Les entreprises japonaises monopolisent le marché de l'approvisionnement en résine photosensible EUV

Actuellement, seuls deux fabricants de puces maîtrisent la lithographie des semi-conducteurs utilisant la lithographie par rayonnement ultraviolet extrême EUV, mais il ne fait aucun doute que c'est l'avenir de la lithographie. Comme pour tout avenir, cela représente une opportunité pour certains pionniers du marché des matériaux lithographiques de s’établir sur de nouveaux marchés. En particulier, la technologie utilisée dans la lithographie EUV est actuellement produite par deux sociétés japonaises, dont la célèbre Fujifilm.

Fujifilm Holdings et Sumitomo Chemical commenceront à fournir des matériaux lithographiques pour la prochaine génération de puces en 2021, ce qui pourrait contribuer à réduire la taille des puces des smartphones et autres appareils et à les rendre plus économes en énergie. Ce matériau est principalement utilisé comme source de photorésist et joue un rôle majeur dans la gravure des cristaux de silicium.

Les entreprises japonaises se sont déjà emparées de l’approvisionnement en résine photosensible. Par exemple, deux sociétés japonaises, JSR et Shin-etsu Chemical, fournissent principalement des photorésists utilisés pour contrôler les machines de lithographie EUV, qui représentent 90 % du marché des machines de lithographie. Ce quasi-monopole permet même au Japon de limiter l'approvisionnement de la Corée du Sud en matériau, ce qui s'est déjà produit sur le marché des puces il y a un an. Heureusement, tout s'est bien passé.

Fujifilm et Sumitomo Chemical proposent donc une résine photorésistante pour la lithographie EUV, bien qu'il s'agisse également de sociétés japonaises.

Fujifilm investit 4,5 milliards de yens (42,6 millions de dollars) pour équiper une usine de fabrication dans la préfecture de Shizuoka, au sud-ouest de Tokyo, afin de démarrer la production de masse de résine photosensible l'année prochaine. Selon les représentants de l'entreprise, sa résine photosensible laisse une quantité minime de matière résiduelle sur le silicium, réduisant considérablement le risque de défauts des puces.

Sumitomo Chemical atteindra toutes les capacités de résine photosensible (de la conception à la production) à l'usine d'Osaka d'ici le début de l'exercice 2022. Cependant, en tant que fournisseur de résine photosensible pour scanner 193 nm, elle a signé à l'avance un contrat avec un fabricant bien connu pour de futurs produits, éventuellement pour TSMC.

À l'avenir, la question de la production de photorésists pour les processus technologiques 3 nm deviendra importante car les photorésists modernes ne sont pas adaptés à leur utilisation pour de nombreuses raisons. La technologie EUV nécessite l'utilisation d'une résine photosensible unique, et plus la technologie du processus est petite, plus les exigences en matière de résine photosensible sont élevées.

En octobre 2020 : en réponse à la demande croissante de semi-conducteurs pour la 5G et les centres de données, l'industrie chimique japonaise Shin-Etsu (Shin-Etsu Chemical) a annoncé qu'elle construirait une nouvelle usine à Taïwan pour augmenter la capacité de production de matériaux semi-conducteurs « photorésistants ». de 5 %, et en raison de l'augmentation des commandes de TSMC, Shin-etsu Chemical commencera également à utiliser l'usine de Taiwan pour produire de la résine photosensible « lumière ultraviolette extrême (EUV) ».

Shin-etsu Chemical prévoit de construire de nouvelles usines de résine photosensible dans le comté de Yunlin, à Taiwan, et à Zhijiangjin, au Japon, et devrait activer la production vers février 2021 et février 2022, respectivement, augmentant ainsi la capacité de production de 50 % à Taiwan et de 20 % au Japon. , avec un investissement total estimé à environ 30 milliards de yens. Selon le rapport, Shin-etsu Chemical commencera également à utiliser l'usine de Taiwan pour produire des photorésists utilisés dans la technologie avancée de production de semi-conducteurs « lumière ultraviolette extrême (EUV) ». Shin-etsu Chemical produit actuellement des photorésists EUV uniquement dans son usine au Japon, mais en raison de l'augmentation des commandes de clients tels que TSMC, elle étendra son réseau d'approvisionnement pour produire des photorésists EUV dans son usine de Taiwan.

Selon l'agence d'études de marché japonaise Fujifilm Economy, la taille du marché mondial des photorésists est estimée à environ 250 milliards de yens en 2024, soit une augmentation de 60 % par rapport à 2019. Sur le marché mondial des photorésists, les fabricants japonais contrôlent environ 80 % des parts de marché. la part de marché, dont la part de marché de Shin-etsu Chemical de 2-3. Fujifilm (Fujifilm) et Sumitomo Chemical (Sumitomo Chemical) ont également annoncé leur entrée sur le marché des photorésists EUV.

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