Casa
Materiais
Carburo de silicio usado para pezas resistentes á corrosión, pezas de selado, pezas resistentes a altas temperaturas, carrís guía e vigas cadradas
As cerámicas de carburo de silicio teñen excelentes propiedades mecánicas a temperatura normal, como alta resistencia, alta dureza, alto módulo elástico, excelente estabilidade a altas temperaturas, como alta condutividade térmica, baixo coeficiente de expansión térmica e boa rixidez específica e propiedades de procesamento óptico, especialmente axeitados. para a preparación de máquinas de fotolitografía e outros equipos de circuítos integrados para pezas estruturais cerámicas de precisión. Como o usado na mesa de pezas de traballo en movemento de precisión da máquina de fotolitografía, esqueleto, ventosa, placa refrixerada por auga e espello de medición de precisión, reixa e outras pezas estruturais de cerámica, Fountyl novo material despois de anos de investigación técnica, resolver o gran tamaño, parede fina, Oca e outras estruturas complexas de pezas estruturais de carburo de silicio de procesamento de precisión e problemas de preparación, rompendo o pescozo de botella técnico deste tipo de tecnoloxía de preparación de pezas estruturais de carburo de silicio de precisión. Promoveu moito a localización de pezas estruturais clave utilizadas nos equipos de fabricación de circuítos integrados.
● As cerámicas de carburo de silicio inclúen principalmente carburo de silicio de sinterización sen presión (SSiC), carburo de silicio sinterizado por reacción (RBSC), carburo de silicio por deposición química de vapor (CVD-SiC).
● O carburo de silicio ten unha variedade de excelentes propiedades: super duro, resistencia ao desgaste, alta condutividade térmica e resistencia mecánica, baixo coeficiente de expansión térmica, excelente estabilidade térmica, baixa densidade, alta rixidez específica, non magnética.
● Na actualidade, a cerámica de carburo de silicio aplícase en varias industrias como a aviación, a industria aeroespacial e nuclear, como pezas cerámicas de equipos de alta gama para reflectores cerámicos de carburo de silicio e fabricación de circuítos integrados IC, intercambiadores de calor e materiais a proba de balas en condicións extremas.
Características das pezas estruturais de cerámica de precisión para equipos de fabricación de circuítos integrados:
① Moi lixeiro: para reducir a inercia do movemento, reducir a carga do motor, mellorar a eficiencia do movemento, a precisión do posicionamento e a estabilidade, as pezas estruturais xeralmente usan un deseño de estrutura lixeira, a taxa de lixeiro é do 60-80%, ata o 90%;
② Alta precisión de posición da forma: para lograr un movemento e un posicionamento de alta precisión, as pezas estruturais deben ter unha precisión de forma e posición extremadamente altas, a planitude, o paralelismo e a perpendicularidade deben ser inferiores a 1 μm e a forma e a precisión da posición debe ser inferior a 5 μm.
③ Alta estabilidade dimensional: para lograr un movemento e un posicionamento de alta precisión, as pezas estruturais deben ter unha estabilidade dimensional extremadamente alta, para non producir tensión e alta condutividade térmica, baixo coeficiente de expansión térmica, non é fácil producir grandes deformacións dimensionales. ;
④ Limpo e libre de contaminación. As pezas estruturais deben ter un coeficiente de fricción extremadamente baixo, unha pequena perda de enerxía cinética durante o movemento e ningunha contaminación por partículas de moenda. O material de carburo de silicio ten un módulo elástico moi alto, condutividade térmica e baixo coeficiente de expansión térmica, non é fácil de producir deformación por tensión de flexión e tensión térmica, e ten unha excelente pulidabilidade, pódese mecanizar nun espello excelente; Polo tanto, ten grandes vantaxes usar o carburo de silicio como material estrutural de precisión para os equipos clave de circuítos integrados como a máquina de fotolitografía, o carburo de silicio ten as vantaxes dunha boa estabilidade química, alta resistencia mecánica, alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansión térmica, e pódese aplicar a alta temperatura, alta presión, corrosión e radiación de ambientes extremos.
O carburo de silicio ten as vantaxes dunha boa estabilidade química, alta resistencia mecánica, alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansión térmica, e pódese aplicar a alta temperatura, alta presión, corrosión e radiación de ambientes extremos.
O equipo clave do circuíto integrado require que os materiais compoñentes teñan as características de peso lixeiro, alta resistencia, alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansión térmica, e sexan densos e uniformes sen defectos. Requírese que os compoñentes teñan unha precisión dimensional e unha estabilidade dimensional extremadamente altas para garantir un movemento e un control ultra-precisos do equipo. A cerámica de carburo de silicio ten un alto módulo elástico e rixidez específica, non é fácil de deformar, e ten unha alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansión térmica, alta estabilidade térmica, polo que a cerámica de carburo de silicio é un excelente material estrutural, actualmente na fabricación de circuítos integrados de equipos clave para obter unha ampla gama de aplicacións, como máquina de litografía con mesa de traballo de carburo de silicio, carril guía, reflector, portabrocas de cerámica e efector final de cerámica.
Fountyl pode atopar a máquina de fotolitografía como o representante do circuíto integrado de fabricación de equipos clave con gran tamaño, parede delgada oca, estrutura complexa, tecnoloxía de preparación de pezas estruturais de carburo de silicio de precisión, como: portabrocas de carburo de silicio, carril de guía, reflector, mesa de traballo e unha serie de pezas estruturais de carburo de silicio de precisión para máquina de fotolitografía.
| Propiedades | Fountyl | ||
| Densidade (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Módulo de Young (GPa) | 368 | ||
| Resistencia á flexión (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100℃ | 2,8×10-6 | |
| 400℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4,6×10-6 | ||
| Condutividade térmica (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Razón de Poisson | 0,187 | ||
| Módulo de corte (GPa) | 155 | ||