چاک سرامیکی متخلخل را چاک خلاء نانومتخلخل نیز می نامند که به کره جامد یا خلاء یکنواخت تولید شده توسط یک فرآیند تولید پودر نانو و تعداد زیادی از مخازن اطلاق می شود.
شرایط خاصی برای نگهداری و حمل و نقل ویفرها پس از انجام تمام مراحل در فاب چیست؟ آیا بسته بندی محیطی خاصی لازم است؟