سرامیک کاربید سیلیکون مورد استفاده در تجهیزات تولید نیمه هادی / مدار مجتمع

سرامیک های کاربید سیلیکون به دلیل خواص فیزیکی و شیمیایی منحصر به فرد خود نقش مهمی در تجهیزات تولید نیمه هادی/مدارات مجتمع ایفا می کنند. با این حال، لازم به ذکر است که در حال حاضر، تحقیق و توسعه و استفاده از قطعات ساختاری سرامیکی دقیق برای تجهیزات هسته مدار مجتمع عمدتاً در ایالات متحده، ژاپن، اروپا و سایر نقاط متمرکز شده است و هنوز در موقعیت انحصاری مطلق قرار دارند. . بنابراین، چین هنوز به تحقیقات بیشتر و دستیابی به موفقیت در مواد سرامیکی کاربید سیلیکون و فناوری آماده سازی مربوطه نیاز دارد.

1، جیچاک سنگ زنی و پولیش

در فرآیند تولید چاک پولیش کاربید سیلیکون، مواد سرامیکی کاربید سیلیکون به شکل چاک و از طریق فرآیند ویژه پردازش می‌شوند تا سطح آن دارای خواص سنگ‌زنی و پرداخت عالی باشد. در هنگام استفاده، چاک با جذب سطح قطعه کار، با استفاده از سختی و تیزی سرامیک های کاربید سیلیکون برای حذف ناخالصی ها مانند سوراخ ها و اکسیدهای روی سطح، و بهبود پرداخت و دقت کار، سطح قطعه کار را آسیاب و صیقل می دهد. سطح قطعه کار

ویژگی های اصلی چاک سنگ زنی و پولیش کاربید سیلیکون عبارتند از:

o سختی بالا: سرامیک های کاربید سیلیکون دارای سختی بسیار بالایی هستند و بعد از الماس در رده دوم قرار دارند، بنابراین می توانند به طور موثر عملیات سنگ زنی و پرداخت را برای حذف عیوب و بی نظمی روی سطح مواد انجام دهند.

o مقاومت در برابر سایش بالا: سختی بالای سرامیک های کاربید سیلیکون نیز مقاومت سایش خوبی را به همراه دارد که می تواند سایش کوچک را در طول فرآیند سنگ زنی و پرداخت طولانی حفظ کند و عمر مفید ابزار را بهبود بخشد.

o پایداری حرارتی بالا: سرامیک های کاربید سیلیکون دارای ثبات حرارتی بالا و ضریب انبساط حرارتی پایین هستند، می توانند عملکرد پایدار را در محیط دمای بالا حفظ کنند، مناسب برای عملیات سنگ زنی و پرداخت در دمای بالا.

o پایداری شیمیایی خوب: سرامیک های کاربید سیلیکون پایداری خوبی نسبت به اکثر مواد شیمیایی دارند، به راحتی خورده و فرسایش نمی شوند و می توانند عملکرد پایدار را در محیط های مختلف حفظ کنند.

2، چاک لیتوگرافی

چاک لیتوگرافی کاربید سیلیکون نقش مهمی در فرآیند ساخت مدارهای مجتمع دارد. این می تواند تثبیت و پشتیبانی ویفر سیلیکونی پایدار و با دقت بالا را برای اطمینان از پیشرفت روان فرآیند لیتوگرافی فراهم کند و در نتیجه کارایی و کیفیت ساخت مدارهای مجتمع را بهبود بخشد.

لازم به ذکر است که چاک لیتوگرافی کاربید سیلیکون یک جزء کلیدی در تولید مدار مجتمع است و تکنولوژی ساخت و الزامات دقت آن بسیار بالا است. در حال حاضر، تنها چند شرکت خارجی می توانند چاک لیتوگرافی را برای برآورده کردن الزامات تولید مدار مجتمع بسازند و فناوری و محصولات چین در این زمینه نیاز به توسعه و بهبود بیشتر دارند.

ویژگی های اصلی چاک لیتوگرافی کاربید سیلیکون عبارتند از:

o دقت بالا: سرامیک های کاربید سیلیکون دارای سختی و دقت بسیار بالایی هستند که می تواند نیازهای تثبیت و پشتیبانی با دقت بالا ویفرهای سیلیکونی را در فرآیند تولید مدار مجتمع برآورده کند.

o پایداری بالا: سرامیک های کاربید سیلیکون دارای پایداری حرارتی بالا و ضریب انبساط حرارتی پایین هستند که می تواند اندازه و شکل ثابتی را در طول فرآیند لیتوگرافی حفظ کند تا بر دقت لیتوگرافی تأثیر بگذارد.

o پایداری شیمیایی خوب: سرامیک های کاربید سیلیکون نسبت به اکثر مواد شیمیایی پایداری خوبی دارند، به راحتی خورده و فرسایش نمی شوند و می توانند عملکرد پایداری را در طول فرآیند لیتوگرافی حفظ کنند.

o نیروی جذب بالا: مکنده لیتوگرافی کاربید سیلیکون از فناوری جذب خاصی استفاده می کند که می تواند ویفرهای سیلیکونی را به طور محکم جذب کند تا اطمینان حاصل شود که در طول فرآیند لیتوگرافی جابجا یا تکان نمی خورد و از دقت و پایداری لیتوگرافی اطمینان حاصل می کند.

3، چاک تشخیص

چاک تشخیص کاربید سیلیکون می تواند از پیشرفت صاف فرآیند تشخیص اطمینان حاصل کند، بنابراین کیفیت ساخت مدارهای مجتمع را بهبود می بخشد. در عین حال، عمر مفید چاک تشخیص کاربید سیلیکون طولانی است که می تواند هزینه های تولید و هزینه های تعمیر و نگهداری را کاهش دهد و مزایای اقتصادی کلی را بهبود بخشد.

4، پلت فرم حرکت دقیق

پلت فرم حرکت دقیق کاربید سیلیکون نقش مهمی در زمینه های مختلف تولید و پردازش با دقت بالا ایفا می کند. این می تواند راه حل های کنترل حرکتی با دقت و پایداری بالا را برای پردازش نیمه هادی، تولید نوری، فناوری نانو و سایر زمینه ها برای بهبود کیفیت محصول و کارایی تولید ارائه دهد.

ویژگی های اصلی پلت فرم حرکت دقیق کاربید سیلیکون عبارتند از:

o دقت بالا: سرامیک های کاربید سیلیکون دارای سختی و دقت بسیار بالایی هستند که می تواند الزامات دقت بالای پلت فرم حرکت را برآورده کند و ثبات و دقت پلت فرم را در طول حرکت تضمین کند.

o پایداری بالا: سرامیک های کاربید سیلیکون دارای پایداری حرارتی بالا و ضریب انبساط حرارتی پایین هستند که می تواند عملکرد پایدار را در دمای بالا و محیط سخت حفظ کند، تغییر شکل ابعادی و خطای حرارتی را کاهش دهد و پایداری طولانی مدت پلت فرم را تضمین کند.

o سبک وزن: سرامیک های کاربید سیلیکون دارای چگالی کم و استحکام بالایی هستند که می تواند طراحی سبک وزن پلت فرم را تحقق بخشد، اینرسی حرکت را کاهش دهد، بار موتور را کاهش دهد و پاسخ دینامیکی و شتاب پلت فرم را بهبود بخشد.

o مقاومت در برابر سایش بالا: سرامیک های کاربید سیلیکون دارای مقاومت در برابر سایش عالی هستند، می توانند در برابر حرکت با سرعت بالا و سایش بار سنگین مقاومت کنند، عمر سرویس پلت فرم را افزایش دهند.

5،قطعات کاربید سیلیکون با خلوص بالا برای اچ کردن پیوندها 

در فرآیند اچینگ، اجزای کاربید سیلیکون با خلوص بالا نقش کلیدی دارند. کاربید سیلیکون با خلوص بالا دارای خواص فیزیکی و شیمیایی عالی مانند سختی بالا، پایداری حرارتی بالا، پایداری شیمیایی خوب و واکنش پذیری کم است که آن را به یک ماده ایده آل برای تجهیزات اچینگ تبدیل می کند.

قطعات کاربید سیلیکون با خلوص بالا نقش کلیدی دارند. کاربید سیلیکون با خلوص بالا دارای خواص فیزیکی و شیمیایی عالی مانند سختی بالا، پایداری حرارتی بالا، پایداری شیمیایی خوب و واکنش پذیری کم است که آن را به یک ماده ایده آل برای تجهیزات اچینگ تبدیل می کند.

در تجهیزات اچینگ پلاسما، کاربید سیلیکون با خلوص بالا اغلب برای ساخت اجزای کلیدی مانند حلقه های فوکوس، سر اسپری گاز، پالت ها، حلقه های لبه، حفره های اچ شده، نازل های گاز حکاکی شده و غیره استفاده می شود. این اجزا در فرآیند اچینگ نقش حیاتی دارند. مانند حلقه فوکوس برای اطمینان از توزیع یکنواخت پلاسما، سر اسپری گاز برای کنترل دقیق تزریق گاز، سینی و حلقه لبه برای حمایت و تثبیت ویفر مورد نظر.

قطعات کاربید سیلیکون با خلوص بالا در محیط حاوی کلر و گاز حکاکی فلوئور پایداری خوبی از خود نشان می دهند و واکنش پذیری کم آن می تواند به طور موثری خوردگی و آسیب به تجهیزات را در طول فرآیند اچ کاهش دهد. علاوه بر این، کاربید سیلیکون با خلوص بالا نیز رسانایی الکتریکی مشابهی با سیلیکون دارد که آن را قادر می‌سازد به طور موثر جریان را در طول فرآیند اچینگ هدایت کند و از یکنواختی و سازگاری اچینگ اطمینان حاصل کند.

با پیشرفت مداوم تولید مدارهای مجتمع، الزامات فناوری اچینگ بیشتر و بیشتر می شود. اجزای کاربید سیلیکون با خلوص بالا، با عملکرد عالی و پایداری، یکی از کلیدهای برآورده کردن این نیازها هستند. با توسعه مداوم فناوری، کاربرد کاربید سیلیکون با خلوص بالا در فرآیند اچینگ بیشتر و گسترده تر خواهد شد.

6، سیستم حرکت دقیق در بازرسی بسته

در کنترل حرکت با سرعت و دقت بالا، سختی بالا و اصطکاک کم سرامیک های کاربید سیلیکون می تواند سایش و اصطکاک را کاهش دهد و پایداری و عمر سیستم را بهبود بخشد. در عین حال، در فرآیند بازرسی بسته بندی، تغییر دما ممکن است بر سیستم حرکت دقیق تأثیر بگذارد و استفاده از سرامیک کاربید سیلیکون می تواند به طور موثری این تأثیر را کاهش دهد و قابلیت اطمینان و پایداری سیستم را بهبود بخشد.

سیستم حرکتی دقیق سرامیک های کاربید سیلیکون در بسته بندی و پیوند تست شامل اجزای کلیدی مانند ریل راهنما، بلبرینگ و بلوک کشویی است. دقت ساخت و عملکرد این قطعات به طور مستقیم بر پایداری و دقت کل سیستم حرکتی تأثیر می گذارد. بنابراین، فناوری پردازش با دقت بالا و فناوری تصفیه سطح سرامیک های کاربید سیلیکون نیز بسیار مهم است.

سرامیک های کاربید سیلیکون همچنین برای سیستم های حرکتی دقیق در فرآیند بازرسی بسته های تولیدی، مانند تراز و نصب در هنگام بسته بندی تراشه، استفاده می شود.

سرامیک های کاربید سیلیکون نقش مهمی در سیستم حرکت دقیق بازرسی بسته بندی دارند. با پیشرفت مداوم تکنولوژی و گسترش زمینه های کاربردی، کاربرد سرامیک های کاربید سیلیکون در سیستم های حرکتی دقیق روز به روز گسترده تر خواهد شد.

FOUNTYL TECHNOLOGIES PTE. محدود یک شرکت مدرن در زمینه تحقیق و توسعه مجموعه سرامیک های پیشرفته، تولید و فروش به صورت یکپارچه، عمدتاً سرامیک متخلخل، آلومینا، زیرکونیا، نیترید سیلیکون، کاربید سیلیکون، نیترید آلومینیوم، سرامیک دی الکتریک مایکروویو و سایر مواد سرامیکی پیشرفته تولید می کند. متخصص فن آوری ژاپنی دعوت شده ویژه ما بیش از 30 سال تجربه صنعت در زمینه نیمه هادی دارد، راه حل های کاربردی سرامیکی ویژه ای را با مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر دمای بالا، هدایت حرارتی بالا، عایق برای مشتریان داخلی و خارجی به طور موثر ارائه می دهد.