یکی از مزایای EUV کاهش مراحل پردازش تراشه است و استفاده از EUV به جای فناوری سنتی چند گانه، مراحل رسوب گذاری، اچینگ و ... را کاهش می دهد.
قرار دادن چند تراشه در کنار هم در یک بسته می‌تواند مشکلات حرارتی را کاهش دهد، اما از آنجایی که شرکت‌ها برای بهبود عملکرد و کاهش قدرت بیشتر به دنبال روی هم چیپ‌ها و بسته‌های متراکم‌تر هستند، ...
