گرافیت با خلوص بالا دارای مقاومت در برابر دمای بالا، هدایت الکتریکی خوب و پایداری شیمیایی است و به یک ماده کلیدی در زمینه نیمه هادی تبدیل شده است.
یکی از مزایای EUV کاهش مراحل پردازش تراشه است و استفاده از EUV به جای فناوری سنتی چند گانه، مراحل رسوب گذاری، اچینگ و ... را کاهش می دهد.
