اولین ربات صنعتی جهان در سال 1962 در ایالات متحده متولد شد. مهندس آمریکایی جورج چارلز دیول جونیور "پاسخ انعطاف پذیر به روبات های خودکار از طریق آموزش و پخش...
در حال حاضر قطعات نیمه هادی خلاء داخلی معادل مرحله توسعه تجهیزات نیمه هادی داخلی در حدود 3 تا 5 سال پیش است و چندین تامین کننده داخلی قطعات مختلف ...
