Introduction sur l'application des céramiques de précision semi-conductrices

Les céramiques avancées constituent le fondement de l’ensemble de l’industrie des semi-conducteurs. Parce que la céramique présente les avantages d'une dureté élevée, d'un module d'élasticité élevé, d'une résistance élevée à l'usure, d'une isolation élevée, d'une résistance à la corrosion, d'une faible expansion... etc., elle peut être utilisée comme pièce de machine à polir le silicium, d'équipement de traitement thermique par épitaxie/oxydation/diffusion. , machine de lithographie, équipement de dépôt, équipement de gravure de semi-conducteurs, machine d'implantation ionique. Les dispositifs semi-conducteurs nécessitent un grand nombre de composants céramiques de précision. Les céramiques d'équipement semi-conducteur comprennent l'alumine, la zircone, le nitrure de silicium, le nitrure d'aluminium, le carbure de silicium, l'oxyde d'yttrium... etc. Dans les équipements semi-conducteurs, la valeur des céramiques de précision représente environ 16 %. Les équipements semi-conducteurs sont le support clé de la chaîne industrielle des semi-conducteurs et la pierre angulaire de la fabrication des semi-conducteurs, et le dernier rapport SEMI prédit que les ventes mondiales d'équipements semi-conducteurs atteindront 87 milliards de dollars en 2023 pour atteindre 87,4 milliards de dollars, et seront rétablies à 100 milliards de dollars en 2024.

Avec le développement vigoureux de l'industrie nationale des semi-conducteurs, les fonderies de plaquettes ont construit des usines en Asie du Sud-Est, ce qui a conduit à l'amélioration des matériaux et des équipements semi-conducteurs, à l'allocation des ressources de la chaîne d'approvisionnement étrangère au niveau national, mais également à l'émergence de nombreux excellents produits locaux. Fabricants d'équipements semi-conducteurs, dans le cadre de la tendance du développement national, la demande de pièces en céramique de précision pour équipements semi-conducteurs augmentera.

En raison de leur position et de leur importance dans les équipements semi-conducteurs, les pièces en céramique avancées doivent répondre aux exigences de performance complètes des équipements semi-conducteurs pour les matériaux en mécanique mécanique, la résistance à la chaleur, diélectrique, aux acides et aux alcalis et à la corrosion plasma, ainsi qu'aux exigences de haute précision, car les pièces en céramique dans les semi-conducteurs les équipements se trouvent généralement à proximité de la tranche, et certains entrent même directement en contact avec la tranche. Par conséquent, le contrôle des ions métalliques et des particules à sa surface est extrêmement strict. De plus, comme la production de composants céramiques pour dispositifs semi-conducteurs implique la certification du fabricant d'équipement d'origine, elle appartient donc à l'industrie avec un seuil d'exclusivité élevé. De plus, dans le domaine de l'emballage et des tests de semi-conducteurs, les matériaux céramiques peuvent également être utilisés dans doublures d'emballage pour dispositifs à semi-conducteurs de puissance et cartes de sondes de test.

La chaîne industrielle de la céramique semi-conductrice comprend le traitement des plaquettes semi-conductrices, les dispositifs à semi-conducteurs de puissance, l'emballage et les tests des entreprises d'application en aval ; Équipement de lithographie, équipement de diffusion par oxydation, équipement de gravure, équipement de gravure à sec, équipement d'implantation ionique, équipement de dépôt de film, équipement PVD, équipement CVD, équipement de dépôt de couche atomique (ALD), équipement de polissage chimico-mécanique, équipement de recuit laser d'équipement semi-conducteur haut de gamme entreprises; Équipement de préparation de poudre, mélangeur, ponceuse, machine à trois rouleaux, équipement de granulation par pulvérisation, machine de moulage par injection, machine de coulée, équipement de laminage, équipement de pressage à sec, moulage par jointoiement, équipement de pressage isostatique, équipement de sérigraphie, dégraissage, équipement de frittage, CNC, fraiseuse, équipement de polissage, équipement de sablage, équipement de brasage sous vide, outillage des entreprises d'équipement de production et d'accessoires ; Pièces en céramique (bras de manutention, mandrin électrostatique, chauffage céramique, bague de revêtement, buse, chambre, carte sonde, éclat de céramique...etc.), céramique alumine, céramique poreuse, céramique zircone, céramique nitrure d'aluminium, céramique nitrure de silicium, carbure de silicium céramiques, céramiques de carbure de silicium d'aluminium... etc.