Céramiques de carbure de silicium utilisées dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs/circuits intégrés

Les céramiques de carbure de silicium jouent un rôle important dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs/circuits intégrés en raison de leurs propriétés physiques et chimiques uniques. Cependant, il convient de noter qu'à l'heure actuelle, la recherche, le développement et l'application de pièces structurelles en céramique de précision pour les équipements de base de circuits intégrés sont principalement concentrés aux États-Unis, au Japon, en Europe et ailleurs, et ils occupent toujours une position de monopole absolu. . Par conséquent, la Chine a encore besoin de recherches supplémentaires et de percées dans les matériaux céramiques à base de carbure de silicium et dans la technologie de préparation associée.

1, Gmandrin de meulage et de polissage

Dans le processus de production du mandrin de polissage en carbure de silicium, le matériau céramique en carbure de silicium est transformé en forme du mandrin et par un traitement spécial, de sorte que sa surface présente d'excellentes propriétés de meulage et de polissage. Lorsqu'il est utilisé, le mandrin meule et polit la surface de la pièce en absorbant la surface de la pièce, en utilisant la dureté et le tranchant de la céramique en carbure de silicium pour éliminer les impuretés telles que les bavures et les oxydes sur la surface, et améliorer la finition et la précision du surface de la pièce à usiner.

Les principales caractéristiques du mandrin de meulage et de polissage en carbure de silicium comprennent :

o Haute dureté : les céramiques en carbure de silicium ont une dureté extrêmement élevée, juste derrière le diamant, elles peuvent donc effectuer efficacement des opérations de meulage et de polissage pour éliminer les défauts et les irrégularités de la surface du matériau.

o Haute résistance à l'usure : la dureté élevée de la céramique en carbure de silicium apporte également une bonne résistance à l'usure, ce qui peut maintenir une faible usure pendant le long processus de meulage et de polissage et améliorer la durée de vie de l'outil.

o Haute stabilité thermique : les céramiques en carbure de silicium ont une stabilité thermique élevée et un faible coefficient de dilatation thermique, peuvent maintenir des performances stables dans un environnement à haute température, adaptées aux opérations de meulage et de polissage à haute température.

o Bonne stabilité chimique : les céramiques en carbure de silicium ont une bonne stabilité face à la plupart des substances chimiques, ne sont pas faciles à corroder et à éroder et peuvent maintenir des performances stables dans une variété d'environnements.

2, mandrin lithographique

Le mandrin de lithographie en carbure de silicium joue un rôle important dans le processus de fabrication des circuits intégrés. Il peut fournir une fixation et un support stables et de haute précision pour les plaquettes de silicium pour assurer le bon déroulement du processus de lithographie, améliorant ainsi l'efficacité de fabrication et la qualité des circuits intégrés.

Il convient de noter que le mandrin de lithographie en carbure de silicium est un composant clé dans la fabrication de circuits intégrés et que ses exigences en matière de technologie de fabrication et de précision sont très élevées. À l'heure actuelle, seules quelques entreprises étrangères sont capables de fabriquer des supports lithographiques répondant aux exigences de la fabrication de circuits intégrés, et la technologie et les produits chinois dans ce domaine doivent être développés et améliorés davantage.

Les principales caractéristiques du mandrin de lithographie en carbure de silicium comprennent :

o haute précision : les céramiques de carbure de silicium ont une dureté et une précision extrêmement élevées, ce qui peut répondre aux exigences de fixation et de support de haute précision des plaquettes de silicium dans le processus de fabrication des circuits intégrés.

o Haute stabilité : les céramiques de carbure de silicium ont une stabilité thermique élevée et un faible coefficient de dilatation thermique, ce qui permet de maintenir une taille et une forme stables pendant le processus de lithographie pour éviter d'affecter la précision de la lithographie.

o Bonne stabilité chimique : les céramiques de carbure de silicium ont une bonne stabilité à la plupart des substances chimiques, ne sont pas faciles à corroder et à éroder et peuvent maintenir des performances stables pendant le processus de lithographie.

o Force d'adsorption élevée : la ventouse de lithographie en carbure de silicium adopte une technologie d'adsorption spéciale, qui peut adsorber fermement les plaquettes de silicium pour garantir qu'elles ne se déplaceront pas ou ne trembleront pas pendant le processus de lithographie, garantissant ainsi la précision et la stabilité de la lithographie.

3, mandrin de détection

Le mandrin de détection en carbure de silicium peut assurer le bon déroulement du processus de détection, améliorant ainsi la qualité de fabrication des circuits intégrés. Dans le même temps, la durée de vie du mandrin de détection en carbure de silicium est longue, ce qui peut réduire les coûts de fabrication et de maintenance, et améliorer les avantages économiques globaux.

4, plate-forme de mouvement de précision

La plate-forme de mouvement de précision en carbure de silicium joue un rôle important dans divers domaines de fabrication et de traitement de haute précision. Il peut fournir des solutions de contrôle de mouvement de haute précision et de haute stabilité pour le traitement des semi-conducteurs, la fabrication optique, la nanotechnologie et d'autres domaines afin d'améliorer la qualité des produits et l'efficacité de la production.

Les principales caractéristiques de la plate-forme de mouvement de précision en carbure de silicium comprennent :

o Haute précision : les céramiques en carbure de silicium ont une dureté et une précision extrêmement élevées, qui peuvent répondre aux exigences de haute précision de la plate-forme de mouvement et garantir la stabilité et la précision de la plate-forme pendant le mouvement.

o Haute stabilité : les céramiques en carbure de silicium ont une stabilité thermique élevée et un faible coefficient de dilatation thermique, ce qui peut maintenir des performances stables à haute température et dans un environnement difficile, réduire la déformation dimensionnelle et les erreurs thermiques et assurer la stabilité à long terme de la plate-forme.

o Léger : les céramiques en carbure de silicium ont une faible densité et une résistance élevée, ce qui permet de réaliser la conception légère de la plate-forme, de réduire l'inertie du mouvement, de réduire la charge du moteur et d'améliorer la réponse dynamique et l'accélération de la plate-forme.

o Haute résistance à l'usure : les céramiques en carbure de silicium ont une excellente résistance à l'usure, peuvent résister aux mouvements à grande vitesse et à l'usure par forte charge, prolongent la durée de vie de la plate-forme.

5,Pièces en carbure de silicium de haute pureté pour la gravure de maillons 

Dans le processus de gravure, les composants en carbure de silicium de haute pureté jouent un rôle clé. Le carbure de silicium de haute pureté possède d'excellentes propriétés physiques et chimiques, telles qu'une dureté élevée, une stabilité thermique élevée, une bonne stabilité chimique et une faible réactivité, ce qui en fait un matériau idéal pour les équipements de gravure.

les pièces en carbure de silicium de haute pureté jouent un rôle clé. Le carbure de silicium de haute pureté possède d'excellentes propriétés physiques et chimiques, telles qu'une dureté élevée, une stabilité thermique élevée, une bonne stabilité chimique et une faible réactivité, ce qui en fait un matériau idéal pour les équipements de gravure.

Dans les équipements de gravure au plasma, le carbure de silicium de haute pureté est souvent utilisé pour fabriquer des composants clés tels que des bagues de focalisation, des têtes de pulvérisation de gaz, des palettes, des anneaux de bord, des cavités gravées, des buses de gaz gravées, etc. Ces composants jouent un rôle essentiel dans le processus de gravure. , tels que la bague de focalisation pour assurer la distribution uniforme du plasma, la tête de pulvérisation de gaz pour contrôler avec précision l'injection de gaz, le plateau et l'anneau de bord pour soutenir et stabiliser la plaquette à graver.

Les pièces en carbure de silicium de haute pureté présentent une bonne stabilité dans un environnement contenant du chlore et du fluor gazeux de gravure, et leur faible réactivité peut réduire efficacement la corrosion et les dommages causés à l'équipement pendant le processus de gravure. De plus, le carbure de silicium de haute pureté a également une conductivité électrique similaire à celle du silicium, ce qui lui permet de conduire efficacement le courant pendant le processus de gravure, garantissant ainsi l'uniformité et la cohérence de la gravure.

Avec les progrès continus de la fabrication de circuits intégrés, les exigences en matière de technologie de gravure sont de plus en plus élevées. Les composants en carbure de silicium de haute pureté, avec leurs excellentes performances et leur stabilité, sont l'une des clés pour répondre à ces exigences. Avec le développement continu de la technologie, l'application du carbure de silicium de haute pureté dans le processus de gravure sera de plus en plus étendue.

6, système de mouvement de précision lors de l'inspection des colis

Dans le contrôle de mouvement à grande vitesse et de haute précision, la dureté élevée et le faible frottement des céramiques en carbure de silicium peuvent réduire l'usure et le frottement et améliorer la stabilité et la durée de vie du système. Dans le même temps, lors du processus d'inspection des emballages, le changement de température peut avoir un impact sur le système de mouvement de précision, et l'application de céramiques en carbure de silicium peut réduire efficacement cet impact et améliorer la fiabilité et la stabilité du système.

Le système de mouvement de précision de la céramique de carbure de silicium dans le lien d'emballage et de test comprend les composants clés tels que le rail de guidage, le roulement et le bloc coulissant. La précision de fabrication et les performances de ces composants affectent directement la stabilité et la précision de l’ensemble du système de mouvement. Par conséquent, la technologie de traitement de haute précision et la technologie de traitement de surface des céramiques de carbure de silicium sont également cruciales.

Les céramiques de carbure de silicium sont également utilisées pour les systèmes de mouvement de précision dans le processus d'inspection des emballages de fabrication, tels que l'alignement et l'ajustement lors du conditionnement des puces.

Les céramiques de carbure de silicium jouent un rôle important dans le système de mouvement de précision de l'inspection des emballages. Avec les progrès continus de la technologie et l'expansion des domaines d'application, l'application des céramiques de carbure de silicium dans les systèmes de mouvement de précision sera de plus en plus étendue.

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