برای بیش از ده سال، لیتوگرافی غوطه وری اصلی ترین فناوری نوردهی در تولید نیمه هادی ها بوده است.
در فرآیند تولید ویفر، ویفر باید تا دمای خاصی گرم شود و یکنواختی دمای ویفر الزام بسیار سختی دارد، زیرا دمای یکنواخت ویفر...
