Pourquoi une boîte de plaquettes contient-elle 25 plaquettes ?

Une boîte de plaquettes est chargée de 25 plaquettes pour plusieurs raisons principales :

1, pour optimiser l’efficacité de la production et l’utilisation des équipements.

2, assurez-vous que le poids et le volume se situent dans une plage gérable.

3, répondre aux exigences du traitement et de la manipulation automatiques.

4, répondre aux normes de l'industrie et aux pratiques historiques.

Cette conception équilibre les besoins de production, de manipulation, de manutention et d'économie, rendant le processus de fabrication de tranches de 12 pouces à la fois efficace et fiable. Expliquez en détail ci-dessous

1, taille de plaquette et capacité de charge

Taille de la plaquette : Le diamètre d’une plaquette de 12 pouces est d’environ 300 mm.

Épaisseur de la plaquette : environ 0,775 mm.

2. Norme de conception FOUP

Taille et poids : FOUP doit trouver un équilibre entre taille et poids afin de faciliter la manipulation et le transport.

3. Considérations relatives aux processus et à l'efficacité

Standardisation : le processus de fabrication des plaquettes de 12 pouces a été largement standardisé et 25 plaquettes peuvent être traitées par lots pour optimiser l'efficacité de la production et l'utilisation des équipements.

Traitement automatisé : FOUP est conçu avec une capacité de 25 plaquettes, permettant à l'équipement automatisé de traiter efficacement ces lots, augmentant ainsi l'efficacité de la production.

Facilité de chargement et de manipulation : le poids de 25 plaquettes se situe dans une plage raisonnable, facile à transporter par des robots ou des travailleurs, sans dépasser la capacité de charge des équipements mécaniques.

4. Économie et fiabilité

Compatibilité des équipements : la plupart des équipements de fabrication (tels que les machines d'exposition, les machines de gravure, etc.) sont conçus pour gérer des lots de 25 plaquettes, ce qui peut maximiser l'utilisation de l'équipement et améliorer l'efficacité de la production.

Stabilité et sécurité : Le FOUP chargé de 25 plaquettes a une bonne stabilité lors de la manipulation, réduisant ainsi le risque d'endommagement des plaquettes lors de la manipulation.

5. Raisons historiques et pratiques de l’industrie

Pratiques industrielles : Historiquement, l'industrie de fabrication de plaquettes est progressivement passée de plaquettes plus petites (telles que 6 pouces, 8 pouces) à des plaquettes de 12 pouces. Dans ce processus, les lots de 25 pièces sont devenus la norme industrielle afin de maintenir une certaine continuité et prévisibilité entre les différentes tailles de plaquettes.

Normes techniques : SEMI (International Semiconductor Equipment and Materials Association) a développé des normes pertinentes qui spécifient la conception et l'utilisation du FOUP, et la conception de la charge de 25 pièces répond à ces normes et est largement adoptée dans le monde entier.

Apprenez-en davantage sur les termes relatifs aux supports de plaquettes : FOUP, FOSB, Cassette.

1. Pod unifié à ouverture frontale (FOUP)

FOUP est un conteneur permettant la manipulation et le stockage de wafers en usine, notamment pour les wafers de 300 mm. Il est conçu pour réduire la contamination et les dommages aux plaquettes lors de la manipulation. Le FOUP possède une ouverture frontale à travers laquelle les plaquettes peuvent être chargées et déchargées automatiquement sans qu'il soit nécessaire d'ouvrir tout le conteneur. Le FOUP est généralement équipé d'un couvercle étanche pour garantir un environnement interne propre.

Scénario d'application : dans le processus de fabrication de plaquettes, FOUP est largement utilisé pour le transfert de plaquettes entre des dispositifs automatisés tels que des robots de transfert. Ils conviennent aux étapes de processus qui nécessitent un haut degré de propreté, telles que la lithographie, la gravure et l'implantation ionique.

2, FOSB (Boîte d'expédition à ouverture frontale)

FOSB est similaire à FOUP, mais est principalement utilisé pour le transport longue distance de plaquettes. Il est conçu pour protéger les plaquettes lors du transport d’une usine à une autre. Le FOSB a également une conception à ouverture frontale, mais est généralement plus robuste pour faire face aux vibrations et aux chocs pendant le transport.

Scénario d'application : FOSB est utilisé lorsque les tranches sont fabriquées et doivent être transportées d'un site de fabrication à un autre pour un traitement ou un assemblage ultérieur. Les propriétés d'étanchéité du FOSB garantissent un environnement propre pendant le transport.

3, cassettes

La cassette était un ancien support de plaquettes destiné au transport et au transfert de plaquettes de plus petites tailles (telles que 200 mm et moins). Il est généralement conçu comme une structure ouverte, capable de transporter plusieurs tranches. Il est facile à utiliser manuellement et peut également être utilisé par un équipement automatisé.

Scénario d'application : utilisé dans les anciens équipements et processus de fabrication de semi-conducteurs, toujours utilisé dans certaines lignes de production de tranches de 200 mm. Convient aux scénarios de manipulation et de chargement manuels, tels que le nettoyage, l'inspection et d'autres étapes de processus.

Résumé : FOUP est principalement utilisé pour la manipulation et le stockage internes de tranches de 300 mm et possède une conception à ouverture frontale. Le FOSB est principalement utilisé pour le transport longue distance de plaquettes et sa conception est robuste pour garantir la propreté pendant le transport. La cassette est utilisée pour la manipulation et le stockage de plaquettes plus petites dans une conception ouverte adaptée au fonctionnement manuel et automatique.

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