فناوری لیتوگرافی یک فناوری نیمه هادی کلیدی است که بر اساس فناوری عکاسی و فناوری چاپ تخت توسعه یافته است.
پلاسما اولین بار توسط ویلیام کروکس در سال 1879 کشف شد و در سال 1929 توسط ایروینگ لانگمویر "پلاسما" نامگذاری شد. کاربرد پلاسما در ساخت تراشه بسیار رایج و مهم است، می توان گفت که ...
