تجزیه و تحلیل بازار تجهیزات تمیز و مرطوب تمیز کردن ویفر

کل فرآیند نیمه هادی باید به طور مکرر تمیز شود و فرآیند تمیز کردن در صنعت نیمه هادی انجام می شود و بیش از 30٪ از کل فرآیند تولید را تشکیل می دهد. از تجزیه و تحلیل ارزش خروجی کل بازار تجهیزات صنعت نیمه هادی، تجهیزات پردازش ویفر 80٪ و ارزش کل تولید مرحله تمیز کردن حدود 33٪ از تجهیزات پردازش ویفر را تشکیل می دهد و تجهیزات تمیز کردن نقش مهمی را ایفا می کند. تأثیر مهمی بر نرخ عبور و مزایای اقتصادی خط تولید دارد.

طبق داده های SEMI، فضای بازار جهانی تجهیزات تمیز کردن ویفر در سال 2020 3.7 میلیارد دلار است که 5٪ از کل تجهیزات را شامل می شود. در میان آنها، شرکت Screen Electronics، سه نفر برتر در بازار تجهیزات تمیز کردن ویفر است. , Ltd. Together، Screen، Tokyo Electron Limited (TEL) و Lam Research Corporation (Lam) 87.7 درصد از بازار تجهیزات تمیز کردن ویفر را به خود اختصاص داده اند. گزارش تحقیق عمیق صنعت تجهیزات تمیز کردن نیمه هادی Guangfa Securities نشان می دهد که در سال 2019، تقاضای جهانی برای دستگاه های تمیز کننده مگاتوند 221 دستگاه است و تنها بازار دستگاه های تمیز کننده مگاتوند می تواند به 663 میلیون دلار برسد. نائورا چوانگ، به فن آوری خالص کمتر از 1٪ اختصاص داده است. با انتقال صنعت نیمه هادی به چین، فضای بازار داخلی در حال افزایش است، منابع مشتری بالقوه فراوان است و ماشین تمیزکننده باید آخرین فرآیند داخلی را پوشش دهد. بر اساس برآوردهای Guangfa Securities، در پنج سال از 2019-2023، فضای بازار تجهیزات تمیز کردن شرکت های سرزمین اصلی به بیش از 40 میلیارد یوان خواهد رسید. جدول سهم بازار دستگاه تمیز کننده مرطوب و سهم بازار داخلی است که توسط GF Securities اندازه گیری شده است.

طبق گزارش SEMI، این شرکت با 45.1 درصد از سهم بازار جهانی تجهیزات تمیز کردن نیمه هادی، پیشرو جهانی در تجهیزات تمیز کردن است و 60 درصد درآمد آن از پاک کننده های SU3200 است که می توانند در فرآیندهای 7 نانومتری استفاده شوند. این شرکت که در سال 1868 تأسیس شد، اولین نسل تجهیزات تمیز کردن ویفر را در سال 1975 توسعه داد. در 40 سال بعد، این شرکت بر تحقیق و توسعه و ترویج تجهیزات تمیز کردن ویفر متمرکز شد و تجهیزات تمیز کردن نیمه هادی را در ژاپن و برای جهان ارائه کرد. سهم بازار سه حوزه مهم تجهیزات نظافتی تجهیزات نظافت تک ویفر، میز نظافت اتوماتیک و ماشین لباسشویی مقام اول را در جهان به خود اختصاص داده و پیشرو در فناوری تجهیزات نظافتی است. در حال حاضر، دفتر مرکزی این شرکت در ژاپن است و شعبه هایی در ایالات متحده، اروپا، کره جنوبی و پکن، تیانجین، ووکسی، ووهان، دالیان، شنژن و تایوان در چین دارد. شبکه فروش تجهیزات نظافتی اینتل، TSMC، سامسونگ، SK Hynix، SMIC، Huahong و سایر غول های معروف بین المللی را پوشش می دهد.

آخرین نسل تجهیزات نظافتی SU-3300 است که از سری SU های غالب طولانی مدت مشتق شده است و با شروع سری SU-2000، SU-3100، SU-3200، SU در خط مقدم فرآیند تراشه مورد استفاده قرار گرفته است. دستگاه تمیز کننده سطح بالا همانطور که در تصویر نشان داده شده است:

Tokyo Electronics دومین شرکت بزرگ تجهیزات تمیز کردن ویفر پس از Dean است، تا ژوئن 2020، بیش از 62000 مجموعه تجهیزات تمیز کردن را در سراسر جهان فروخته است و اولین شرکتی است که به طور پیوسته 11 ویفر با خلوص فوق العاده بالا تولید می کند. Tokyo Electronics که در سال 1963 تأسیس شد، در سال 1968 با Thermco Products Corp ادغام شد و اولین تولید کننده تجهیزات نیمه هادی در ژاپن شد و در همان سال طراحی و ساخت تجهیزات تمیز کردن ویفر را آغاز کرد و در سال 1981 به برترین تامین کننده تجهیزات تمیز کننده تبدیل شد. در سال 1989- 1991 حتی برای سه بار متوالی قهرمان تجهیزات نظافتی از دین پیشی گرفت، در دو دهه بعد، توکیو الکترونیک نیز به طور محکم در جایگاه دوم تجهیزات تمیز کردن ویفر جهان قرار گرفت.

آخرین نسل از محصولات تجهیزات تمیزکننده توکیو الکترون، CELLESTA SCD است، محصولات سری CELLESTA به طور گسترده برای تمیز کردن ویفرهای سیلیکونی در فرآیندهای نیمه هادی، از جمله تراشه های کوچک، تراشه های منطقی پیچیده و DRAM حافظه مورد استفاده در PC یا NB استفاده می شود. همانطور که در تصویر نشان داده شده است:

Pangilin Semiconductor زاییده فکر شرکت فناوری نیمه هادی دیوید کی لام است که در سال 1980 تأسیس شد و دفتر مرکزی آن در سیلیکون ولی، کالیفرنیا قرار دارد، یکی از تامین کنندگان پیشرو در تولید و خدمات ویفر در جهان است، با سهم کلی پس از ASML و AMAT، در رتبه بندی. سوم در جهان در زمینه تجهیزات شستشوی ویفر نیز شرکت نیمه هادی پانگلین پس از شرکت Dean and Tokyo Electronics با حدود 12.5 درصد از بازار جهانی در سال 2019 در رتبه سوم جهان قرار دارد.

آخرین نسل از تجهیزات نظافتی Pan Forest Coronus HP است

همانطور که در شکل نشان داده شده است، این سیستم تمیز کردن ویفر از فناوری محصورسازی پلاسما برای محافظت موثر از ناحیه تراشه استفاده می کند. حذف درجا لایه های لایه نازک و بقایای مواد مختلف و حذف انتخابی مواد ناخواسته از لبه های ویفر می تواند کارایی تولید را بهبود بخشد و بازده محصول را بهبود بخشد. لایه فلزی را می توان حذف کرد، که می تواند از تشکیل قوس در مراحل بعدی پلاسما جلوگیری کند.

نیمه هادی دارای دو فناوری هسته خود توسعه یافته است -SAPS (فضا متناوب تغییر فاز) و فناوری تمیز کردن TEBO (نوسان حباب با انرژی به موقع). این دو مشکل یکنواختی توزیع انرژی مگاسوند و انرژی مخرب را حل کرده اند و دارای تعدادی پتنت و فناوری اصلی در زمینه تمیز کردن مگاصدا هستند. شنگ می در پاسخ به مقدار زیادی فاضلاب اسید سولفوریک با غلظت بالا و صعب العلاج که در طی فرآیند تولید تراشه تخلیه می شود، به طور انحصاری اولین تجهیزات تمیزکننده اسید سولفوریک با دمای بالا - UltracTahoe را اختراع کرد، یکی از ویژگی های این تجهیزات کاهش می باشد. میزان استفاده از اسید سولفوریک به میزان 90 درصد، تأثیر صنعت نیمه هادی ها را بر محیط زیست کاهش می دهد.

همانطور که در شکل نشان داده شده است، با توجه به مشکلی که فن آوری تمیز کردن اسلات سنتی استدر فرآیند زیر 28 نانومتر به اندازه کافی تمیز نیست، UltracTahoe نسل جدیدی از تجهیزات تمیز کردن ترکیبی را با تمیز کردن تراشه در شکاف و سپس اصل تمیز کردن تک تکه ایجاد کرده است که می تواند از اسید سولفوریک مجدد استفاده کند و به اثر تمیز کنندگی با وضوح بالا دست یابد. که می تواند آلودگی محیط زیست را کاهش دهد و در هزینه های هنگفت صرفه جویی کند.

Fountyl Technologies PTE Ltd،استبا تمرکز بر صنعت ساخت نیمه هادی، اصلی محصولات عبارتند از: چاک پین، چاک سرامیکی متخلخل، انتهای سرامیکیعامل، سرامیکپرتو مربع، دوک سرامیکی، خوش آمدید بهتماس و مذاکره!