Noticias
Tecnología común de adsorción de obleas
La tecnología de adsorción de obleas es un vínculo aparentemente trivial pero crucial. Ya sean grabadas, depositadas o litografiadas, las obleas deben fijarse de manera estable y precisa en la posición correcta para garantizar una producción eficiente de chips.
Varios métodos comunes de adsorción de obleas:
Adsorción mecánica al vacío.
La adsorción mecánica al vacío crea un ambiente de presión negativa a través de una bomba de vacío, que se utiliza para extraer aire del área de adsorción, reduciendo así la presión y creando un área de vacío entre la oblea y el disco de adsorción. Por lo general, se requieren sellos para garantizar el sellado del área de adsorción y evitar la entrada de aire exterior. Esto crea suficiente succión para adsorber de manera estable la oblea.
La función del pasador (pasador de adsorción) del disco de adsorción al vacío
El pasador proporciona un punto de soporte uniforme para garantizar que la oblea permanezca plana durante el proceso de adsorción, evitando que se doble o agriete debido a fuerzas desiguales.
El diseño preciso del pasador garantiza que la oblea esté alineada con precisión y colocada en la posición deseada en el mandril, proporcionando un posicionamiento preciso para procesos de mecanizado posteriores.
Ventaja
Fiabilidad: La adsorción mecánica al vacío proporciona una fuerza de adsorción estable para garantizar la estabilidad de la oblea durante el procesamiento.
Versatilidad: este método es adecuado para diferentes tamaños y tipos de obleas y tiene una gran flexibilidad.
El mantenimiento es relativamente sencillo: los sistemas mecánicos de adsorción al vacío son más fáciles de mantener.
Defecto
Riesgo potencial de daño: si la aspiradora falla o se utiliza incorrectamente, la oblea puede dañarse.
Sensibilidad: Para obleas extremadamente frágiles o ultrafinas, la adsorción mecánica al vacío puede no ser la mejor opción.
Adsorción electrostática
La adsorción electrostática (ESC) normalmente consta de una superficie absorbente, un electrodo y una fuente de alimentación hecha de un material aislante. El electrodo está incrustado debajo de la superficie de adsorción y el material aislante se utiliza para aislar el electrodo del objeto adsorbido. Al aplicar un voltaje al electrodo, se genera un campo eléctrico. Este campo eléctrico pasa a través de la superficie de adsorción y se induce en la oblea, creando una atracción electrostática entre la oblea y la superficie de adsorción. La carga libre de la oblea es atraída hacia un lado del campo eléctrico, lo que crea una atracción hacia la superficie de adsorción.
Ventajas:
La adsorción electrostática no requiere contacto físico con la oblea, lo que reduce el riesgo de daño mecánico y contaminación.
Al cambiar el voltaje aplicado, el tamaño de la fuerza de adsorción se puede controlar con precisión para adaptarla a diferentes aplicaciones y requisitos de proceso.
Una vez que se absorbe la oblea, incluso si se corta la energía, la fuerza de adsorción se mantendrá durante un período de tiempo y no hay necesidad de preocuparse de que la oblea se caiga.
mandril bernoulli
El Bernoulli Chuck es un dispositivo de adsorción de obleas basado en el principio de Bernoulli. El principio de Bernoulli establece que cuando un fluido fluye a lo largo de una línea de flujo, la presión disminuye a medida que aumenta la velocidad del fluido y viceversa.
En Bernoulli Chuck, el gas sale de la boquilla a alta velocidad y a lo largo de la superficie de la oblea. Debido a este flujo de aire de alta velocidad, la presión sobre la superficie de la oblea se reduce, creando una diferencia de presión entre la oblea y el mandril. Esta diferencia de presión hace que la oblea sea atraída por el portabrocas, pero también queda suspendida sobre el flujo de aire, lo que reduce el contacto físico con el portabrocas.
Ventajas:
El mandril Bernoulli hace poco contacto físico entre la oblea y los retoños. Esto ayuda a reducir posibles daños mecánicos y contaminación.
Al utilizar gas inerte como colchón de aire, puede funcionar de manera estable en diversas temperaturas y entornos químicos.
El flujo de aire se puede ajustar para acomodar obleas de diferentes tamaños y formas.
Defecto:
Mayor costo
Altos requisitos de planitud de las obleas
un poco mas fuerte
Fountyl Technologies PTE Ltd, se centra en la industria de fabricación de semiconductores, sus principales productos incluyen: mandril de pasador, mandril de cerámica porosa, efector final de cerámica, viga cuadrada de cerámica, husillo de cerámica, ¡bienvenido a contactar y negociar!