پولیش مکانیکی شیمیایی (CMP) تکنیکی است که در ساخت تراشههای مدار مجتمع برای دستیابی به صافی سطح ویفر استفاده میشود.
خلاء در ساخت نیمه هادی ها بسیار مهم است، در صنعت نیمه هادی ها از محیط خلاء در فرآیندهای مختلفی استفاده می شود که شامل رسوب گیری بخار فیزیکی (PVD) ، Chemical V ...
