فناوری CMP (Chemical Mechanical Polishing) یک فرآیند کلیدی برای دستیابی به سطوح یکنواخت و مسطح جهانی ویفر در تولید نیمه هادی است.
اپیتاکسی به فناوری رشد کریستال یا رسوب مواد اشاره دارد که موقعیت بسیار مهمی در فرآیندهای تولید میکروالکترونیک و اپتوالکترونیک دارد.
