Σπίτι
Υλικά
Καρβίδιο του πυριτίου που χρησιμοποιείται για ανθεκτικά στη διάβρωση μέρη, εξαρτήματα στεγανοποίησης, εξαρτήματα ανθεκτικά σε υψηλή θερμοκρασία, ράγες οδήγησης και τετράγωνες δοκούς
Τα κεραμικά καρβιδίου του πυριτίου έχουν εξαιρετικές μηχανικές ιδιότητες σε κανονική θερμοκρασία, όπως υψηλή αντοχή, υψηλή σκληρότητα, υψηλό μέτρο ελαστικότητας, εξαιρετική σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας, όπως υψηλή θερμική αγωγιμότητα, χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής και καλή ειδική ακαμψία και ιδιότητες οπτικής επεξεργασίας, ιδιαίτερα κατάλληλες για την παρασκευή μηχανήματος φωτολιθογραφίας και άλλου εξοπλισμού ολοκληρωμένου κυκλώματος για κεραμικά δομικά μέρη ακριβείας. Όπως χρησιμοποιείται στη μηχανή φωτολιθογραφίας κινούμενο τραπέζι ακριβείας τεμαχίου εργασίας, σκελετό, βεντούζα, υδρόψυκτο πιάτο και καθρέφτη μέτρησης ακριβείας, σχάρα και άλλα κεραμικά δομικά μέρη, νέο υλικό Fountyl μετά από χρόνια τεχνικής έρευνας, λύνει το μεγάλο μέγεθος, το λεπτό τοίχωμα, κοίλη και άλλη σύνθετη δομή των δομικών μερών καρβιδίου του πυριτίου προβλήματα επεξεργασίας και προετοιμασίας ακριβείας, σπάζοντας το τεχνικό σημείο συμφόρησης αυτού του είδους τεχνολογίας ακριβείας προετοιμασίας δομικών μερών καρβιδίου του πυριτίου. Έχει προωθήσει σε μεγάλο βαθμό τον εντοπισμό των βασικών δομικών μερών που χρησιμοποιούνται στον εξοπλισμό κατασκευής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων.
● Τα κεραμικά καρβιδίου του πυριτίου περιλαμβάνουν κυρίως καρβίδιο πυριτίου πυροσυσσωμάτωσης χωρίς πίεση (SSiC), καρβίδιο του πυριτίου πυροσυσσωματωμένο με αντίδραση (RBSC), καρβίδιο του πυριτίου από χημική εναπόθεση ατμών (CVD-SiC).
● Το καρβίδιο του πυριτίου έχει μια ποικιλία από εξαιρετικές ιδιότητες: εξαιρετικά σκληρό, αντοχή στη φθορά, υψηλή θερμική αγωγιμότητα και μηχανική αντοχή, χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, εξαιρετική θερμική σταθερότητα, χαμηλή πυκνότητα, υψηλή ειδική ακαμψία, μη μαγνητικό.
● Επί του παρόντος, τα κεραμικά καρβιδίου του πυριτίου εφαρμόζονται σε διάφορες βιομηχανίες όπως η αεροπορία, η αεροδιαστημική και η πυρηνική βιομηχανία, όπως κεραμικά μέρη εξοπλισμού υψηλής τεχνολογίας για κεραμικούς ανακλαστήρες καρβιδίου του πυριτίου και κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων IC, εναλλάκτες θερμότητας και αλεξίσφαιρα υλικά υπό ακραίες συνθήκες.
Χαρακτηριστικά κεραμικών δομικών μερών ακριβείας για εξοπλισμό κατασκευής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων:
① Εξαιρετικά ελαφρύ: Για να μειωθεί η αδράνεια κίνησης, να μειωθεί το φορτίο του κινητήρα, να βελτιωθεί η απόδοση κίνησης, η ακρίβεια τοποθέτησης και η σταθερότητα, τα δομικά μέρη χρησιμοποιούν γενικά ελαφρύ σχεδιασμό δομής, το ποσοστό ελαφρού βάρους είναι 60-80%, έως και 90%.
② Υψηλή ακρίβεια φόρμας: Για να επιτευχθεί κίνηση και τοποθέτηση υψηλής ακρίβειας, τα δομικά μέρη πρέπει να έχουν εξαιρετικά υψηλή ακρίβεια μορφής και θέσης, η επιπεδότητα, η παραλληλία και η καθετότητα να είναι μικρότερες από 1μm και η μορφή και Η ακρίβεια θέσης απαιτείται να είναι μικρότερη από 5μm.
③ Υψηλή σταθερότητα διαστάσεων: Προκειμένου να επιτευχθεί κίνηση και τοποθέτηση υψηλής ακρίβειας, τα δομικά μέρη απαιτείται να έχουν εξαιρετικά υψηλή διαστατική σταθερότητα, να μην παράγουν καταπόνηση και υψηλή θερμική αγωγιμότητα, χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, μη εύκολο να παραχθεί μεγάλη παραμόρφωση διαστάσεων ;
④ Καθαρό και χωρίς ρύπανση. Τα δομικά μέρη απαιτείται να έχουν εξαιρετικά χαμηλό συντελεστή τριβής, μικρή απώλεια κινητικής ενέργειας κατά την κίνηση και χωρίς ρύπανση από σωματίδια λείανσης. Το υλικό καρβιδίου του πυριτίου έχει πολύ υψηλό συντελεστή ελαστικότητας, θερμική αγωγιμότητα και χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, δεν είναι εύκολο να παραχθεί παραμόρφωση τάσης κάμψης και θερμική καταπόνηση και έχει εξαιρετική στιλβωτική ικανότητα, μπορεί να κατεργαστεί σε εξαιρετικό κάτοπτρο. Ως εκ τούτου, έχει μεγάλα πλεονεκτήματα η χρήση καρβιδίου του πυριτίου ως δομικού υλικού ακριβείας για τον βασικό εξοπλισμό ολοκληρωμένων κυκλωμάτων όπως η μηχανή φωτολιθογραφίας, το καρβίδιο του πυριτίου έχει τα πλεονεκτήματα της καλής χημικής σταθερότητας, της υψηλής μηχανικής αντοχής, της υψηλής θερμικής αγωγιμότητας και του χαμηλού συντελεστή θερμικής διαστολής. και μπορεί να εφαρμοστεί σε υψηλή θερμοκρασία, υψηλή πίεση, διάβρωση και ακτινοβολία ακραίων περιβαλλόντων.
Το καρβίδιο του πυριτίου έχει τα πλεονεκτήματα της καλής χημικής σταθερότητας, της υψηλής μηχανικής αντοχής, της υψηλής θερμικής αγωγιμότητας και του χαμηλού συντελεστή θερμικής διαστολής και μπορεί να εφαρμοστεί σε υψηλή θερμοκρασία, υψηλή πίεση, διάβρωση και ακτινοβολία ακραίων περιβαλλόντων.
Ο βασικός εξοπλισμός του ολοκληρωμένου κυκλώματος απαιτεί τα συστατικά στοιχεία να έχουν τα χαρακτηριστικά του μικρού βάρους, υψηλής αντοχής, υψηλής θερμικής αγωγιμότητας και χαμηλού συντελεστή θερμικής διαστολής και να είναι πυκνά και ομοιόμορφα χωρίς ελαττώματα. Τα εξαρτήματα απαιτείται να έχουν εξαιρετικά υψηλή ακρίβεια διαστάσεων και σταθερότητα διαστάσεων για να διασφαλίζεται η κίνηση και ο έλεγχος του εξοπλισμού εξαιρετικής ακρίβειας. Τα κεραμικά καρβιδίου του πυριτίου έχουν υψηλό μέτρο ελαστικότητας και ειδική ακαμψία, δεν είναι εύκολο να παραμορφωθούν και έχουν υψηλή θερμική αγωγιμότητα και χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, υψηλή θερμική σταθερότητα, επομένως τα κεραμικά καρβιδίου του πυριτίου είναι ένα εξαιρετικό δομικό υλικό, επί του παρόντος στην κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων βασικός εξοπλισμός για να αποκτήσετε ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών, όπως μηχανή λιθογραφίας με τραπέζι εργασίας καρβιδίου του πυριτίου, ράγα οδήγησης, ανακλαστήρα, κεραμικό τσοκ και κεραμικό τελικό τελεστή.
Το Fountyl μπορεί να συναντήσει τη μηχανή φωτολιθογραφίας ως εκπρόσωπο του βασικού εξοπλισμού κατασκευής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων με μεγάλο μέγεθος, κοίλο λεπτό τοίχωμα, σύνθετη δομή, τεχνολογία ακριβείας προετοιμασίας δομικών μερών καρβιδίου πυριτίου, όπως: τσοκ κενού καρβιδίου πυριτίου, ράγα οδήγησης, ανακλαστήρας, τραπέζι εργασίας και μια σειρά από δομικά μέρη καρβιδίου του πυριτίου ακριβείας για μηχανή φωτολιθογραφίας.
| Ιδιότητες | Fountyl | ||
| Πυκνότητα (g/cm3) | 2,98-3,02 | ||
| Young's Modulus (GPa) | 368 | ||
| Αντοχή σε κάμψη (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE (×10-6/℃) | 100℃ | 2,8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4,6×10-6 | ||
| Θερμική αγωγιμότητα (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| αναλογία Poisson | 0,187 | ||
| Συντελεστής διάτμησης (GPa) | 155 | ||