sicherzustellen, dass sie sich während des Lithographieprozesses nicht verschieben oder wackeln, was die Genauigkeit und Stabilität der Lithographie gewährleistet.

3, Erkennungsfutter

Das Erkennungsfutter aus Siliziumkarbid kann den reibungslosen Ablauf des Erkennungsprozesses gewährleisten und so die Fertigungsqualität integrierter Schaltkreise verbessern. Gleichzeitig ist die Lebensdauer des Siliziumkarbid-Erkennungsfutters lang, was die Herstellungs- und Wartungskosten senken und den wirtschaftlichen Gesamtnutzen verbessern kann.

4, Präzisionsbewegungsplattform

Die Präzisionsbewegungsplattform aus Siliziumkarbid spielt in verschiedenen hochpräzisen Fertigungs- und Verarbeitungsbereichen eine wichtige Rolle. Es kann hochpräzise und hochstabile Bewegungssteuerungslösungen für die Halbleiterverarbeitung, die optische Fertigung, die Nanotechnologie und andere Bereiche bereitstellen, um die Produktqualität und Produktionseffizienz zu verbessern.

Zu den Hauptmerkmalen der Siliziumkarbid-Präzisionsbewegungsplattform gehören:

o Hohe Präzision: Siliziumkarbidkeramik weist eine extrem hohe Härte und Genauigkeit auf, die den hohen Präzisionsanforderungen der Bewegungsplattform gerecht werden und die Stabilität und Genauigkeit der Plattform während der Bewegung gewährleisten kann.

o Hohe Stabilität: Siliziumkarbidkeramik weist eine hohe thermische Stabilität und einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten auf, wodurch eine stabile Leistung bei hohen Temperaturen und rauen Umgebungen aufrechterhalten, Dimensionsverformungen und thermische Fehler reduziert und die Langzeitstabilität der Plattform sichergestellt werden können.

o Leichtgewicht: Siliziumkarbidkeramik weist eine geringe Dichte und eine hohe Festigkeit auf, wodurch das Leichtbaudesign der Plattform realisiert, die Bewegungsträgheit verringert, die Motorlast verringert und die dynamische Reaktion und Beschleunigung der Plattform verbessert werden können.

o Hohe Verschleißfestigkeit: Siliziumkarbidkeramik weist eine hervorragende Verschleißfestigkeit auf, widersteht Hochgeschwindigkeitsbewegungen und starkem Lastverschleiß und verlängert die Lebensdauer der Plattform.

5,Hochreine Siliziumkarbidteile zum Ätzen von Gliedern 

Im Ätzprozess spielen hochreine Siliziumkarbid-Komponenten eine Schlüsselrolle. Hochreines Siliziumkarbid verfügt über hervorragende physikalische und chemische Eigenschaften wie hohe Härte, hohe thermische Stabilität, gute chemische Stabilität und geringe Reaktivität, was es zu einem idealen Material für Ätzgeräte macht.

Eine Schlüsselrolle spielen hochreine Siliziumkarbidteile. Hochreines Siliziumkarbid verfügt über hervorragende physikalische und chemische Eigenschaften wie hohe Härte, hohe thermische Stabilität, gute chemische Stabilität und geringe Reaktivität, was es zu einem idealen Material für Ätzgeräte macht.

In Plasmaätzanlagen wird hochreines Siliziumkarbid häufig zur Herstellung von Schlüsselkomponenten wie Fokussierringen, Gassprühköpfen, Paletten, Kantenringen, geätzten Hohlräumen, geätzten Gasdüsen usw. verwendet. Diese Komponenten spielen eine entscheidende Rolle im Ätzprozess B. der Fokussierring zur Gewährleistung einer gleichmäßigen Verteilung des Plasmas, der Gassprühkopf zur präzisen Steuerung der Gasinjektion, die Ablage und der Kantenring zur Unterstützung und Stabilisierung des zu ätzenden Wafers.

Hochreine Siliziumkarbidteile zeigen eine gute Stabilität in der Umgebung, die Chlor und Fluor-Ätzgas enthält, und ihre geringe Reaktivität kann Korrosion und Schäden an der Ausrüstung während des Ätzprozesses wirksam reduzieren. Darüber hinaus verfügt hochreines Siliziumkarbid über eine ähnliche elektrische Leitfähigkeit wie Silizium, wodurch es den Strom während des Ätzvorgangs effektiv leiten kann und so die Gleichmäßigkeit und Konsistenz des Ätzvorgangs gewährleistet.

Mit dem kontinuierlichen Fortschritt in der Herstellung integrierter Schaltkreise werden die Anforderungen an die Ätztechnologie immer höher. Komponenten aus hochreinem Siliziumkarbid mit ihrer hervorragenden Leistung und Stabilität sind einer der Schlüssel zur Erfüllung dieser Anforderungen. Mit der kontinuierlichen Weiterentwicklung der Technologie wird der Einsatz von hochreinem Siliziumkarbid im Ätzprozess immer umfangreicher.

6, Präzisionsbewegungssystem bei der Paketinspektion

Bei der Hochgeschwindigkeits- und hochpräzisen Bewegungssteuerung können die hohe Härte und geringe Reibung von Siliziumkarbidkeramik Verschleiß und Reibung reduzieren und die Stabilität und Lebensdauer des Systems verbessern. Gleichzeitig kann sich die Temperaturänderung im Prozess der Verpackungsinspektion auf das Präzisionsbewegungssystem auswirken. Durch den Einsatz von Siliziumkarbidkeramik können diese Auswirkungen wirksam verringert und die Zuverlässigkeit und Stabilität des Systems verbessert werden.

Das Präzisionsbewegungssystem aus Siliziumkarbidkeramik in der Verpackungs- und Prüfverbindung umfasst die Schlüsselkomponenten wie Führungsschiene, Lager und Gleitblock. Die Fertigungsgenauigkeit und Leistung dieser Komponenten wirken sich direkt auf die Stabilität und Genauigkeit des gesamten Bewegungssystems aus. Daher sind auch die hochpräzise Verarbeitungstechnologie und Oberflächenbehandlungstechnologie von Siliziumkarbidkeramiken von entscheidender Bedeutung.

Siliziumkarbidkeramik wird auch für Präzisionsbewegungssysteme im Inspektionsprozess von Fertigungspaketen verwendet, beispielsweise für die Ausrichtung und Passung während der Chipverpackung.

Siliziumkarbidkeramik spielt eine wichtige Rolle im Präzisionsbewegungssystem der Verpackungsinspektion. Mit dem kontinuierlichen Fortschritt der Technologie und der Erweiterung der Anwendungsfelder wird der Einsatz von Siliziumkarbidkeramik in Präzisionsbewegungssystemen immer umfangreicher.

FOUNTYL TECHNOLOGIES PTE. GMBH. ist ein modernes Unternehmen im Bereich der Hochleistungskeramik, das Forschung und Entwicklung, Herstellung und Vertrieb vereint und hauptsächlich poröse Keramiken, Aluminiumoxid, Zirkonoxid, Siliziumnitrid, Siliziumkarbid, Aluminiumnitrid, dielektrische Mikrowellenkeramik und andere fortschrittliche Keramikmaterialien herstellt. Unser speziell eingeladener japanischer Technologieexperte verfügt über mehr als 30 Jahre Branchenerfahrung im Halbleiterbereich und bietet effizient spezielle Keramikanwendungslösungen mit Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit, hoher Temperaturbeständigkeit, hoher Wärmeleitfähigkeit und Isolierung für in- und ausländische Kunden.