سرامیک آلومینا یک ماده سرامیکی با آلومینا (Al2O3) به عنوان بدنه اصلی مدارهای مجتمع فیلم ضخیم است.
به عنوان تجهیزات اصلی تولید تراشه، دستگاه لیتوگرافی EUV توجه زیادی را به خود جلب کرده است و اهمیت ASML بیش از پیش برجسته شده است و در این موج، الگوی s...