A quoi sert le film d'oxyde de silicium (SiO2) ?

L’ensemble du processus de fabrication des semi-conducteurs est très courant et indispensable, à quoi sert-il ?

Propriétés physiques et chimiques de l'oxyde de silicium ?

L'oxyde de silicium (SiO2) existe généralement dans la nature sous forme de cristaux de quartz et dans le processus de fabrication des semi-conducteurs CVD ou PVD sous forme amorphe. Dureté élevée, point de fusion élevé, excellente stabilité chimique, presque aucune réaction avec d'autres produits chimiques, bonnes performances d'isolation, faible coefficient de dilatation thermique.

L’application du film d’oxyde de silicium dans la fabrication de semi-conducteurs ?

1. Utilisé comme couche de masque pour la gravure, la diffusion et l'implantation ionique ; En tant que masque de gravure, l'oxyde de silicium a une sélectivité élevée et ne réagit pas avec les produits chimiques ni les gaz. En tant que masque de diffusion et d'implantation ionique, il empêche la diffusion de substances dopées telles que le bore et le phosphore vers d'autres régions de la plaquette de silicium, de sorte que la limite de la région de dopage puisse être contrôlée avec précision ;

2, utilisé comme support isolant (isolation, grille d'isolation, isolation de câblage multicouche, support capacitif, etc.) ; En tant que couche d'isolation, elle contribue à réduire la diaphonie entre les différentes parties ; En tant que couche d'oxyde de grille, elle peut contrôler efficacement la tension de grille pour réguler le porteur du canal, de manière à contrôler le courant circulant à travers le transistor. En tant que couche diélectrique, elle est utilisée pour isoler les couches métalliques entre différentes couches, ce qui peut empêcher les fuites de courant et les courts-circuits.

3, utilisé pour la protection de surface et la passivation. Les films d'oxyde de silicium peuvent être utilisés comme couche protectrice, recouvrant la surface des matériaux sensibles pour les protéger de l'humidité extérieure, des polluants et de la corrosion chimique. Comme couche de passivation pour améliorer les propriétés chimiques et électriques des surfaces semi-conductrices. Il peut prévenir efficacement l'activité des atomes de surface, réduire les défauts de surface et améliorer les performances électriques de l'appareil.

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