فن آوری ها و تجهیزات کلیدی تولید مدار مجتمع عمدتاً شامل فناوری لیتوگرافی و تجهیزات لیتوگرافی، فناوری و تجهیزات رشد فیلم، مواد شیمیایی مکانیکی ...
فرآیند تولید نیمه هادی فرآیند پردازش ویفرهای سیلیکونی به تراشه های نیمه هادی است. تقریباً می توان آن را به بخش جلو و بخش عقب تقسیم کرد.