چرا یک جعبه ویفر حاوی 25 ویفر است؟

یک جعبه ویفر به چند دلیل اصلی با 25 ویفر پر شده است:

1، برای بهینه سازی بهره وری تولید و استفاده از تجهیزات.

2، اطمینان حاصل کنید که وزن و حجم در یک محدوده قابل کنترل هستند.

3، الزامات پردازش و جابجایی خودکار را برآورده کنید.

4، استانداردهای صنعت و شیوه های تاریخی را رعایت کنید.

این طراحی نیازهای تولید، جابجایی، جابجایی و اقتصادی را متعادل می کند و فرآیند تولید ویفر 12 اینچی را کارآمد و قابل اعتماد می کند. در زیر به تفصیل توضیح دهید

1، اندازه ویفر و ظرفیت حمل بار

اندازه ویفر: قطر ویفر 12 اینچی حدود 300 میلی متر است.

ضخامت ویفر: تقریباً 0.775 میلی متر.

2. استاندارد طراحی FOUP

اندازه و وزن: FOUP باید تعادلی بین اندازه و وزن پیدا کند تا جابجایی و حمل و نقل را تسهیل کند.

3. ملاحظات فرآیند و کارایی

استانداردسازی: فرآیند تولید ویفر 12 اینچی به طور گسترده استاندارد شده است و 25 ویفر را می توان به صورت دسته ای برای بهینه سازی راندمان تولید و استفاده از تجهیزات پردازش کرد.

پردازش خودکار: FOUP با ظرفیت 25 ویفر طراحی شده است که به تجهیزات خودکار اجازه می دهد تا به طور موثر این دسته ها را پردازش کنند و در نتیجه کارایی تولید را افزایش دهند.

سهولت بارگیری و جابجایی: وزن 25 ویفر در محدوده معقولی است که حمل آن توسط ربات ها یا کارگران آسان است، در حالی که از ظرفیت حمل تجهیزات مکانیکی فراتر نمی رود.

4. اقتصاد و قابلیت اطمینان

سازگاری با تجهیزات: بیشتر تجهیزات تولیدی (مانند دستگاه های نوردهی، ماشین های اچینگ و غیره) برای رسیدگی به دسته های 25 ویفر طراحی شده اند که می تواند استفاده از تجهیزات را به حداکثر برساند و کارایی تولید را بهبود بخشد.

پایداری و ایمنی: FOUP بارگیری شده با 25 ویفر از پایداری خوبی در هنگام جابجایی برخوردار است و خطر آسیب دیدن ویفر را در حین جابجایی کاهش می دهد.

5. دلایل تاریخی و شیوه های صنعت

شیوه های صنعت: از لحاظ تاریخی، صنعت تولید ویفر به تدریج از ویفرهای کوچکتر (مانند ویفرهای 6 اینچی، 8 اینچی) به ویفرهای 12 اینچی تغییر کرده است. در این فرآیند، دسته‌های 25 قطعه به استاندارد صنعت تبدیل شدند تا مقداری تداوم و قابلیت پیش‌بینی بین اندازه‌های مختلف ویفر حفظ شود.

استانداردهای فنی: SEMI (انجمن بین المللی تجهیزات و مواد نیمه هادی) استانداردهای مربوطه را ایجاد کرده است که طراحی و استفاده از FOUP را مشخص می کند و طراحی بار 25 قطعه ای مطابق با این استانداردها است و به طور گسترده در سراسر جهان پذیرفته شده است.

درباره اصطلاحات حامل ویفر بیشتر بیاموزید: FOUP، FOSB، Cassette.

1. غلاف یکپارچه بازشو جلو (FOUP)

FOUP ظرفی برای جابجایی و نگهداری ویفرها در فاب مخصوصاً ویفرهای 300 میلی متری است. برای کاهش آلودگی و آسیب به ویفرها در حین جابجایی طراحی شده است. FOUP دارای یک دهانه جلویی است که از طریق آن می توان ویفرها را بدون نیاز به باز کردن کل ظرف به طور خودکار بارگیری و تخلیه کرد. FOUP معمولاً با یک پوشش مهر و موم شده برای اطمینان از تمیزی محیط داخلی مجهز است.

سناریوی کاربردی: در فرآیند تولید ویفر، FOUP به طور گسترده ای برای انتقال ویفر بین دستگاه های خودکار مانند ربات های انتقال استفاده می شود. آنها برای مراحل فرآیندی که نیاز به درجه بالایی از تمیزی دارند، مانند لیتوگرافی، اچینگ و کاشت یون مناسب هستند.

2، FOSB (جعبه حمل و نقل درب جلو)

FOSB مشابه FOUP است، اما عمدتاً برای حمل و نقل ویفر از راه دور استفاده می شود. این برای محافظت از ویفر در هنگام حمل و نقل از یک گیاه به گیاه دیگر طراحی شده است. FOSB همچنین دارای طراحی بازشوی جلو است، اما به طور کلی برای مقابله با لرزش و شوک در حین حمل و نقل قوی تر است.

سناریوی کاربردی: FOSB زمانی استفاده می‌شود که ویفرها تولید می‌شوند و باید از یک محل تولید به سایت دیگر برای پردازش یا مونتاژ بیشتر منتقل شوند. خواص آب بندی FOSB یک محیط تمیز را در طول حمل و نقل تضمین می کند.

3، نوار کاست

کاست حامل ویفر قبلی برای حمل و انتقال ویفرهایی با اندازه های کوچکتر (مانند 200 میلی متر و کمتر) بود. معمولاً به عنوان یک ساختار باز طراحی می شود که می تواند چندین ویفر را حمل کند. کار با آن به صورت دستی آسان است و همچنین می تواند توسط تجهیزات خودکار استفاده شود.

سناریوی کاربردی: در تجهیزات و فرآیندهای قبلی تولید نیمه هادی استفاده می شود، هنوز در برخی از خطوط تولید ویفر 200 میلی متری استفاده می شود. مناسب برای حمل و نقل دستی و سناریوهای بارگیری، مانند تمیز کردن، بازرسی و سایر مراحل فرآیند.

خلاصه: FOUP عمدتاً برای جابجایی داخلی و ذخیره سازی ویفرهای 300 میلی متری استفاده می شود و دارای طراحی بازشو جلویی است. FOSB عمدتاً برای حمل و نقل ویفرها از راه دور استفاده می شود و طراحی آن برای اطمینان از تمیزی در طول حمل و نقل قوی است. کاست برای جابجایی و نگهداری ویفرهای کوچکتر در یک طرح باز مناسب برای عملکرد دستی و اتوماتیک استفاده می شود.

Fountyl Technologies Pte Ltd. با 20 سال تجربه صنعت نیمه هادی در تولید قطعات سرامیکی پیشرفته در سنگاپور تمرکز دارد، محصول اصلی پین چاک (پین چاک، پین چاک، چاک پین دقیق) است که از انواع مواد سرامیکی (آلومینا) ساخته شده است. زیرکونیا، کاربید سیلیکون، نیترید سیلیکون، نیترید آلومینیوم و سرامیک متخلخل)، کنترل کاملا مستقل از پخت مواد سرامیکی، پردازش دقیق، آزمایش و تمیز کردن دقیق، با زمان تحویل تضمین شده.