اپیتاکسی چیست؟

اپیتاکسیبه یک فناوری رشد کریستال یا رسوب مواد اشاره دارد که موقعیت بسیار مهمی را در فرآیند تولید میکروالکترونیک و اپتوالکترونیک اشغال می کند، از جمله: همواپیتاکسی، هترواپیتاکسی و اپیتاکسی بین دانه ای، لایه کریستالی جدید تشکیل شده توسط اپیتاکسی دارای یک یا چند جهت گیری نسبت به حوزه کریستالی واضح است. بستر یا دانه، یعنی هر حوزه از لایه کریستالی جدید باید یک جهت کریستالی واضح نسبت به ساختار کریستالی زیرلایه داشته باشد.

فناوری رشد کریستال اپیتاکسیال دارای سه روش تشکیل فیلم است (همانطور که در شکل نشان داده شده است): Volmer-Weber (VW)، Frank-van der Merwe (FM) و Stranski-Krastanov (SK).

معمولاً به فناوری اپیتاکسی فاز مایع (LPE) و فناوری اپیتاکسی فاز گاز، از جمله اپیتاکسی فاز گاز و رسوب بخار شیمیایی آلی فلزی (MOCVD) و اپیتاکسی پرتو مولکولی (MBE) تقسیم می‌شود. لایه کریستالی رسوب‌شده را فیلم اپیتاکسیال یا لایه همپایی می‌گویند.

سه حالت اصلی رشد فیلم وجود دارد، از جمله:

(الف) Volmer-Weber (VW، رشد جزیره)

(ب) فرانک ون در مروه (FM، رشد لایه ای)

(ج) Stranski-Krastanov (SK، رشد جزیره لایه ای)

FOUNTYL TECHNOLOGIES PTE. محدود یک شرکت مدرن در زمینه تحقیق و توسعه مجموعه سرامیک های پیشرفته، تولید و فروش به صورت یکپارچه، عمدتاً سرامیک متخلخل، آلومینا، زیرکونیا، نیترید سیلیکون، کاربید سیلیکون، نیترید آلومینیوم، سرامیک دی الکتریک مایکروویو و سایر مواد سرامیکی پیشرفته تولید می کند. متخصص فن آوری ژاپنی ما بیش از 30 سال تجربه صنعت در زمینه نیمه هادی دارد، راه حل های کاربردی سرامیکی ویژه با مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر دمای بالا، هدایت حرارتی بالا، عایق برای مشتریان داخلی و خارجی را به طور موثر ارائه می دهد.