در حال حاضر قطعات نیمه هادی خلاء داخلی معادل مرحله توسعه تجهیزات نیمه هادی داخلی در حدود 3 تا 5 سال پیش است و چندین تامین کننده داخلی قطعات مختلف ...
چاک سرامیکی متخلخل را چاک خلاء نانومتخلخل نیز می نامند که به کره جامد یا خلاء یکنواخت تولید شده توسط یک فرآیند تولید پودر نانو و تعداد زیادی از مخازن اطلاق می شود.