ویژگی های کیفیت کریستال با کیفیت بالا لایه همپایی SiC باعث می شود که لایه همپایی باید دارای ساختار کریستالی با خلوص بالا و چگالی نقص کم باشد تا از قابلیت اطمینان اطمینان حاصل شود.
پلاسما اولین بار توسط ویلیام کروکس در سال 1879 کشف شد و در سال 1929 توسط ایروینگ لانگمویر "پلاسما" نامگذاری شد. کاربرد پلاسما در ساخت تراشه بسیار رایج و مهم است، می توان گفت که ...
