Kodu
Materjalid
0102030405
Ränikarbiidi kasutatakse korrosioonikindlate osade, tihendite osade, kõrget temperatuuri taluvate osade, juhtsiinide ja kandiliste talade jaoks
Ränikarbiidkeraamikal on normaalsel temperatuuril suurepärased mehaanilised omadused, nagu kõrge tugevus, kõrge kõvadus, kõrge elastsusmoodul, suurepärane kõrge temperatuuri stabiilsus, näiteks kõrge soojusjuhtivus, madal soojuspaisumistegur ning head erijäikus ja optilised töötlemisomadused, eriti sobivad. fotolitograafiamasina ja muude integraallülituste seadmete valmistamiseks täppiskeraamiliste konstruktsiooniosade jaoks. Nagu kasutatakse fotolitograafiamasina täppisliikuva tooriku lauas, skeletis, iminappas, vesijahutusega plaadis ja täppismõõtepeeglis, restides ja muudes keraamilistes konstruktsiooniosades, Fountyli uus materjal pärast aastatepikkust tehnilist uurimistööd, lahendab suure suuruse, õhukese seina, ränikarbiidist konstruktsiooniosade õõnes- ja muu keeruka struktuuriga täppistöötluse ja -valmistamise probleemid, murdes läbi sellise täppis-ränikarbiidi konstruktsiooniosade valmistamise tehnoloogia tehnilise kitsaskoha. See on oluliselt edendanud integraallülituse tootmisseadmetes kasutatavate peamiste struktuuriosade lokaliseerimist.
● Ränikarbiidi keraamika hõlmab peamiselt rõhuvaba paagutavat ränikarbiidi (SSiC), reaktsiooniga paagutatud ränikarbiidi (RBSC), keemilise aurustamise-sadestamise ränikarbiidi (CVD-SiC).
● Ränikarbiidil on mitmesugused suurepärased omadused: ülikõva, kulumiskindlus, kõrge soojusjuhtivus ja mehaaniline tugevus, madal soojuspaisumistegur, suurepärane termiline stabiilsus, madal tihedus, kõrge erijäikus, mittemagnetiline.
● Praegu kasutatakse ränikarbiidist keraamikat erinevates tööstusharudes, nagu lennundus, kosmosetööstus ja tuumatööstus, näiteks ränikarbiidist keraamilise reflektori ja IC integraallülituse tootmise tippseadmete keraamilised osad, soojusvahetid ja kuulikindlad materjalid äärmuslikes tingimustes.
Integraallülituse tootmisseadmete täppiskeraamiliste konstruktsiooniosade omadused:
① Väga kerge: liikumise inertsi vähendamiseks, mootori koormuse vähendamiseks, liikumise tõhususe, positsioneerimise täpsuse ja stabiilsuse parandamiseks kasutavad konstruktsiooniosad üldiselt kerget konstruktsiooni, kergekaalu määr on 60–80%, kuni 90%;
② Suur kuju-asendi täpsus: suure täpsusega liikumise ja positsioneerimise saavutamiseks peavad konstruktsiooniosad olema väga suure kuju ja asendi täpsusega, tasasus, paralleelsus ja perpendikulaarsus peavad olema alla 1 μm ning vorm ja asukoha täpsus peab olema väiksem kui 5 μm.
③ Suur mõõtmete stabiilsus: suure täpsusega liikumise ja positsioneerimise saavutamiseks peavad konstruktsiooniosad omama äärmiselt suurt mõõtmete stabiilsust, mitte tekitama pinget ja kõrget soojusjuhtivust, madalat soojuspaisumistegurit, suurte mõõtmete deformatsiooni pole lihtne tekitada. ;
④ Puhas ja saastevaba. Konstruktsiooniosadel peab olema äärmiselt madal hõõrdetegur, väike kineetiline energiakadu liikumise ajal ja lihvimisosakeste saaste puudumine. Ränikarbiidmaterjalil on väga kõrge elastsusmoodul, soojusjuhtivus ja madal soojuspaisumise koefitsient, paindepinge deformatsiooni ja termilist deformatsiooni ei ole lihtne tekitada ning sellel on suurepärane poleeritavus, seda saab töödelda suurepäraseks peegliks; Seetõttu on ränikarbiidi kasutamisel suured eelised integraallülituste (nt fotolitograafiamasina) võtmeseadmete täppiskonstruktsioonimaterjalina, ränikarbiidi eelisteks on hea keemiline stabiilsus, kõrge mehaaniline tugevus, kõrge soojusjuhtivus ja madal soojuspaisumistegur, ja seda saab kasutada kõrgel temperatuuril, kõrge rõhu, korrosiooni ja äärmuslike keskkondade kiirguse korral.
Ränikarbiidi eelisteks on hea keemiline stabiilsus, kõrge mehaaniline tugevus, kõrge soojusjuhtivus ja madal soojuspaisumise koefitsient ning seda saab kasutada kõrgel temperatuuril, kõrge rõhu, korrosiooni ja äärmuslike keskkondade kiirguse korral.
Integraallülituse põhivarustus eeldab, et komponentide materjalidel on kerge kaal, kõrge tugevus, kõrge soojusjuhtivus ja madal soojuspaisumistegur ning need on tihedad ja ühtlased ilma defektideta. Komponentidelt nõutakse ülikõrget mõõtmete täpsust ja mõõtmete stabiilsust, et tagada seadmete ülitäpne liikumine ja juhtimine. Ränikarbiidist keraamikal on kõrge elastsusmoodul ja erijäikus, seda ei ole kerge deformeeruda ning sellel on kõrge soojusjuhtivus ja madal soojuspaisumise koefitsient, kõrge termiline stabiilsus, seega on ränikarbiidkeraamika suurepärane konstruktsioonimaterjal, mida praegu kasutatakse integraallülituste tootmisel. võtmeseadmed mitmesuguste rakenduste saamiseks, nagu litograafiamasin ränikarbiidist töölaua, juhtsiiniga, reflektoriga, keraamilise padruniga ja keraamilise otsaefektoriga.
Fountyl võib kohtuda fotolitograafiamasinaga integraallülituse tootmise võtmeseadmete esindajana, millel on suured, õõnsad õhukesed seinad, keerukas struktuur, täppis ränikarbiidist konstruktsiooniosade valmistamise tehnoloogia, näiteks: ränikarbiidist vaakumpadrun, juhtsiin, reflektor, töölaud ja seeria täppis ränikarbiidist konstruktsiooniosi fotolitograafia masina jaoks.
| Omadused | Fountyl | ||
| Tihedus (g/cm3) | 2,98-3,02 | ||
| Youngi moodul (GPa) | 368 | ||
| Paindetugevus (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE (× 10-6/℃) | 100 ℃ | 2,8 × 10-6 | |
| 400 ℃ | 3,6 × 10-6 | ||
| 800 ℃ | 4,2 × 10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4,6 × 10-6 | ||
| Soojusjuhtivus (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Poissoni suhe | 0,187 | ||
| Nihkemoodul (GPa) | 155 | ||