ઘર
સામગ્રી
કાટ પ્રતિરોધક ભાગો, સીલ ભાગો, ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિરોધક ભાગો, માર્ગદર્શિકા રેલ્સ અને ચોરસ બીમ માટે વપરાયેલ સિલિકોન કાર્બાઇડ
સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક્સ સામાન્ય તાપમાને ઉત્તમ યાંત્રિક ગુણધર્મો ધરાવે છે, જેમ કે ઉચ્ચ શક્તિ, ઉચ્ચ કઠિનતા, ઉચ્ચ સ્થિતિસ્થાપક મોડ્યુલસ, ઉત્તમ ઉચ્ચ તાપમાન સ્થિરતા, જેમ કે ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા, નીચા થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક અને સારી ચોક્કસ જડતા અને ઓપ્ટિકલ પ્રોસેસિંગ ગુણધર્મો, ખાસ કરીને યોગ્ય. ચોકસાઇવાળા સિરામિક માળખાકીય ભાગો માટે ફોટોલિથોગ્રાફી મશીન અને અન્ય સંકલિત સર્કિટ સાધનોની તૈયારી માટે. જેમ કે ફોટોલિથોગ્રાફી મશીન પ્રિસિઝન મૂવિંગ વર્કપીસ ટેબલ, સ્કેલેટન, સક્શન કપ, વોટર-કૂલ્ડ પ્લેટ અને પ્રિસિઝન મેઝરમેન્ટ મિરર, ગ્રેટિંગ અને અન્ય સિરામિક સ્ટ્રક્ચરલ પાર્ટ્સમાં ઉપયોગમાં લેવાય છે, વર્ષોના ટેકનિકલ સંશોધન પછી ફાઉન્ટાઈલ નવી સામગ્રી, મોટી સાઈઝ, પાતળી દિવાલ, સોલ્યુશન હોલો અને સિલિકોન કાર્બાઇડ માળખાકીય ભાગો ચોકસાઇ પ્રક્રિયા અને તૈયારી સમસ્યાઓ અન્ય જટિલ માળખું, ચોકસાઇ સિલિકોન કાર્બાઇડ માળખાકીય ભાગો તૈયારી ટેકનોલોજી આ પ્રકારની તકનીકી અડચણને તોડીને. તેણે સંકલિત સર્કિટ ઉત્પાદન સાધનોમાં ઉપયોગમાં લેવાતા મુખ્ય માળખાકીય ભાગોના સ્થાનિકીકરણને ખૂબ પ્રોત્સાહન આપ્યું છે.
● સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક્સમાં મુખ્યત્વે દબાણ રહિત સિન્ટરિંગ સિલિકોન કાર્બાઇડ (SSiC), પ્રતિક્રિયા-સિન્ટર્ડ સિલિકોન કાર્બાઇડ (RBSC), રાસાયણિક વરાળ ડિપોઝિશન સિલિકોન કાર્બાઇડ (CVD-SiC) નો સમાવેશ થાય છે.
● સિલિકોન કાર્બાઇડમાં વિવિધ પ્રકારના ઉત્તમ ગુણધર્મો છે: સુપર સખત, વસ્ત્રો પ્રતિકાર, ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા અને યાંત્રિક શક્તિ, નીચા થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક, ઉત્તમ થર્મલ સ્થિરતા, ઓછી ઘનતા, ઉચ્ચ ચોક્કસ જડતા, બિન-ચુંબકીય.
● હાલમાં, સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક્સ એવિએશન, એરોસ્પેસ અને ન્યુક્લિયર ઉદ્યોગ જેવા વિવિધ ઉદ્યોગોમાં લાગુ કરવામાં આવે છે, જેમ કે સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક રિફ્લેક્ટર અને IC ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટ મેન્યુફેક્ચરિંગ, હીટ એક્સ્ચેન્જર્સ અને બુલેટપ્રૂફ સામગ્રી માટેના ઉચ્ચ-અંતના સાધનોના સિરામિક ભાગો આત્યંતિક પરિસ્થિતિઓમાં.
સંકલિત સર્કિટ ઉત્પાદન સાધનો માટે ચોકસાઇવાળા સિરામિક માળખાકીય ભાગોની વિશેષતાઓ:
① અત્યંત હલકો: ગતિની જડતા ઘટાડવા, મોટર લોડ ઘટાડવા, ગતિ કાર્યક્ષમતા, સ્થિતિની ચોકસાઈ અને સ્થિરતા સુધારવા માટે, માળખાકીય ભાગો સામાન્ય રીતે હળવા વજનની રચના ડિઝાઇનનો ઉપયોગ કરે છે, હલકો દર 60-80% છે, 90% સુધી;
② ઉચ્ચ ફોર્મ-સ્થિતિ ચોકસાઈ: ઉચ્ચ-ચોકસાઇ ચળવળ અને સ્થિતિ પ્રાપ્ત કરવા માટે, માળખાકીય ભાગોમાં અત્યંત ઉચ્ચ સ્વરૂપ અને સ્થિતિની ચોકસાઈ હોવી જરૂરી છે, સપાટતા, સમાંતરતા અને લંબરૂપતા 1μm કરતાં ઓછી હોવી જરૂરી છે, અને ફોર્મ અને સ્થિતિની ચોકસાઈ 5μm કરતાં ઓછી હોવી જરૂરી છે.
③ ઉચ્ચ પરિમાણીય સ્થિરતા: ઉચ્ચ-ચોકસાઇ ચળવળ અને સ્થિતિ પ્રાપ્ત કરવા માટે, માળખાકીય ભાગોમાં અત્યંત ઉચ્ચ પરિમાણીય સ્થિરતા હોવી જરૂરી છે, તાણ ઉત્પન્ન ન થાય અને ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા, નીચા થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક, મોટા પરિમાણીય વિરૂપતા ઉત્પન્ન કરવા માટે સરળ નથી. ;
④ સ્વચ્છ અને પ્રદૂષણ મુક્ત. માળખાકીય ભાગોમાં અત્યંત નીચા ઘર્ષણ ગુણાંક, હલનચલન દરમિયાન નાની ગતિ ઊર્જા નુકશાન અને ગ્રાઇન્ડીંગ કણોનું પ્રદૂષણ ન હોવું જરૂરી છે. સિલિકોન કાર્બાઇડ સામગ્રીમાં ખૂબ જ ઉચ્ચ સ્થિતિસ્થાપક મોડ્યુલસ, થર્મલ વાહકતા અને નીચા થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક હોય છે, તે બેન્ડિંગ સ્ટ્રેસ ડિફોર્મેશન અને થર્મલ સ્ટ્રેઇન પેદા કરવા માટે સરળ નથી, અને તે ઉત્તમ પોલિશબિલિટી ધરાવે છે, તેને ઉત્તમ મિરર પર મશિન કરી શકાય છે; તેથી, ફોટોલિથોગ્રાફી મશીન જેવા ઈન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટના મુખ્ય સાધનો માટે સિલિકોન કાર્બાઈડનો ઉપયોગ ચોક્કસ માળખાકીય સામગ્રી તરીકે કરવાના ઘણા ફાયદા છે, સિલિકોન કાર્બાઈડ સારી રાસાયણિક સ્થિરતા, ઉચ્ચ યાંત્રિક શક્તિ, ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા અને નીચા થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંકના ફાયદા ધરાવે છે. અને આત્યંતિક વાતાવરણના ઉચ્ચ તાપમાન, ઉચ્ચ દબાણ, કાટ અને રેડિયેશનમાં લાગુ કરી શકાય છે.
સિલિકોન કાર્બાઇડમાં સારી રાસાયણિક સ્થિરતા, ઉચ્ચ યાંત્રિક શક્તિ, ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા અને નીચા થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંકના ફાયદા છે અને તે ઉચ્ચ તાપમાન, ઉચ્ચ દબાણ, કાટ અને અત્યંત વાતાવરણના કિરણોત્સર્ગમાં લાગુ કરી શકાય છે.
ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટના મુખ્ય સાધનો માટે જરૂરી છે કે ઘટક સામગ્રીમાં હલકો વજન, ઉચ્ચ શક્તિ, ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા અને નીચા થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંકની લાક્ષણિકતાઓ હોય અને ખામી વિના ગાઢ અને સમાન હોય. ઉપકરણોની અતિ-ચોકસાઇ ચળવળ અને નિયંત્રણને સુનિશ્ચિત કરવા માટે ઘટકોમાં અત્યંત ઉચ્ચ પરિમાણીય ચોકસાઈ અને પરિમાણીય સ્થિરતા હોવી જરૂરી છે. સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક્સ ઉચ્ચ સ્થિતિસ્થાપક મોડ્યુલસ અને ચોક્કસ જડતા ધરાવે છે, જે વિકૃત કરવા માટે સરળ નથી, અને ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા અને નીચા થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક, ઉચ્ચ થર્મલ સ્થિરતા ધરાવે છે, તેથી સિલિકોન કાર્બાઇડ સિરામિક્સ એક ઉત્તમ માળખાકીય સામગ્રી છે, જે હાલમાં સંકલિત સર્કિટ ઉત્પાદનમાં છે. એપ્લિકેશન્સની વિશાળ શ્રેણી મેળવવા માટેના મુખ્ય સાધનો, જેમ કે સિલિકોન કાર્બાઇડ વર્કિંગ ટેબલ સાથે લિથોગ્રાફી મશીન, ગાઇડ રેલ, રિફ્લેક્ટર, સિરામિક ચક અને સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર.
મોટા કદ, હોલો પાતળી દિવાલ, જટિલ માળખું, ચોકસાઇ સિલિકોન કાર્બાઇડ માળખાકીય ભાગો તૈયાર કરવાની તકનીક, જેમ કે: સિલિકોન કાર્બાઇડ વેક્યૂમ ચક, ગાઇડ રેલ, રિફ્લેક્ટર, વર્કિંગ ટેબલ સાથે ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટ મેન્યુફેક્ચરિંગ કી સાધનોના પ્રતિનિધિ તરીકે ફાઉન્ટિલ ફોટોલિથોગ્રાફી મશીનને મળી શકે છે. અને ફોટોલિથોગ્રાફી મશીન માટે ચોકસાઇ સિલિકોન કાર્બાઇડ માળખાકીય ભાગોની શ્રેણી.
| ગુણધર્મો | ફાઉન્ટાઇલ | ||
| ઘનતા (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| યંગ્સ મોડ્યુલસ (GPa) | 368 | ||
| ફ્લેક્સરલ સ્ટ્રેન્થ (MPa) | 334 | ||
| વેઇબુલ | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100℃ | 2.8×10-6 | |
| 400℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800℃ | 4.2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4.6×10-6 | ||
| થર્મલ વાહકતા (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| પોઈસનનો ગુણોત્તર | 0.187 | ||
| શીયર મોડ્યુલસ (GPa) | 155 | ||