قطعات سرامیکی و قطعات کوارتز و مهر و موم پرفلورینه و چاک الکترواستاتیک ....

تأخیر در توسعه قطعات دقیق نیمه هادی عمدتاً به دلیل فرآیند پیچیده قطعات کلیدی نیمه هادی، الزامات دقت بالا، چرخه طولانی صدور گواهینامه است، اکثر رهبران خارجی پس از سال ها انباشته شدن، مانع بالایی برای ورود ایجاد کرده اند، و چینش عمومی صنعت قطعات داخلی. برای مدت طولانی گم شده است، از سوی دیگر، انواع مختلف قطعات، دسته نسبتا کوچک، اندازه خاص، و غیره. صنعت تجهیزات، عدم توجه و پیگیری درازمدت سرمایه، انتظار می‌رود که کانال فهرست‌بندی شرکت‌های کوچک و متوسط ​​جدید "تخصصی و ویژه" به تولیدکنندگان محصولات تقسیم‌بندی شده کمک کند تا توسعه قابل توجهی داشته باشند، CVC (سرمایه شرکت) و توسعه بازارهای بین المللی نیز راهی مهم برای شرکت های قطعه سازی برای تقویت مزایای خود خواهد بود.

در ادامه وضعیت صنعت قطعات تجهیزات فرآیند خشک سابق از بازار کلی و دسته بندی های خاص مورد بحث قرار می گیرد و برخی از صنعت قطعات مواد با نرخ بومی سازی پایین یا مصرف نسبتاً بالا فهرست می شود.

اندازه بازار قطعات نیمه هادی

قطعات نیمه هادی ابتدا به دو دسته تقسیم می شوند: 1. قطعات ماشین دقیق و 2. قطعات خریداری شده عمومی. 1. لوازم جانبی ماشین های دقیق معمولا توسط شرکت های مختلف تجهیزات نیمه هادی طراحی می شود و سپس پردازش برون سپاری می شود، فقط برای تجهیزات شرکت، مانند اتاق های فرآیند، اتاق های انتقال و غیره، محلی سازی نسبتا آسان است و عملیات سطح، ماشینکاری دقیق و سایر نیازهای فناوری بالاتر هستند. 2. قطعات خریداری شده عمومی برخی از قطعات عمومی هستند که برای مدت طولانی تایید شده اند و توسط بسیاری از کارخانه ها و تولید کنندگان تجهیزات به طور گسترده ای شناخته شده اند. آنها استانداردتر هستند و توسط شرکت های مختلف تجهیزات مورد استفاده قرار می گیرند و همچنین به عنوان قطعات یدکی و مواد مصرفی در خط تولید استفاده خواهند شد. به عنوان مثال، قطعات ساختاری سیلیکونی، مهر و موم های O-Ring، دریچه ها، گیج ها، پمپ ها، صفحات فیس، سر اسپری گاز، سر دوش و غیره، چنین قطعاتی تطبیق پذیری و سازگاری قوی دارند و نیاز به تاییدیه تجهیزات و خط تولید دارند. .

به عنوان جزء اصلی تجهیزات نیمه هادی، قطعات به همراه مواد نیمه هادی و نرم افزار EDA از لینک های طراحی، ساخت، آب بندی و آزمایش در زنجیره صنعت نیمه هادی پشتیبانی می کنند و در نتیجه از فرآیند دیجیتال اقتصاد جهانی پشتیبانی می کنند. اجزای هسته نیمه هادی، مانند مواد خام نیمه هادی، اگرچه اندازه بازار کوچک است، ترکیب هسته، هزینه اصلی و عملکرد با کیفیت بالا تجهیزات نیمه هادی را تعیین می کند. در سال 2020، اندازه بازار جهانی قطعات هسته نیمه هادی حدود 20-30 میلیارد دلار و اندازه بازار تجهیزات نیمه هادی حدود 80-90 میلیارد دلار است. تجهیزات نیمه هادی و مواد نیمه هادی، EDA با هم از مقیاس جهانی تراشه های نیمه هادی و صنعت کاربرد حدود 500 میلیارد دلار آمریکا پشتیبانی می کند.

بررسی اجمالی صنعت قطعات نیمه هادی

ما دستگاه های نیمه هادی جلویی را به سه دسته کلی تقسیم می کنیم:

(1) تجهیزات نوری، عمدتاً از جمله ماشین‌های لیتوگرافی و تجهیزات اندازه‌گیری/تشخیص،

(2) تجهیزات فرآیند خشک، عمدتاً از جمله دستگاه اچینگ، PVD، CVD، دستگاه کاشت یون و غیره.

(3) تجهیزات فرآیند مرطوب، به طور عمده شامل تجهیزات تمیز کردن، تجهیزات توسعه چسب و تجهیزات CMP.

دسته بندی اجزای نیمه هادی و تجهیزات مورد استفاده در آنها به موارد زیر مربوط می شود:

شرکت های قطعه سازی با توجه به مواد اصلی و عملکرد قطعات نیمه هادی به دوازده دسته تقسیم می شوند که شامل

1. قطعات سیلیکون / کاربید سیلیکون،
2. قطعات کوارتز،
3. قطعات سرامیکی،
4. قطعات فلزی،
5. قطعات گرافیت،
6. قسمت های پلاستیکی،
7. قطعات خلاء،
8. مهر و موم،
9. قطعات فیلتر،
10. قطعات متحرک،
11. قطعات کنترل الکتریکی
12. قسمت های دیگر.

هر یک از این قطعات همچنین شامل تعدادی محصولات فرعی مانند قطعات خلاء از جمله وکیوم گیج (وکیوم فرآیند اندازه گیری)، فشار سنج خلاء، دبی سنج گاز (MFC)، قطعات شیر ​​خلاء، پمپ های خلاء و سایر قطعات کلیدی می باشد.

قطعات مواد با نرخ محلی سازی پایین

تجهیزات تولید نیمه هادی به مواد سازنده دقیق با وزن سبک، استحکام بالا، هدایت حرارتی بالا و ضریب انبساط حرارتی کم و یکنواخت متراکم بدون نقص نیاز دارند. علاوه بر مواد، ساختار، فرآیند و کیفیت، قطعات نیمه هادی نیز دارای الزامات بالایی برای دقت، قابلیت اطمینان و پایداری هستند، بنابراین محلی سازی دشوار است.

قطعات سرامیکی

1). مواد اصلی اجزای سرامیکی نیمه هادی و مواد مصرفی

قطعات سرامیکی دقیق نماینده ترین مواد قطعات دقیق نیمه هادی. سرامیک های دقیق حدود 16 درصد از ارزش تولید تجهیزات نیمه هادی را تشکیل می دهند. سرامیک های نیمه هادی آلومینا، نیترید سیلیکون، نیترید آلومینیوم، کاربید سیلیکون و غیره هستند. در مقایسه با مواد آلی و فلزی، مواد سرامیکی به طور کلی مقاومت در برابر خوردگی فیزیکی و شیمیایی بهتر و دمای کار بالا دارند و به اجزای اصلی فرآیند تولید ویفر سیلیکونی نیمه هادی تک کریستالی و فرآیند پردازش قبلی تبدیل شده اند. سرامیک دارای سختی بالا، مدول الاستیک بالا، مقاومت در برابر سایش بالا، عایق بالا، مقاومت در برابر خوردگی، انبساط کم و مزایای دیگر است، می تواند به عنوان دستگاه پرداخت سیلیکون، اپیتاکسیال / اکسیداسیون / انتشار و سایر تجهیزات عملیات حرارتی، دستگاه لیتوگرافی، تجهیزات رسوب استفاده شود. تجهیزات اچینگ نیمه هادی، دستگاه کاشت یون و سایر قطعات تجهیزات.

(1)Al2O3

(2) SiC

(3) AIN

(4) Si3N4

2). الگوی بازار قطعات سرامیکی دقیق

در حال حاضر، شرکت های خارجی در خط مقدم تحقیق و توسعه و کاربرد قطعات ساختاری سرامیکی دقیق برای تجهیزات هسته مدار مجتمع در ژاپن، CoorsTek در ایالات متحده، Berlinerglas در آلمان و غیره هستند که از جمله آنها، Kyocera در ژاپن و CoorsTek می باشد. در ایالات متحده 70٪ از سهم بازار قطعات ساختاری سرامیکی با دقت بالا برای تجهیزات هسته مدار مجتمع را اشغال می کند.

ظروف کوارتز

صنعت شیشه کوارتز نیمه هادی

شیشه کوارتز یک ماده کمکی مهم در صنعت نیمه هادی است که به طور گسترده در ساخت نیمه هادی ماسک های نوری، انتشار، اچینگ و سایر لینک ها استفاده می شود، یکی از مواد اولیه کلیدی در صنعت نیمه هادی است. کوارتز دارای مقاومت در برابر دمای بالا، ضریب انبساط حرارتی کوچک، انتقال نور عالی، عایق الکتریکی خوب، مقاومت در برابر خوردگی و سایر عملکردهای برتر است، تقاضای پایین دست به طور گسترده در صنعت منبع نور کم پایان (4٪)، صنعت فتوولتائیک (7٪) درگیر است. و همچنین اپتیک های پیشرفته (10%)، فیبر نوری (14%) و نیمه هادی (65%) و سایر آستانه های فنی زمینه های بالاتر.

حلقه آب بندی پرفلورینه

حلقه آب بندی پرفلورینه یکی از پنج ماده مصرفی اصلی مورد نیاز برای تولید مدارهای مجتمع است و میزان خودکفایی فعلی داخلی کمتر از 1 درصد است. در فرآیند تولید نیمه هادی، گازهای فلوئور و هیدروژن اغلب با دمای بالا مواجه می شوند. اگر حلقه آب بندی وجود نداشته باشد، جریان گاز پرانرژی با سطح ماده اصلاح شده تماس پیدا می کند که باعث خوردگی شدید روی سطح ماده می شود.

چاک الکترواستاتیک

چاک الکترواستاتیک نوعی حامل ویفر فوق العاده تمیز است که برای محیط خلاء یا محیط پلاسما مناسب است. از اصل جذب الکترواستاتیکی برای انجام بستن صاف و یکنواخت ویفر فوق نازک استفاده می کند و به طور گسترده در PVD، PECVD، ETCH، EUVL، کاشت یون و سایر تجهیزات تولید نیمه هادی استفاده می شود. یک سیستم نگهدارنده چاک الکترواستاتیک معمولی یک ساختار ساندویچی است که از سه بخش تشکیل شده است: لایه جذب دی الکتریک، لایه الکترود و لایه پایه. این سه قسمت در یک ساختار لایه ای در چاک الکترواستاتیک از لایه سطحی به لایه پایه قرار گرفته اند تا لایه جذب دی الکتریک، لایه الکترود و لایه پایه تشکیل شود.

بازار جهانی چاک الکترواستاتیک به شدت انحصاری است که تحت سلطه شرکت های ژاپنی و آمریکایی، شرکت های آمریکایی عمدتاً AMAT (مواد کاربردی)، LAM (گروه پان جنگل) و شرکت های ژاپنی عمدتاً Shinko (شینکو الکتریک)، TOTO، NTKCERATEC و غیره است. غول‌های بین‌المللی مدت‌هاست که زنجیره تامین محصولات چاک الکترواستاتیک جهانی را کنترل می‌کنند و تمرکز بازار بالاست.

Fountyl Technologies PTE Ltd، بر صنعت تولید نیمه هادی تمرکز دارد، محصولات اصلی عبارتند از: پین چاک، چاک سرامیکی متخلخل، افکتور انتهایی سرامیکی، پرتو مربع سرامیکی، دوک سرامیکی، خوش آمدید به تماس و مذاکره!