Dhachaigh
Stuthan
Silicon carbide air a chleachdadh airson pàirtean dìon-meirg, pàirtean ròin, pàirtean dìon-teòthachd àrd, rèilichean treòrachaidh agus giùlan ceàrnagach
Tha feartan meacanaigeach sàr-mhath aig ceirmeag silicon carbide aig teòthachd àbhaisteach, leithid neart àrd, cruas àrd, modulus àrd elastagach, seasmhachd teothachd àrd sàr-mhath, leithid giùlan teirmeach àrd, co-èifeachd leudachaidh teirmeach ìosal, agus deagh stiffness sònraichte agus feartan giollachd optigeach, gu sònraichte iomchaidh airson ullachadh inneal photolithography agus uidheamachd cuairteachaidh aonaichte eile airson pàirtean structarail ceirmeach mionaideach. A leithid a chleachdadh ann an inneal photolithography mionaideachd gluasad clàr workpiece, cnàimhneach, cupa suidse, uisge-fuarachadh truinnsear agus mionaideachd sgàthan tomhais, grating agus eile structarail ceramic, stuth ùr Fountyl an dèidh bliadhnaichean de sgrùdadh teignigeach, fuasgladh fhaighinn air meud mòr, balla tana, falamh agus structar iom-fhillte eile de phàirtean structarail silicon carbide duilgheadasan giollachd agus ullachaidh mionaideach, a’ briseadh tro bhotail theicnigeach den t-seòrsa seo de theicneòlas ullachaidh pàirtean structarail silicon carbide. Tha e air brosnachadh mòr a thoirt do shuidheachadh prìomh phàirtean structarail a thathas a’ cleachdadh ann an uidheamachd saothrachadh cuairteachaidh amalaichte.
● Tha ceirmeag carbide sileaconach sa mhòr-chuid a’ toirt a-steach carbide sileacain sintering gun chuideam (SSiC), carbide sileacain le ath-bhualadh (RBSC), carbide sileacain tasgadh bhalbhaichean ceimigeach (CVD-SiC).
● Tha measgachadh de fheartan sàr-mhath aig silicon carbide: super cruaidh, caitheamh caitheamh, seoltachd teirmeach àrd agus neart meacanaigeach, co-èifeachd leudachaidh teirmeach ìosal, seasmhachd teirmeach sàr-mhath, dùmhlachd ìosal, stiffness sònraichte àrd, neo-magnetach.
● Aig an àm seo, tha ceirmeag carbide sileaconach air a chuir an sàs ann an grunn ghnìomhachasan leithid gnìomhachas itealain, itealain agus niùclasach, leithid pàirtean ceirmeag de uidheamachd àrd airson sgàthan ceirmeag sileaconach carbide agus saothrachadh cuairteachaidh amalaichte IC, iomlaid teas agus stuthan gun urchair fo chumhachan fìor.
Feartan pàirtean structarail ceirmeach mionaideach airson uidheamachd saothrachaidh cuairteachaidh aonaichte:
① Fìor aotrom: Gus an inertia gluasad a lughdachadh, an luchd motair a lughdachadh, èifeachdas gluasad, cruinneas suidheachaidh agus seasmhachd adhartachadh, bidh na pàirtean structarail mar as trice a ’cleachdadh dealbhadh structar aotrom, is e an ìre aotrom 60-80%, suas ri 90%;
② Cruinneas suidheachadh cruth àrd: Gus gluasad agus suidheachadh àrd-chruinneas a choileanadh, feumaidh cruth agus suidheachadh fìor àrd a bhith aig na pàirtean structarail, feumaidh an rèidh, co-shìnteachd agus perpendicularity a bhith nas lugha na 1μm, agus an cruth agus an suidheachadh. feumaidh cruinneas an t-suidheachaidh a bhith nas lugha na 5μm.
③ Seasmhachd àrd-mheudach: Gus gluasad agus suidheachadh àrd-chruinneas a choileanadh, feumaidh seasmhachd meudachd fìor àrd a bhith aig na pàirtean structarail, gun a bhith a ’toirt a-mach cuideam, agus giùlan teirmeach àrd, co-èifeachd leudachaidh teirmeach ìosal, gun a bhith furasta a thoirt gu buil deformachadh meud mòr ;
④ Glan agus gun truailleadh. Feumaidh co-èifeachd brisidh gu math ìosal a bhith aig na pàirtean structarail, call lùth cinetach beag rè gluasad, agus gun truailleadh gràinean bleith. Tha modulus elastagach fìor àrd aig stuth silicon carbide, seoltachd teirmeach agus co-èifeachd leudachaidh teirmeach ìosal, chan eil e furasta a bhith a’ toirt a-mach deformachadh cuideam cromadh agus cuideam teirmeach, agus tha comas snasail aige, faodar a innealachadh gu sgàthan sàr-mhath; Mar sin, tha buannachdan mòra ann a bhith a’ cleachdadh silicon carbide mar an stuth structarail mionaideach airson prìomh uidheamachd chuairtean amalaichte leithid inneal photolithography, tha buannachdan aig Silicon carbide airson seasmhachd ceimigeach math, neart meacanaigeach àrd, seoltachd teirmeach àrd agus co-èifeachd leudachaidh teirmeach ìosal, agus faodar a chur an sàs ann an teòthachd àrd, bruthadh àrd, corrach agus rèididheachd fìor àrainneachdan.
Tha buannachdan aig silicon carbide airson deagh sheasmhachd cheimigeach, neart meacanaigeach àrd, seoltachd teirmeach àrd agus co-èifeachd leudachaidh teirmeach ìosal, agus faodar a chuir an sàs ann an teòthachd àrd, bruthadh àrd, corrach agus rèididheachd ann an àrainneachdan fìor.
Tha prìomh uidheamachd cuairteachaidh aonaichte ag iarraidh gum bi feartan cuideam aotrom, neart àrd, seoltachd teirmeach àrd agus co-èifeachd leudachaidh teirmeach ìosal aig na stuthan co-phàirteach, agus gu bheil iad dùmhail agus èideadh gun uireasbhaidhean. Feumaidh co-phàirtean mionaideachd fìor àrd agus seasmhachd meudachd a bhith aca gus dèanamh cinnteach à gluasad fìor mhionaideach agus smachd air an uidheamachd. Tha modulus àrd elastagach aig ceirmeag silicon carbide agus stiffness sònraichte, chan eil e furasta a dheformachadh, agus tha seoltachd teirmeach àrd agus co-èifeachd leudachaidh teirmeach ìosal, seasmhachd teirmeach àrd, agus mar sin tha ceirmeag carbide silicon na stuth structarail sàr-mhath, an-dràsta ann an saothrachadh cuairteachaidh amalaichte de prìomh uidheamachd gus raon farsaing de thagraidhean fhaighinn, leithid inneal lithography le clàr obrach carbide silicon, rèile treòrachaidh, sgàthan, chuck ceirmeag, agus buaidh crìochnachaidh ceirmeach.
Faodaidh Fountyl coinneachadh ris an inneal photolithography mar riochdaire prìomh uidheamachd saothrachadh cuairteachaidh amalaichte le meud mòr, balla tana falamh, structar iom-fhillte, teicneòlas ullachaidh pàirtean structarail silicon carbide mionaideach, leithid: chuck falamh silicon carbide, rèile treòrachaidh, sgàthan, clàr obrach agus sreath de phàirtean structarail carbide silicon mionaideach airson inneal photolithography.
| Feartan | Fountyl | ||
| Dùmhlachd (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Modulus Young (GPa) | 368 | ||
| Neart sùbailte （MPa） | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE (× 10-6 / ℃) | 100 ℃ | 2.8 × 10-6 | |
| 400 ℃ | 3.6 × 10-6 | ||
| 800 ℃ | 4.2 × 10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4.6 × 10-6 | ||
| Giùlan teirmeach (W/m·k) (20ºC) | 160-180 | ||
| Co-mheas Poisson | 0.187 | ||
| Modal rùsgaidh (GPa) | 155 | ||