فن آوری ها و تجهیزات کلیدی تولید مدار مجتمع عمدتاً شامل فناوری لیتوگرافی و تجهیزات لیتوگرافی، فناوری و تجهیزات رشد فیلم، مواد شیمیایی مکانیکی ...
سرامیک های کاربید سیلیکون به دلیل خواص فیزیکی و شیمیایی منحصر به فرد خود نقش مهمی در تجهیزات تولید نیمه هادی/مدارات مجتمع ایفا می کنند.
