Thús
Materialen
0102030405
Silisiumkarbid brûkt foar korrosjebestindige dielen, sealen dielen, hege temperatuerbestindige dielen, gidsrails en fjouwerkante balken
Silisiumkarbidkeramyk hat poerbêste meganyske eigenskippen by normale temperatuer, lykas hege sterkte, hege hurdens, hege elastyske modulus, poerbêste hege temperatuerstabiliteit, lykas hege thermyske konduktiviteit, lege thermyske útwreidingskoëffisjint, en goede spesifike stivens en optyske ferwurkingseigenskippen, benammen geskikt foar de tarieding fan fotolithography masine en oare yntegrearre circuit apparatuer foar precision keramyske strukturele dielen. Sa as brûkt yn de photolithography masine precision moving workpiece tafel, skelet, suction cup, wetterkuolle plaat en precision mjitting spegel, grating en oare keramyske strukturele dielen, Founty nije materiaal nei jierren fan technysk ûndersyk, oplosse de grutte grutte, tinne muorre, Holle en oare komplekse struktuer fan silisiumkarbid strukturele dielen precision ferwurkjen en tarieding problemen, brekke troch de technyske knelpunt fan dit soarte fan precision silisium carbid strukturele dielen tarieding technology. It hat sterk befoardere de lokalisaasje fan wichtige strukturele dielen brûkt yn yntegrearre circuit manufacturing apparatuer.
● Silisiumkarbidkeramyk omfetsje benammen drukleaze sintering silisiumkarbid (SSiC), reaksje-sintere silisiumkarbid (RBSC), gemyske dampdeposysje silisiumkarbid (CVD-SiC).
● Silicon carbide hat in ferskaat oan treflike eigenskippen: super hurd, wear ferset, hege termyske conductivity en meganyske sterkte, lege termyske útwreiding koeffizient, poerbêst termyske stabiliteit, lege tichtheid, hege spesifike stivens, net-magnetysk.
● Op it stuit wurde silisiumkarbidkeramyk tapast yn ferskate yndustry lykas loftfeart, loftfeart en nukleêre yndustry, lykas keramyske dielen fan heechweardige apparatuer foar silisiumkarbid keramyske reflektor en IC-yntegreare circuitproduksje, waarmtewikselers en kûgelfrije materialen ûnder ekstreme omstannichheden.
Skaaimerken fan presys keramyske strukturele dielen foar yntegreare circuit manufacturing apparatuer:
① Heech lichtgewicht: Om de bewegingstraagheid te ferminderjen, de motorbelêsting te ferminderjen, de bewegingseffisjinsje te ferbetterjen, de krektens fan 'e posysje en stabiliteit, brûke de strukturele dielen oer it generaal lichtgewicht struktuerûntwerp, it lichtgewicht is 60-80%, oant 90%;
② Hege foarm-posysje-krektens: Om beweging en posysjonearring mei hege presyzje te berikken, moatte de strukturele dielen ekstreem hege foarm- en posysjenauwkeurigens hawwe, de platheid, parallelisme en perpendicularity moatte minder dan 1μm wêze, en de foarm en posysje krektens is ferplichte te wêzen minder as 5μm.
③ Hege diminsjonele stabiliteit: Om hege presyzje beweging en posysjonearring te berikken, moatte de strukturele dielen ekstreem hege diminsjonele stabiliteit hawwe, gjin spanning produsearje, en hege thermyske konduktiviteit, lege thermyske útwreidingskoëffisjint, net maklik om grutte diminsjonele deformaasje te produsearjen ;
④ Skjin en fersmoargingfrij. De strukturele dielen binne ferplicht om ekstreem lege wriuwingskoëffisjint te hawwen, lyts kinetyske enerzjyferlies by beweging, en gjin fersmoarging fan grindpartikels. Silisiumkarbidmateriaal hat in heul hege elastyske modulus, termyske konduktiviteit en lege termyske útwreidingskoëffisjint, is net maklik te produsearjen bûgspanningsferfoarming en thermyske strain, en hat poerbêste poliisberens, kin wurde ferwurke ta poerbêste spegel; Dêrom hat it grutte foardielen om silisiumkarbid te brûken as it krekte strukturele materiaal foar de kaaiapparatuer fan yntegreare circuits lykas fotolitografymasjine, silisiumkarbid hat de foardielen fan goede gemyske stabiliteit, hege meganyske sterkte, hege termyske konduktiviteit en lege termyske útwreidingskoëffisjint, en kin tapast wurde yn hege temperatuer, hege druk, corrosie en strieling fan ekstreme omjouwings.
Silisiumkarbid hat de foardielen fan goede gemyske stabiliteit, hege meganyske sterkte, hege termyske konduktiviteit en lege termyske útwreidingskoëffisjint, en kin tapast wurde yn hege temperatueren, hege druk, korrosysje en strieling fan ekstreme omjouwings.
De kaai apparatuer fan yntegrearre circuit fereasket dat de komponint materialen hawwe de skaaimerken fan licht gewicht, hege sterkte, hege termyske conductivity en lege termyske útwreiding koeffizient, en binne ticht en unifoarm sûnder mankeminten. Komponinten binne ferplichte om ekstreem hege diminsjonele krektens en diminsjonele stabiliteit te hawwen om ultra-precision beweging en kontrôle fan 'e apparatuer te garandearjen. Silisiumkarbidkeramyk hat in hege elastyske modulus en spesifike stivens, net maklik te ferfoarmjen, en hat in hege termyske konduktiviteit en lege termyske útwreidingskoëffisjint, hege termyske stabiliteit, sadat silisiumkarbidkeramyk in poerbêst struktureel materiaal is, op it stuit yn 'e yntegreare circuitproduksje fan kaai-apparatuer om in breed oanbod fan tapassingen te krijen, lykas litografysmasine mei wurktafel fan silisiumkarbid, gidsrail, reflektor, keramyske chuck, en keramyske eineffektor.
Fountyl kin moetsje de fotolithography masine as de fertsjintwurdiger fan de yntegrearre circuit manufacturing kaai apparatuer mei grutte grutte, holle tinne muorre, komplekse struktuer, precision silisium carbid strukturele dielen tarieding technology, lykas: silisium carbid fakuüm chuck, gids rail, reflector, wurktafel en in rige fan precision silisium carbid strukturele dielen foar photolithography masine.
| Eigenskippen | Founty | ||
| Tichte (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Young's Modulus (GPa) | 368 | ||
| Flexural sterkte (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE (×10-6/℃) | 100 ℃ | 2,8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4,6×10-6 | ||
| Thermyske konduktiviteit (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Poisson syn ratio | 0.187 | ||
| Shear modulus (GPa) | 155 | ||