Analyse du marché des équipements propres/humides pour le nettoyage des plaquettes

L'ensemble du processus de semi-conducteur doit être nettoyé à plusieurs reprises, et le processus de nettoyage s'étend à travers l'industrie des semi-conducteurs, représentant plus de 30 % du processus de production total. D'après l'analyse de la valeur de production de l'ensemble du marché des équipements de l'industrie des semi-conducteurs, l'équipement de traitement des plaquettes représente 80 % et la valeur totale de la production de l'étape de nettoyage représente environ 33 % de l'équipement de traitement des plaquettes, et l'équipement de nettoyage joue un rôle impact crucial sur le taux de réussite et les avantages économiques de la chaîne de production.

Selon les données SEMI, l’espace du marché mondial des équipements de nettoyage de plaquettes s’élève à 3,7 milliards de dollars en 2020, soit 5 % de tous les équipements. Parmi eux, Screen Electronics Co., le trio de tête du marché des équipements de nettoyage de plaquettes. , Ltd. Ensemble, Screen, Tokyo Electron Limited (TEL) et Lam Research Corporation (Lam) représentent 87,7 % du marché des équipements de nettoyage de plaquettes. Le rapport de recherche approfondi de l'industrie des équipements de nettoyage de semi-conducteurs de Guangfa Securities montre qu'en 2019, la demande mondiale de machines de nettoyage mégatonnes est de 221 unités et que seul le marché des machines de nettoyage mégatonnes peut atteindre 663 millions de dollars. Naura Chuang, à la technologie pure représentait moins de 1 %. Avec le transfert de l'industrie des semi-conducteurs en Chine, l'espace du marché intérieur s'agrandit, les ressources des clients potentiels sont abondantes et la machine de nettoyage doit couvrir les derniers processus nationaux. Selon les estimations de Guangfa Securities, au cours des cinq années 2019 à 2023, l'espace de marché des équipements de nettoyage des entreprises du continent atteindra plus de 40 milliards de yuans. Le tableau présente la part de marché des machines de nettoyage humide et la part de marché intérieur mesurées par GF Securities.

La société est le leader mondial des équipements de nettoyage, avec 45,1 % de part de marché mondiale des équipements de nettoyage de semi-conducteurs, selon SEMI, et 60 % de ses revenus proviennent des nettoyants SU3200 qui peuvent être utilisés dans les processus 7 nm. Fondée en 1868, la société a développé la première génération d'équipements de nettoyage de plaquettes en 1975. Au cours des 40 années suivantes, l'entreprise s'est concentrée sur la recherche, le développement et la promotion d'équipements de nettoyage de plaquettes, en fournissant des équipements de nettoyage de semi-conducteurs basés au Japon et dans le monde. La part de marché des trois domaines d'équipement de nettoyage les plus importants, à savoir l'équipement de nettoyage de plaquette unique, la table de nettoyage automatique et la machine à laver, occupe la première place au monde et est le leader de la technologie des équipements de nettoyage. Actuellement, la société a son siège au Japon et possède des succursales aux États-Unis, en Europe, en Corée du Sud ainsi qu'à Pékin, Tianjin, Wuxi, Wuhan, Dalian, Shenzhen et Taiwan en Chine. Le réseau de vente d'équipements de nettoyage couvre Intel, TSMC, Samsung, SK Hynix, SMIC, Huahong et d'autres géants internationaux de renommée.

La dernière génération d'équipement de nettoyage est le SU-3300, qui est dérivé de la longue série SU dominante, à commencer par les SU-2000, SU-3100, SU-3200, la série SU a été à l'avant-garde du processus de copeaux utilisé dans la machine de nettoyage haut de gamme. Comme le montre l'image:

Tokyo Electronics est la deuxième plus grande entreprise d'équipement de nettoyage de plaquettes après Dean. En juin 2020, elle avait vendu plus de 62 000 ensembles d'équipements de nettoyage dans le monde et est la première entreprise à fabriquer régulièrement 11 plaquettes d'ultra haute pureté. Fondée en 1963, Tokyo Electronics a fusionné avec Thermco Products Corp en 1968 pour devenir le premier fabricant d'équipements de fabrication de semi-conducteurs au Japon. La même année, elle a commencé à concevoir et à fabriquer des équipements de nettoyage de plaquettes et est devenue le premier fournisseur d'équipements de nettoyage en 1981. En 1989- En 1991, il a même dépassé Dean à trois reprises consécutives en tant que champion des équipements de nettoyage. Au cours des deux décennies suivantes, Tokyo Electronics s'est également fermement classé deuxième sur le trône mondial des équipements de nettoyage de plaquettes.

La dernière génération de produits d'équipement de nettoyage de Tokyo Electron est le CELLESTA SCD. Les produits de la série CELLESTA sont largement utilisés pour nettoyer les plaquettes de silicium dans les processus de semi-conducteurs, y compris les puces de petite taille, les puces logiques complexes et la mémoire DRAM utilisée dans les PC ou NB. Comme le montre l'image :

Pangilin Semiconductor est le fruit de l'idée originale de la société de technologie de semi-conducteurs de David K. Lam, fondée en 1980 et dont le siège est dans la Silicon Valley, en Californie, et l'un des principaux fournisseurs mondiaux de fabrication et de services de plaquettes, avec une part globale juste derrière ASML et AMAT, se classant troisième au monde. Dans le domaine des équipements de nettoyage de plaquettes, Panglin Semiconductor Company est également classée troisième au monde après Dean et Tokyo Electronics Company, représentant environ 12,5 % du marché mondial en 2019.

La dernière génération d'équipement de nettoyage Pan Forest est le Coronus HP

Comme le montre la figure, ce système de nettoyage de tranche utilise la technologie de confinement par plasma pour protéger efficacement la zone de la puce ; L'élimination in situ des couches de film mince et des résidus de divers matériaux et l'élimination sélective des matériaux indésirables des bords des plaquettes peuvent améliorer l'efficacité de la production et le rendement du produit ; Le film métallique peut être éliminé, ce qui peut empêcher la formation d'arc lors des étapes ultérieures du plasma.

Semi Semiconductor dispose de deux technologies de base auto-développées - SAPS (espace alterné déphasage) et technologie de nettoyage TEBO (oscillation à bulles sous tension en temps opportun). Les deux ont résolu les problèmes d'uniformité de distribution d'énergie mégasonique et d'énergie destructrice, et possèdent un certain nombre de brevets et de technologies de base dans le domaine du nettoyage mégasonique. En réponse à la grande quantité d'eaux usées d'acide sulfurique à haute concentration et difficiles à traiter rejetées pendant le processus de production de copeaux, Sheng Mei a inventé en exclusivité le premier équipement de nettoyage à l'acide sulfurique à haute température - UltracTahoe, une caractéristique de cet équipement est de réduire la quantité d'acide sulfurique utilisée de 90 %, réduisant ainsi l'impact de l'industrie des semi-conducteurs sur l'environnement.

Comme le montre la figure, compte tenu du problème posé par la technologie traditionnelle de nettoyage des fentesn'est pas assez propre dans le processus en dessous de 28 nm, UltracTahoe a développé une nouvelle génération d'équipements de nettoyage combinés en nettoyant d'abord la puce dans la fente, puis le principe du nettoyage en une seule pièce, qui peut réutiliser l'acide sulfurique et obtenir un effet de nettoyage de haute clarté, ce qui peut réduire la pollution de l'environnement et économiser des coûts énormes.

Fountyl Technologies PTE Ltd,estse concentrant sur l'industrie de fabrication de semi-conducteurs, principale les produits comprennent : Mandrin à broches, mandrin en céramique poreuse, extrémité en céramiqueeffecteur, céramiquepoutre carrée, broche en céramique, bienvenue àcontact et négociation!