پوشش سرامیکی یک اصطلاح عمومی برای دسته ای از پوشش های غیر فلزی معدنی است که نه تنها مزایای مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر سایش و مقاومت در برابر خوردگی را حفظ می کند.
یکی از مزایای EUV کاهش مراحل پردازش تراشه است و استفاده از EUV به جای فناوری سنتی چند گانه، مراحل رسوب گذاری، اچینگ و ... را کاهش می دهد.
