Hejmo
Materialoj
0102030405
Silicia karbido uzata por korodrezistaj partoj, sigelaj partoj, alttemperaturaj imunaj partoj, gvidreloj kaj kvadrataj traboj
Silicikarburaj ceramikaĵoj havas bonegajn mekanikajn trajtojn ĉe normala temperaturo, kiel alta forto, alta malmoleco, alta elasta modulo, bonega alttemperatura stabileco, kiel alta varmokondukteco, malalta termika ekspansio-koeficiento, kaj bona specifa rigideco kaj optikaj prilaboraj propraĵoj, precipe taŭgaj. por la preparado de fotolitografiomaŝino kaj aliaj integracirkvitaj ekipaĵoj por precizecaj ceramikaj strukturaj partoj. Kiel uzata en la fotolitografio maŝino precize movanta laborpeco tablo, skeleto, suĉtaso, akvo-malvarmigita telero kaj precize mezurado spegulo, krado kaj aliaj ceramikaj strukturaj partoj, Fountyl nova materialo post jaroj da teknika esploro, solvi la grandan grandecon, maldika muro, kava kaj alia kompleksa strukturo de silicio-karburo strukturaj partoj precizeco prilaborado kaj preparado problemoj, trarompi la teknikan botelon de ĉi tiu speco de precizeco silicio-karburo strukturaj partoj preparado teknologio. Ĝi multe antaŭenigis la lokalizon de ŝlosilaj strukturaj partoj uzataj en integracirkvitaj fabrikaj ekipaĵoj.
● Silicia karbura ceramikaĵo ĉefe inkluzivas senprema sintering silicio-karbido (SSiC), reago-sinterigita silicio-karbido (RBSC), kemia vapora deponaĵo silicio-karbido (CVD-SiC).
● Silicia karbido havas diversajn bonegajn proprietojn: supermalmola, eluziĝorezisto, alta varmokondukteco kaj mekanika forto, malalta termika ekspansio koeficiento, bonega termika stabileco, malalta denseco, alta specifa rigideco, nemagneta.
● Nuntempe, silicio-karbura ceramikaĵo estas aplikata en diversaj industrioj kiel ekzemple aviado, aeroespaca kaj nuklea industrio, kiel ceramikaj partoj de altnivelaj ekipaĵoj por silicio-karbura ceramika reflektoro kaj IC-integra cirkvito-fabrikado, varmointerŝanĝiloj kaj kuglorezistaj materialoj sub ekstremaj kondiĉoj.
Karakterizaĵoj de precizecaj ceramikaj strukturaj partoj por integra cirkvito-produktada ekipaĵo:
① Tre malpeza: Por redukti la movan inercion, redukti la motoran ŝarĝon, plibonigi la movan efikecon, poziciigante precizecon kaj stabilecon, la strukturaj partoj ĝenerale uzas malpezan strukturon, la malpeza indico estas 60-80%, ĝis 90%;
② Alta formo-pozicia precizeco: Por atingi alt-precizecan movadon kaj poziciigon, la strukturaj partoj devas havi ekstreme altan formo- kaj pozicioprecizecon, la plateco, paraleleco kaj perpendikulareco devas esti malpli ol 1μm, kaj la formo kaj pozicioprecizeco estas postulata esti malpli ol 5μm.
③ Alta dimensia stabileco: Por atingi alt-precizecan movadon kaj poziciigon, la strukturaj partoj devas havi ekstreme altan dimensian stabilecon, ne produkti streĉon, kaj altan termikan konduktivecon, malaltan termikan disvastigan koeficienton, ne facile produkti grandan dimensian deformadon. ;
④ Pura kaj senpoluo. La strukturaj partoj estas postulataj por havi ekstreme malaltan frikciokoeficienton, malgrandan kinetan energioperdon dum movado, kaj neniun muelantan partikpoluadon. Silicia karbura materialo havas tre altan elastan modulon, termikan konduktivecon kaj malaltan termikan ekspansion-koeficienton, ne estas facile produkti flekseblan streĉan deformadon kaj termikan streĉon, kaj havas bonegan polureblecon, povas esti maŝinprilaborita al bonega spegulo; Tial, Ĝi havas grandajn avantaĝojn uzi siliciokarbidon kiel la precizecan strukturan materialon por la ŝlosila ekipaĵo de integraj cirkvitoj kiel fotolitografiomaŝino, Silicia karbido havas la avantaĝojn de bona kemia stabileco, alta mekanika forto, alta termika kondukteco kaj malalta termika ekspansio koeficiento, kaj povas esti aplikata en alta temperaturo, alta premo, korodo kaj radiado de ekstremaj medioj.
Silicia karbido havas la avantaĝojn de bona kemia stabileco, alta mekanika forto, alta varmokondukteco kaj malalta termika ekspansio koeficiento, kaj povas esti aplikata en alta temperaturo, alta premo, korodo kaj radiado de ekstremaj medioj.
La ŝlosila ekipaĵo de integra cirkvito postulas, ke la komponaj materialoj havas la karakterizaĵojn de malpeza pezo, alta forto, alta varmokondukteco kaj malalta termika ekspansio koeficiento, kaj estas densaj kaj unuformaj sen difektoj. Komponantoj estas postulataj por havi ekstreme altan dimensian precizecon kaj dimensian stabilecon por certigi ultra-precizecan movadon kaj kontrolon de la ekipaĵo. Silicikarbura ceramikaĵo havas altan elastan modulon kaj specifan rigidecon, ne facile misformeblan, kaj havas altan termikan konduktivecon kaj malaltan termikan disvastigan koeficienton, altan termikan stabilecon, do silicia karbura ceramikaĵo estas bonega struktura materialo, nuntempe en la integra cirkvito-fabrikado de ŝlosila ekipaĵo por akiri larĝan gamon de aplikoj, kiel litografiomaŝino kun siliciokarbura labortablo, gvidrelo, reflektoro, ceramika mandrilo kaj ceramika fina efikilo.
Fountyl povas renkonti la fotolitografiomaŝinon kiel la reprezentanto de la integra cirkvito fabrikado ŝlosila ekipaĵo kun granda grandeco, kava maldika muro, kompleksa strukturo, precizeco silicio carburo strukturaj partoj preparado teknologio, kiel ekzemple: silicio carburo vakuo chuck, gvidrelo, reflektoro, labortablo kaj serio de precizecaj siliciokarburaj strukturaj partoj por fotolitografiomaŝino.
| Propraĵoj | Fountyl | ||
| Denso (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Modulo de Young (GPa) | 368 | ||
| Fleksa forto (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100℃ | 2,8×10-6 | |
| 400℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4,6×10-6 | ||
| Termika Kondukto (W/m·k) (20 °C) | 160-180 | ||
| Rilatumo de Poisson | 0.187 | ||
| Tonda modulo (GPa) | 155 | ||